产城会-半导体清洗设备产业链研究报告.docx

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1、高考半导体清洗设备产业链研究报告珞珈投资发展（某某）某某一、节点简介集成电路制造过程中硅片清洗的目标是去除所有表面沾污，包括颗粒、有机物、金属和自然氧化层。目前占统治地位的硅片清洗方法是湿法清洗。清洗的具体流程是利用硫酸、超纯水等物质按顺序清洗，去除污染物质。湿法清洗设备分为单片清洗设备和槽式清洗设备，槽式清洗设备可以批量清洗硅片，但是可能会导致互相污染现象。随着半导体技术节点的不断迭代，对于沾污的控制要求越来越严格，清洗设备更多的向单片式发展。清洗设备在单晶硅片加工过程的每个环节几乎都会使用，此处的清洗设备在抛光后的最终清洗阶段使用，以清除晶

2、片表面所有的污染源。国际主要的清洗设备供应商包括美国的Valtech公司、日本的DNS迪恩士和大日本网屏公司。国内北方华创企业依托02专利，其研发生产的12英寸半导体清洗机累计流片量已突破60万片。根据Gartner统计晶圆制造设备的投资占比，清洗设备占比6.0%，其中喷洒式清洗台占比4.1%，洗刷机占比0.6%，自动清洗台占比1.1%。目前，全球湿法清洗设备中，接近8成的设备为单片式，剩下2成为槽式。根据TransparencyMarketResearch(TMR)研究数据，2015年全球单片式清洗设备市场规模约为26.4亿美元，预计到202

3、0年将超过36.7亿美元，CARG为6.8%。高考在清洗设备全球竞争格局中，迪恩士(SCREEN)、东京电子和拉姆研究占据榜单前三，合计市占率接近90%，其中迪恩士一家占比超过50%，是全球绝对的龙头。国内企业中，盛美半导体是国产清洗设备的优秀代表，主流产品得到国际一流品牌包括中芯国际、长江存储、SK海力士等企业的认可。北方华创收购美国Akrion，进一步拓展公司槽式和单片式清洗设备。此外，至纯科技也在积极布局集成电路清洗设备，已经形成6台订单的销售。二、产业链图谱三、智能行业透视（1）行业细分行业细分数据来源：德立装备标题：[临时报告]德立装

4、备:公开转让说明书发布时间：2016-07-21摘要：产品类别丰富,生产全套产品涂装生产线。德立装备为客户设计生产全套产品涂装生产线,包含：表面清洗设备、油漆涂装设备、粉末涂装设备、电泳涂装设备、烘干固化设备、输送设备、废水废气处理设备等。高考（2）行业规模行业规模数据来源：国盛证券标题：半导体：科技创新代际切换‚全球半导体先抑后扬‚年中有望反转发布时间：2019-01-10摘要：2016年全球清洗设备市场规模达40亿美元，其中单片清洗设备销售额约为18亿美元，日本网盘占据50%以上份额。为保证芯片制备过程中不受杂志干扰，每个环节完成后均需要进

5、行清洗才可进行下一步，估算清洗工艺占芯片制造步骤的三分之一，且随着制程不断缩小，清洗的重要性愈发重要，建议关注国产清洗设备龙头北方华创、至纯科技。数据来源：国盛证券标题：化工：聚焦成长、布局新材料和精细化工发布时间：2019-01-08摘要：清洗设备是半导体设备中除了核心制程设备、检测设备之外占比最高的领域，占据整个设备投资的10%~12%。2017年全球清洗设备整体空间约30亿美元。随着工艺节点的上升，清洗步骤呈现几何级增长，清洗设备用量需求持续增加，预计2020年达到40-50亿美元；数据来源：申万宏源标题：北方华创（002371.SZ）：

6、定增21亿加码先进制程设备研发，半导体设备国产化正当其时发布时间：2019-01-08高考摘要：市场空间足够，技术突破+核心客户验证是关键。假设预测期公司产能能够满足需求，并且下游需求空间足够满足公司未来10年的高速成长需要。用设备成本占比进行拆分估算，2018-2020年国内光刻机市场空间至少在1000亿元以上（截止2018Q1，国内计划建厂21座，总投资不低于4000亿），沉积设备和刻蚀设备合计1000亿元以上，表面清洗设备也达66亿元。数据来源：长江证券标题：2019年机械行业投资策略:政策驱动保增长,先进制造创增量发布时间：2019-0

7、1-02摘要：2019年中国大陆半导体设备市场空间预计将达到125.4亿美元，由此测算得到，2019年，中国大陆刻蚀设备市场空间约24.3亿美元，光刻机约23.3亿美元，CVD设备约18.2亿美元，CMP/表面处理/清洗设备约13.2亿美元，过程检测设备约13.2亿美元，其他沉积设备约9.1亿美元，封装设备约8.1亿美元，测试设备约10.9亿美元，其他设备约5亿美元。数据来源：平安证券标题：智能制造行业专题报告（四）半导体设备：十数年终日乾乾‚大潮涌起或跃在渊发布时间：2018-09-28摘要：根据TransparencyMarketResea

8、rch(TMR)研究数据，2015年全球单片式清洗设备市场规模约为26.4亿美元，预计到2020年将超过36.7亿美元，CARG为6.8%。数据来源：