半导体设备行业系列报告之三：清洗篇，清洗需求提高，关注设备进口替代.docx

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1、正文目录前言——存储器价格回升，资本开支有望回暖5一、全球逐渐走出低谷，国内产能持续爬坡51、全球市场：2019年市场同比下滑，年末逐渐走出低谷52、国内市场：产能持续增长，将超韩国成为全球最大半导体市场7二、摩尔定律下，制程工艺节点迅速演变9三、半导体清洗——需求、难度不断增长101、半导体清洗——高质量半导体器件的保障112、技术路线——干法、湿法各有所长123、技术路线——单晶圆清洗有望逐渐取代槽式清洗14四、半导体清洗设备市场及行业格局161、清洗设备市场：呈寡头垄断格局，国内企业水平与国际仍有较大差距162、市场空间，国产清洗设备厂商的机遇1

2、8五、海外清洗设备龙头191、迪恩士（SCREEN）——行业霸主192、东京电子（TokyoElectron）——干法清洗领导者21六、国内清洗设备企业231、至纯科技——清洗领域新贵，单片、槽式均具竞争力242、北方华创（电子覆盖）——收购Akrion，实现槽式清洗国产化263、盛美（ACMResearch）27七、风险提示30图表目录图1：全球半导体销售额（三个月移动平均值）及同比增速6图2：1999-2019年全球半导体销售额6图3：2010-2019年全球硅片出货量6图4：DRAM和NANDFlash价格止跌回升（右轴：美元）7图5：中国及全球

3、半导体销售额（亿美元）8图6：中国集成电路产业结构（亿元）8图7：2010-2019年国内集成电路进出口金额（万美元）8图8：新设备和生产线潜能图9图9：全球半导体设备销售额（十亿美元）9图10：中国、韩国半导体设备销售额对比（十亿美元）9图11：晶体管结构10图12：半导体工艺流程12图13：半导体良品率随支撑变化曲线12图14：清洗次数随制程提升曲线12图15：浸入式湿法清洗槽13图16：兆声清洗槽13图17：旋转喷淋示意原理图14图18：晶圆清洗机的控制结构框图14图19：单晶圆清洗设备示意图15图20：自动工作站示意图15图21：洗刷装置示意图

4、15图22：洗刷器示意图15图23：全球晶圆市场营收及同比增速18图24：2017年全球半导体设备市场结构18图25：自动清洗机FC-310020图26：2017年全球半导体设备市场结构20图27：单晶圆清洗机SU-330020图28：SCREEN总营业收入及同比增速21图29：SCREEN销售毛利率及销售净利率21图30：自动清洗台EXPEDIUS™22图31：单晶圆清洗CELLESTA™-iMD22图32：干法清洗机CELLESTA™-iMD22图33：干法湿法对比23图34：疏水表面水印对比23图35：TEL总营业收入及同比增速23图36：TEL

5、销售毛利率及销售净利率23图37：至纯科技槽式湿法设备24图38：至纯科技单片清洗设备24图39：至纯科技总营业收入及同比增速25图40：至纯科技归母净利润及同比增速25图41：至纯科技销售毛利率及销售净利率25图42：北方华创总营业收入及同比增速26图43：北方华创归母净利润及同比增速26图44：北方华创销售毛利率及销售净利率27图45：盛美SAPS设备图28图46：盛美TEBO设备图28图47：SAPS清洗原理28图48：SAPS清洗效率对比28图49：清洗损伤程度对比29图50：盛美总营业收入及同比增速29图51：盛美销售毛利率及销售净利率29图

6、52：机械行业历史PEBand30图53：机械行业历史PBBand30表1、沾污的种类及对半导体硅片的影响11表2、硅片的主要清洗方法及优缺点13表3、半导体清洗设备14表4、2018年全球半导体设备厂商营收排名（百万美元）16表5、2017年半导体设备竞争格局17前言——存储器价格回升，资本开支有望回暖存储器占据了集成电路市场的半壁江山，从2018年以来，由于产能集中释放、库存高企以及需求低增速，存储器的价格经历了一年多的持续下跌，但19年年末以来，随着云计算数据中心等因素的驱动，存储器价格开始反弹，NANDFlash价格近期以来持续上涨，Dram也

7、已经由跌转涨，预期价格还将进一步上涨，带动存储器行业复苏。当前我国存储器产业仍与世界先进水平有一定差距，出于战略目的，国内存储器厂商将进一步加大产能，其中的佼佼者就是长江存储以及合肥长鑫。这两家企业有望在2020年顺利进入产能爬坡期，从而催生较大数量的设备需求。截至19年年末，预计长江存储月产能约2万片，有望在20年上半年达到5万片，合肥长鑫19年年年末产能2万片，预计一季度末就将达到4万片。存储器相对于逻辑芯片标准化程度高，因此近年来成为国产化突破的重要方向，除了制造工艺的国产化以外，设备的国产化也是重要关注点。根据招标网数据，长江存储自19年四季度

8、以来招标密度、核心设备招标数量明显增加，例如四季度中微半导体获得长江存储3台设备订单，2020