中国半导体行业：设备，进口替代推动本土企业成长.docx

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1、图表34:02专项对应的设备及主要公司16图表35:中国半导体设备销售额占比快速上升16图表36:预计2018年中国半导体设备销售额同比增长约43.5%17图表37:2018/2019e中国大陆半导体设备销售额预测17图表38:主要中国半导体设备公司收入利润一览19图表39:北方华创有关设备进入国内半导体生产线情况20图表40:长川科技客户及产品进入时间21图表41:长川科技2016年主要客户及销售额占比21投资亮点设备行业进入下行周期，全球市场增速放缓，进口替代利好中国公司半导体行业进入下行周期，导致制造商设备采购增速放缓，但2018/19年全球半导体设备市场规模仍有望维持正增长。2016年

2、起，全球半导体资本投资周期再度开启，2016/17年全球半导体设备销售额分别为412/566亿美元，同比增长13%和37%，其中制造设备销售额占据绝对主导地位。展望2018和2019年，由于全球半导体行业进入下行周期，SEMI预计，全球半导体设备销售额增速将放缓至10.8%/7.7%，市场规模将达到627和675亿美元。但若下游晶圆厂投产进度不及预期，则2019年全球设备投入或存在下滑风险。事实上，中国大陆晶圆厂建设将成为下行周期内设备行业增长的驱动力。根据SEMI的预测，在下行周期晶圆厂扩产计划暂缓，设备需求减弱情况下，2019年EMEA、韩国、日本等地区市场规模均呈现倒退。而中国大陆地区半

3、导体设备销售额2018/19年将实现44%/46%增长，远超行业增速，助力行业销售额再创新高。在全球半导体行业大趋势向下的未来两年，中国半导体设备市场“淡季不淡”，对本土设备企业构成利好。图表1:全球半导体设备销售额预测（十亿美元）80706050403020100全球半导体设备销售额预测2018EGrowthy-y2019EGrowthy-yAmerica5,5413%6,87724%China11,66644%17,03246%EMEA5,05026%3,772-25%Japan9,08249%8,502-6%Korea18,792-6%17,329-8%SEAsia2,46032%2

4、,271-8%Taiwan10,200-8%11,73715%Total62,79167,520200%150%100%50%0%-50%-100%20052006200720082009201020112012201320142015201620172018E2019E全球半导体设备销售额YoY资料来源：SEMI，本土企业在各类半导体关键制程设备均有突破，但在先进制程领域较外资设备依然存在差距。经过多年培育，国产半导体设备已经取得重大进展，基本覆盖了各种关键设备种类，整体水平达到28nm，并在14nm和7nm实现了部分设备的突破。1）在28nm领域：刻蚀机（北方华创、中微半导体）、薄膜沉积设

5、备（北方华创、沈阳拓荆）、氧化扩散炉（北方华创）、清洗设备（北方华创、上海盛美）和离子注入机（中电科电子装备）已经实现量产；2）在14nm领域：硅/金属刻蚀机（北方华创）、薄膜沉积设备（北方华创）、单片退火设备（北方华创）和清洗设备（上海盛美）已经开发成功，正在客户端进行验证；3）在7nm领域：7nm的介质刻蚀机已被中微半导体开发成功。此外，中电科电子装备生产的8英寸CMP设备已在客户端进行验证；上海微电子也已经实现90nm光刻机的国产化。我们认为，先进制程产线为保证产品良率，目前仍将以采购海外设备为主，待国产设备通过客户验证且下游客户产能顺利爬坡后，国产设备占比有望提升；而在中低端制程（28

6、nm以上），国产化率有望得到显著提升。图表2:国产设备覆盖情况设备光刻机硅刻蚀刻蚀机金属刻蚀介质刻蚀薄膜沉积设备PVDCVD氧化扩散炉离子注入机化学机械平坦化清洗机本土企业上海微电子北方华创北方华创中微半导体北方华创北方华创沈阳拓荆北方华创中电科电子装备中电科电子装备华海清科北方华创上海盛美0.13μm√√√√√√√√√√90nm√√√√√√√√√√65nm√√√√√√√√45nm√√√√√√√√28nm√√√√√√√√14nm√√√√√√√7nm√资料来源：公司官网，。注：打勾表示设备已经开发成功，已经量产或进入客户端验证图表3:中国半导体新增产能分布（2017）图表4:半导体设备投资分布3

7、1%69%0%<=28nm28nm-90nm8-inch8%5%11%5%3%7%1%2%22%15%2%19%氧化扩散炉光刻机刻蚀机离子注入机薄膜沉积设备CMP设备清洗设备过程控制设备硅片制造、光罩制造后道测试设备封装设备其他资料来源：彭博资讯，资料来源：Gartner，推荐关注企业图表5:推荐关注企业业绩回顾及预测BBGTicker公司名称营业收入（百万美元）净利润（百万美元）FY2