半导体行业国产替代：供需共振，国产半导体设备再启航

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1、目录索引研究逻辑：5半导体产业发展带动设备行业发展6半导体设备行业规模扩张的两条主线：晶圆产能与技术换代6晶圆加工环节核心设备：薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入7技术壁垒显著，行业高度集中8下游崛起，政策扶持有望带动中国半导体设备行业发展9受益下游市场崛起，多领域设备已实现国产化突破9政策扶持带动国产半导体设备健康持续成长11国内半导体密集投资期，国产设备迎来快速成长12需求端：晶圆需求稳步提升，带动晶圆厂建设12供给端：国产设备实力差距逐步缩小，14NM进入验证阶段15供需共振设备迎来投资大周期17产业链相关标的19图表索引图1：研究框架5图2：全球半导体销售额（亿美元，

2、左轴）及增速（右轴）6图3：全球半导体设备销售额（亿美元，左轴）及增速（右轴）6图4：全球半导体市场产品结构类型（2017年）7图5：全球晶圆产能按尺寸分布7图6：数字逻辑节点先进制程占比不断提高7图7：不同技术节点所需掩膜版层数7图8：晶圆制造-加工-封侧流程以及设备需求8图9：前十半导体设备企业营业收入（百万美元，左轴）及前十占比（右轴）9图10：中国内地新增MOCVD（台，左轴）、新增MOCVD占全球比重（右轴）和北方华创LED刻蚀机国内市占率（右轴）10图11：全球半导体市场产品结构（2017）11图12：全球半导体设备销售市场（2017）11图13：大基金一期投

3、资领域占比12图14：一期投资的部分半导体设备企业12图15：全球8寸晶圆厂产能合计（千片/月，左轴）及晶圆厂数目（个，右轴）13图16：全球晶圆制造设备资本支出13图17：全球8寸晶圆厂需求（左轴）及供给（右轴）13图18：汽车电子业务将持续带动8寸晶圆需求13图19：全球300mm晶圆产能（左轴）及增速（右轴）14图20：存储器晶圆需求量有望进一步提升14图21：存储器领域的摩尔定律逐渐放缓14图22：仅靠尺寸缩小无法满足存储器性能提升需求15图23：国产设备与国际先进技术水平差距逐渐拉小15表1：2016年全球半导体设备销售前十大厂商（亿元）9表2：02专项部分参与

4、的半导体设备公司以及阶段性成果整理11表3：2016年中国半导体设备销售排名16表4：部分国产12英寸设备在生产线上实现批量应用16表5：中国内地已有9项应用于14nm的装备开始进入生产线步入验证17表6：目前中国内地在建的22座晶圆厂18表7：国内半导体设备市场空间测算19研究逻辑：1.半导体设备市场规模的成长逻辑在于晶圆产能扩产与技术换代全球半导体设备市场表现同全球半导体市场表现呈现高度一致周期性且设备市场增速呈现常年放大半导体销售变化的特点。半导体设备成长驱动力之一：受益半导体产能扩张，半导体产品需求拉升对晶圆制造以及代工环节产能需求，从而全球晶圆代工稳步扩产。半导

5、体设备成长驱动力之二：先进制程工艺对制造过程中的掩模版数目、光刻机波长、刻蚀机精度都提出了更高的要求，设备工艺难度不断提升，价值量增长。根据SEMI统计，从1991年到2018年，全球半导体设备销售额成长超6倍，达到600亿美金。2.政策助力，下游赋能，持续推动国产半导体设备实力提升政策上看：02专项带动下取得显著阶段成果，诞生了以北方华创、中微电半导体等国内半导体设备龙头厂商，实现了国产半导体设备多个领域从无到有的突破。根据华芯投资官方微信公众号披露，大基金一期共计投资1387亿元，其中集成电路代工制造类占比67%，全面拉升国内设备市场下游需求。下游市场看：以LED产业

6、为例，受益国内LED外延芯片厂商如三安光电、华灿光电快速成长，国内设备厂商凭借下游市场优势，根据北方华创2016年年报披露，AINSputterLED刻蚀机2016年实现市占率全球第一，根据中微半导体招股说明书（申报稿）披露，中微半导体MOCVD2017、2018年实现MOCVD销量分别为57、106台。根据SEMI统计，2018年中国大陆半导体设备需求占全球比重为15%，未来伴随着国内半导体投资不断增加，有望复现LED产业带动上游半导体设备实现跨越成长的路径。3.供需共振，国产设备有望受益投资大周期需求侧：国内新增晶圆厂带来的设备投资进入高峰期，根据我们的统计，目前在建

7、的晶圆厂：12寸晶圆厂共16条，投资额合计6,058亿元；8寸晶圆厂共6条，投资额合计247亿元。另外计划建设的晶圆厂13条，其中有披露投资额的合计4,946亿元。供给侧：国产8寸半导体设备性能成熟，12寸设备28nm节点及以上具备商用能力，有望全面受益本轮投资周期。图1：研究框架下游需求半导体市场提升节点更新换代8寸晶圆设备成熟供给端8寸产线投资回暖需求端晶圆产能提升技术更新，价值量提升12寸产线稳定成长12寸28nm节点商用供需共振建厂增加政策扶持大基金技术提升02专项发展现状低国产化初期空白数据来源：半导体产业发展带动