玻璃的减薄技术及不良影响.ppt

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1、玻璃的减薄（Slimming）工艺.Contents减薄的作用1减薄工艺简介2常见的减薄不良32减薄的作用1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性3减薄工艺简介蚀刻激光离子4稳流渐开减薄方法技术一：蚀刻蚀刻工艺以HF溶液作为蚀刻溶液1.以固定流速沿玻璃基材垂直下流2.蚀刻溶液依靠重力下流，蚀刻玻璃基材表面。5Textinhere蚀刻清洗减薄清洗技术一：蚀刻Slimming6减薄流程7减薄设备其余组件：供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元Unloader单元技术二：真空激光减薄8所谓真空激光减薄技术,是指利用激光器发出

2、的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑,并调节到适当的能量密度,对于处在真空环境中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化,从而达到减薄膜层的目的。技术二：真空激光减薄9系统原理：激光束经过聚焦、偏转后,经由石英窗口,照射放置在真空度为10-3Pa高真空环境中的待加工晶片,以实现对晶片表面银电极层的激光减薄。系统工作原理图如图。技术二：真空激光减薄10优点：(1)可以实现对膜层的精确减薄,且减薄后的膜层不存在性能漂移现象;(2)工作在真空环境下,膜层减薄过程中不会出现对膜层污染、氧化等问题,加之激光加工为非接触加工,不会对膜层产生机械损伤;(3)利用激光移动灵活的特点,可以实现快速的多

3、片薄膜大面积的薄膜减薄。技术三：离子减薄技术11两个离子枪从真空室两侧插入离子束以一定的掠射角(连续可调)从样品的两侧轰击样品。聚光灯从样品背面照明当样品出现微孔时停止减薄。1234纵向和横向控制好锡液流动控制好玻璃液的温度合理配置好拉边机进行双向拉薄技术四：双向稳流拉薄法12关键点：围绕玻璃厚薄差和微观波纹度，在“稳”字上采取有效的技术措施。适用范围：超薄玻璃的生产。13技术五：逐级渐开拉薄法1、是在试验的基础上建立起来的；2、是在超薄浮法玻璃的实际生产当中,通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法,对原有的拉薄方法(强冷重热拉薄法、徐冷拉薄法和双向展薄法)进行了试验探索；3、其整板

4、厚度、厚薄差、微观波纹度均能满足用户的质量指标要求。14减薄工艺自身不良1.不可擦拭脏污2.薄化不匀15减薄工艺自身不良玻璃本身含有杂质.1.除胶未干净，有残留2.PT等未清洗干净玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致工艺设备玻璃表面玻璃本身16Slimming后划伤Slimming前发生轻微ScratchSlimming后Scratch程度加重HumaneyeinvisibleSlimming17Slimming后划伤LiftPin凹点18Slimming后划伤2.Robot吸盘凹点19Slimming后划伤3.轮印21其它不良电阻超标原因：酸残留End22Thanks