玻璃减薄技术ppt课件.ppt

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1、玻璃减薄技术材科112贺文杰201101524215浮法减薄技术TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介2浮法减薄技术3浮法玻璃成型的定义1浮法玻璃成型原理2玻璃液的拉薄3影响成型质量的因素4浮法玻璃成型的定义浮法玻璃成型的定义浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面，在自身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。4浮法玻璃成型原理浮法玻

2、璃成型原理浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡液面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃液的拉薄或增厚。5玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄浮玻璃液在重力和表面张力平衡时，在锡液面上形成自然厚度约7mm的玻璃带。拉引厚度小于自然厚度的玻璃时，必须对玻璃带施加一定的拉力。但是当增加拉引速度时，随着拉引力的增加，玻璃宽度和厚度就成比例地减小，因为在玻璃带被拉薄的同时，表面张力的作用使得玻璃带增厚或使带宽有所收缩，因此要使拉薄过程有效地、顺利地进行，必须选择适宜的温度范围、采用合理的工艺参数和拉薄措6玻璃液的拉薄施。实践证明，温度范围883～769℃，有利于玻璃带的拉薄，同时，玻璃带

3、在拉薄区内获得了展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要求安置若干个拉边机。7影响成型质量的因素影响成型质量的因素浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致停产，其中影响成型质量的因素主要包括 锡槽温度制度、气氛制度、压力制度等项。8TFT-LCD面板玻璃减薄减薄的作用1减薄工艺简介2常见的减薄不良39减薄的作用1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性10减薄工艺简介用酸碱对Glass进行刻蚀，从而达到减薄的目的。防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内，破坏封框胶，进入Cell内部，影响

4、产品性能。获得光亮、平整的表面。封胶减薄研磨11封胶封胶工艺防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部1.加盖遮光垫2.涂胶3.擦胶4.UV固化UV胶破坏TFT结构一般在这之前还会进行检查。涂胶后静置1min。清除多的UV胶。UV固化后检查12封胶UV固化UV灯GLS边框胶涂胶后检查涂胶加盖遮光垫13原理及方式单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡原理1234减薄原理及方式6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O液体+固体（玻璃）->液体14单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡优点：1.可以同时间处理多片玻璃。缺点：1.装置大型。2.外围产生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上

5、。优点：1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点：1.蚀刻表面易产生凹点。优点：1.表面最光滑，甚至可以不用抛光三种方式优缺点15Textinhere蚀刻清洗减薄清洗减薄流程Slimming1617减薄设备其余组件：供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元Unloader单元18减薄工艺参数1.反应时间与玻璃质量损失的关系图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系19减薄工艺参数2.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系20减薄工艺参数3.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF

6、酸浓度之间的关系说明：(HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。21减薄清洗单元（后）DI浸泡碱浸泡酸浸泡DI浸泡a.5-10%NaOHb.45℃鼓泡C.10mina.3%HClb.或常温C.1mina.DI水b.常温C.5mina.DI水b.常温C.5min清洗清洗外观检查Polishing外观检查RejectItem自动研磨手动研磨Picture适应产品无破损产品所有产品可修复不良不良率高发，严重不良不良率较低的轻微不良CAPAQ-panel抛光，效率高针对单点不良修复，效率低研磨22

7、23减薄工艺自身不良1.不可擦拭脏污2.薄化不匀24减薄工艺自身不良玻璃本身含有杂质.1.除胶未干净，有残留2.PT等未清洗干净1.设备故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致工艺设备玻璃表面玻璃本身25Slimming后划伤Slimming前发生轻微ScratchSlimming后Scratch程度加重HumaneyeinvisibleSlimming26Slimming后划伤LiftPin凹点27Slimming后划伤2.Robot