最新TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介解析教学讲义PPT.ppt

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1、TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介解析Contents减薄的作用1减薄工艺简介2常见的减薄不良32减薄的作用1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性3原理及方式单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡原理1234减薄原理及方式6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O液体+固体（玻璃）->液体7单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡优点：1.可以同时间处理多片玻璃。缺点：1.装置大型。2.外围产生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。优点：1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点：1.蚀刻表面易产生凹点。优点：1.表面最光滑，甚至可以不用抛光三种方式优缺点8Textinhere蚀刻清洗减薄

2、清洗减薄流程Slimming9减薄设备其余组件：供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元Unloader单元10减薄工艺参数1.反应时间与玻璃质量损失的关系图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系11减薄工艺参数2.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系12减薄工艺参数3.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系说明：(HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。13减薄清洗单元（后）DI浸泡碱浸

3、泡酸浸泡DI浸泡a.5-10%NaOHb.45℃鼓泡C.10mina.3%HClb.或常温C.1mina.DI水b.常温C.5mina.DI水b.常温C.5min清洗14清洗外观检查Polishing外观检查RejectItem自动研磨手动研磨Picture适应产品无破损产品所有产品可修复不良不良率高发，严重不良不良率较低的轻微不良CAPAQ-panel抛光，效率高针对单点不良修复，效率低研磨15减薄工艺自身不良1.不可擦拭脏污2.薄化不匀16减薄工艺自身不良玻璃本身含有杂质.1.除胶未干净，有残留2.PT等未清洗干净1.设备故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）3.Noz

4、zle堵塞（喷淋式蚀刻方式）玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致工艺设备玻璃表面玻璃本身17Slimming后划伤Slimming前发生轻微ScratchSlimming后Scratch程度加重HumaneyeinvisibleSlimming18Slimming后划伤LiftPin凹点19Slimming后划伤2.Robot吸盘凹点20Slimming后划伤3.轮印21造成B-ITO不良现象：ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀，类似产品表面水干燥后残留的印记。原因：BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈

5、现酸性1.水渍酸印22其它不良1.电阻超标原因：酸残留23与减薄有关的性耐性冲击和跌落高温高湿老化玻璃基板表面蚀刻状况确认TFT端子部腐蚀状况的确认牢固度确认将其放入冷热交替的冷热槽中对LCM进行显示检查和显微镜Glass外观检查高温高湿的老化槽内进行的持续老化。SEM对TFT端子部的表面和断面的观察分析对LCM进行冲击和跌落。对LCM进行显示检查和外观检查24End谢谢！25优秀影视作品鉴赏请观看影视作品展示优秀影视作品的共通点我们需要掌握哪些视音频创作能力？非线性编辑系统原理及类型非线性编辑系统的发展历史-传统视音频设备摄像机放像机录像机监视器多轨录音机…-线性编辑设备编辑机编辑控制器同

6、步器信号发生器…-线性特技设备切换台特技切换台慢动作特技台键控制器…非线性编辑系统原理及类型非线性编辑系统的发展历史-字幕机>最早的，应用最普及的CG设备之一>采用串联方式进行工作>核心是字幕卡>基本被淘汰，其余的向专业化方向发展：播出字幕机、图文创作等-早期的非线性设备>帧存储器、逐帧输出卡>采集、输出（I/O>只能进行剪辑工作非线性编辑系统原理及类型非线性编辑系统的发展历史-标准的非线性设备>模拟接口>独立的存储硬盘>编辑软件>剪辑、编辑、特技、字幕>输出-高端的非线性设备>节目包装系统>后期合成系统>演播系统编辑系统的核心—非编卡视音频接口模拟接口数字接口视频复合SVideo分量RCA

7、（莲花）Q9PIN（SVideo）DV/DVCAM/DVCProSDI1394接口（四芯、六芯）音频单声道立体声RCACANON（卡隆）SPDIF光纤口编辑系统的核心—非编卡视音频格式计算机格式编辑格式输出格式视频AVI(1000+)ASFWMVREALMOVMPEG1/2/4…AVI(CODEC)MPEG-2*MPEG-4AVI(1000+)ASFWMVREALMOVMPEG1/2/4…音频WAVMP3WM