制绒不良现象、原因分析及改进.ppt

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1、1制绒不良现象分析1表面污点（包括手指印、残留物-IPA/K2SIO3/KOH/外来杂质、花篮印、水纹）2.表面发白3表面发亮4表面有规则的闪光5表面有慧星现象发生6表面有慧星现象及污点7表面一些区域没有绒面2.针对制绒不良的改进措施表面污染现象：表面有指纹残留原因：在包装时人为的接触硅片解决方法：IPA可以起到一定效果，但是不能杜绝，需要硅片车间配合表面污染现象：硅片表面有大量的药液残留原因：IPA加入过多解决方法：重新清洗表面污染现象：在同一批片子中相同位置有类似于油污的污渍原因：来料问题，可能在硅片包

2、装时引入解决方法：与硅片车间协商解决现象：表面有污渍原因：在制绒后反应残留物解决方法：重新清洗表面污染现象:表面发白原因：刻蚀时间不够解决方法：通常延长刻蚀时间可以解决硅片表面发白现象：表面发沙原因：KOH过量或者是刻蚀时间过长解决方法：适当降低碱液的用量及制绒时间硅片表面发亮现象：硅片表面部分区域发白，有慧星现象发生原因：IPA偏少解决方法:适当增加IPA的用量表面刻蚀不均现象：硅片表面出现规则的绒面不良原因：可能是来料解决方法：适当延长时间可以一定程度上减轻该现象绒面不均现象：表面有流星雨现象发生原因：

3、来料解决方法：加大碱液用量无绒面现象:部分区域绒面良好，部分绒面表现为较难刻蚀原因：来料原因解决方法：加大碱液与IPA的用量通常可以解决，具体加入量依据实际情况而定绒面不均1.插片在制绒过程中，由于晶体中的缺陷、杂质和参杂浓度将对各个晶面的腐蚀速率造成影响，因此在插片的过程中尽量保证同一花篮中的硅片来自同一晶锭，在不能保证同一花篮中的片子为同一批号时，则将批号中字母标识相同的放在一起制绒不良的改进措施2.抽检在制绒过程中如发现制绒不稳定，应在制绒时间将到时，从溶液中捞取一些片子，进行绒面效果观察，以决定是否

4、需要适当延长制绒时间，在硅片进入清水槽后应适当进行抽样，以决定下一批次药液的补给量3.不良片的判断以及改进步骤由于在制绒过程中，绒面不均占大多数，因此解决这类问题为提高绒面良率的关键。绒面不均有多种原因，主要包括刻蚀时间不够，IPA加入不足，KOH不足等原因。我们可以通过一看二算三判断的方法来解决。首先观察不良片可以归为哪一类，其次计算硅片的腐蚀厚度以及剩余厚度，最后来判断属于那种原因，然后采取何种对策。4.硅片来料控制由于位错将对制绒效果有影响（标号A和B的晶棒分别代表无位错和位错的晶棒），因此需要与硅片

5、车间协商，在包装时，不能将标号A/B的晶棒混放在一起（100片小包装），将同一晶棒标号相同的硅片尽量放在一起，同时要将标号相同的放在同一箱内。