tft—lcd网点mura的研究和改善

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1、第28卷第6期刁VOI_28，NO．62013年12月andDisplaysDec．，20l3文章编号：10072780(2013)06—0860—08TFT—LCD网点Mura的研究和改善张定涛，李文彬，姚立红，郑云友。，李伟，宋泳珍，袁明，张光明。(1．北京林业大学丁学院，北京1O0083；2．北京京东方显示技术有限公司，北京100i76)摘要：为解决ll6．8cm(46in)广视角边缘场切换技术4mask面板生产中的阵列_T艺中，发生的一种网点色斑缺陷，应用扫描电子显微镜、聚焦离子束、能谱仪、宏观微观观测仪和线宽测量仪等检测设备进行Mura及其结晶物

2、成份分析，比较了TFT膜厚；进行了GI和PVX膜玻璃正反面1％HF酸腐蚀试验、下部电极温度e升高1O℃试验、工艺ash、n刻蚀的后处理步骤和有源层BT试验。研究了沟道n掺杂a—Si层的厚度对于Mura的影响。确定了Mura的发生源和影响因素，结果发现Mura形成机理，一为基板背部划伤，二为接触和液m不接触电极区域的温差异，三是刻蚀反应的生成物在有源层工艺黏附在基板背部，之后经过多层膜沉积、湿刻和干刻、剥离工艺后促使缺陷进一步放大。最后采用平板粗糙面下部电极、控制剩余a—si厚度和升高温度晶L的方法，消除了网点Mura，并使得整体Mura发生率降为0．08。

3、与砌关键词：色斑；薄膜晶体管；非晶硅；缺陷分析中图分类号：TN312．18文献标识码：ADOI：10．3788／YJYXS20132806．0860显aResearchandImprovementofTFT—LCDNodeMuraZHANGDing—tao，LIWen—bin，YAOLi—hong，ZHENGYun—you。，SONGYong—zhen。LIWei，YUANMing。ZHANGGuang—ming(1．BeijingForestryUniversity，Beijing100083，China2．BeijingBOEDisplayTechno

4、logyCo．，LTD．，Beijing100176，China)Abstract：ToresolveakindofnodeMuraof116．8cm(46in)FringeFieldSwitchingpanelinarrayactual4masketchingprocess，scanningelectronmicroscopy，focusedionbeam，energydispersivespectroscopyMacro／Microandcriticaldimensionareusedtoverifythecomposi—tionsandcrystal

5、s．AlsoGItest，PVXlayer’Sfrontandbacksidein1HFcorrosionexperi—ment，elevating10℃inlowerelectrode，varyingashandAT(aftertreatment)ofnstepandactiveBTconditionsarecarriedout．Inaddition，theeffectofthendopeda—Sithicknessisstudied．SotheMurasources，influencingfactorsandtheMuramechanismarerev

6、ealed：FirstfactoriSitsfirstformationonthesubstratebackscratch．theotheriSthefilmchangesbetweencontactandnon—contactelectrodelayeretchingregionalintemperaturechanges，thethirdisby—productsadhesiontothesubstratebacksideinactivelayerdryetch，followedbyamulti—layerfilmdepositionandamplif

7、iedafterwetetch—stripprocess．Finallytheflatandroughlowerelectrodeisadopted，remaininga—Sithicknessisrestrictedbetween210nmand230nm，andtemperatureiSelevatedto50oC，thennodeMurahasnotbeenfoundandtheoverallMuraratioiSlessthan0．08．Keywords：Mura；thinfilmtransistor；amorphoussilicon；defect

8、analysis收稿日期：2013-06—27；修订日期：2013