TFT-LCD边角Zara+Particle研究和改善

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1、科技DIGITCW创新TechnologicalInnovationTFT-LCD边角ZaraParticle研究和改善陈杰管礼志孟凡维高荣荣刘俊豪（合肥京东方光电科技有限公司，合肥230011）【摘要】本文研究了TFT-LCD显示器制造工艺过程中边角ZaraParticle不良产生机理及其改善措施。通过拆屏后扫描电子显微镜（SEM）观察分析和实验模拟，发现此种不良为边角附近柱状隔垫物（PhotoSpacer，PS）受外力挤压破损产生碎屑造成。研究发现不良主要发生在液晶盒Q-Panel厚度减薄（Slim）工序段，并且不良Panel常伴随发生厚度不均。建议通过加强减薄工

2、艺管控以提高Panel厚度均一性和探究提升PS强度的制造工艺以及寻找新型PS制造材料的方法来降低此种不良的发生率。【关键词】TFT-LCD；ZaraParticle；柱状隔垫物；挤压【中图分类号】TN873+.93；TP278【文献标识码】A【文章编号】1672-7274（2015）08-0188-021引言近年来，TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器）以其低功耗、低辐射、低空间占用率以及轻、薄、美观等优点，得到越来越广泛的应用。新型液晶面板不断被开发出来，人们对液晶面板显示效果的要求也在不断提高，因此对液晶面板制造企业也提出了更[1-2]图2Panel对盒后流通环节

3、高的要求。液晶面板厂内对ZaraParticle类不良的检查也变得越来越严格。ZaraParticle源于日语，用于表示液晶显示画面的3结果与讨论不良，常指液晶面板在暗态画面下显示区域出现的微小细密亮点。3.1Particle微观形貌与成分分析结果产生ZaraParticle不良的原因很多，与液晶盒（Panel）的[3]由图3可知，发生不良的边角位置彩膜CF侧柱状隔垫物结构设计、制造工艺、面板显示模式等都有关系。本文针对13.3inch全高清TFT-LCD显示器边角ZaraParticle不良进行研PS顶端受到明显破坏，且TFT侧碎屑的成分分析进一步确认究，结论为液晶

4、面板制造工艺过程中边角位置柱状隔垫物（Photo-Particle碎屑为PS受损脱落物。据此，推测不良是Panel流通过Spacer，PS）受挤压产生PS碎屑造成，并且通过排查发现此不良程中PS受到破坏产生碎屑，这些碎屑形成ZaraParticle不良。主要发生在Q-Panel减薄（Slim）工序。据此，提出加强减薄代工厂Slim工艺管控和探究提升PS强度的制造工艺以及寻找新型PS制造材料的方法来降低此种不良的发生。2实验2.1不良现象确认本次ZaraParticle不良检出工位为模组COG（ChipOnGlass）产线后段，现象为边角位置集中细密碎亮点，故在本文称为

5、边角ZaraParticle。经模组现场确认30片不良品，现象及位置如图1所示。图3Particle微观形貌与成分3.2不良产生机理模拟图1不良现象与位置发生率用手指在没有不良的Panel边角来回用力按压，可以在显微2.2不良显微分析镜下出现与不良类似的细密亮点。推测PS受损与Panel边角位去除电学信号后不良仍然可见，可以排除电学性成因。按压置受外力挤压作用相关（如图4所示）。细密碎亮点位置可移动，说明不良由Panel盒内浮游Particle造成。为了观察这些细密Particle的微观形貌以及组成成分，本实验采用光学显微镜和扫描电子显微镜（SEM）经行分析。实验过程

6、中，为了避免外来Particle的污染，拆屏后直接用热风枪加热蒸发掉液晶，最大限度保证不良Particle的纯净与位置固定，得到适宜显微观察分析的样品。2.3不良发生工位排查因不良由Panel内的浮游Particle造成，故不良应该产生于图4PS受压示意图对盒后的各个制造环节。本公司生产的13.3英寸产品，Panel对盒后流通环节如图2所示。3.3Panel履历查询结果由上图可知，Panel对盒后流通环节很多，各个环节都有可根据PanelID信息数据可以对比真空成盒设备（VAS）和能造成此种不良。为了准确找到不良产生工位和便于不良改善，Panel切割设备（CUT）发生

7、率的差别（图5）以及减薄代工厂之本文采用Panel履历数据分析和流通环节抽样观察两种方法查找间不良发生率的差别（图6）。不良产生工位。从发生率差别来看，Cell对盒工序VAS和切割工序CUT各188DIGITCW2015.08TechnologicalInnovationDCW科技创新生产线皆有发生，无明显线别；Q-Panel减薄代工厂都有发生，采用图8的Q-PanelPolTest方法，分别随机抽取减薄前2pcs发生率不同，且代工厂B发生率最高（11.6%）。Q-Panel（8pcssingle）和减薄后5pcsQ-Panel（20pcssingl