TFT_LCD行业Particle管控和改善方法研究_叶超前.pdf

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1、ELECTRONICSWORLD・技术交流TFT-LCD行业Particle管控和改善方法研究合肥京东方光电科技有限公司叶超前钮曼萍王祥臻童冉刘俊豪秦卫杜永刚【摘要】本文研究了TFT-LCD行业Particle产生的原因并分类，在基于环境、人员、设备、气流的研究上，并通过设备气流优化、人员行为改善、建立Manifold监控系统，形成一套完整的Particle管控和改善体系。研究表明：在人员标准化作业、气流回环稳定时，通过改善设备内Particle，可使Particle基数控制在10个以内（Particle大小0.

2、3um/每台设备内）。【关键词】LCD；Particle；Manifold监控；环境；气流；设备；人员ResearchonParticlecontrolandimprovementmethodinTFT-LCDindustryHefeiBOEOptoelectronicsTechnologyCo.,LtdYechaoqianNiuManpingWangXiangzhenQinWeiLiuJunhaoAbstract：ThispaperstudiesthecauseofParticleandTFT-LCDindus

3、tryclassification.Basedontheresearchofenvironmentpersonnelequipmentair,improvethroughair,staffbehavior,ManifoldParticlewithinthecontrolequipmentofthemonitoringsystem,establishedacompletesetofParticlecontrolandimprovethesystemofthepresentstage.Theresearchshows

4、theloopbackstableairflow,thenormsofbehavior,byimprovingtheequipmentinsidetheParticle,canmakethebaseofParticlecontrolwithin10(particlesize0.3umperequipment).KeyWords：LCD,Particle,Manifoldsystem,Environment,Airflow,Equipment,OperatorDOI:10.19353/j.cnki.dzsj.201

5、6.14.145第二类：S级成因多数为生产时异物落在显示区域，影响该区1引言域的液晶偏转形成亮点不良；第三类：Particle多为大的异物落在显示区域造成，模式分为金随着CRT技术被TFT-LCD技术完全取代，各行各业对显示器的属类，有机物类等。使用范围也不断增大。为了满足各行业对显示器用量日益增加的需求，我们除了满足客户高响应速度、高分辨率、宽视角的要求，还4Particle的源头及产尘原因分析需要增加自身的产量投入市场，而提升产能的同时，也需要保证产品的品质以便能提升产品竞争力。在本文中，我们通过对各尺寸产P

6、article对生产品质的影响是极大的，而我们的洁净间生产线就品Particle类不良分析及生产环境的改善，收集了大量的数据，建立是为了避免此类情况的出现。而事实上，洁净间中也有各类异物的了一种可以方便快捷准确的管控模式和改善策略。存在，异物的来源我们可以分为以下几类：（1）人员：进入洁净间需要穿戴无尘服、无尘鞋、防静电手2Particle造成的不良分类套及防尘手套，而受工作时间及教育状况影响，一些接触设备的人员违规操作(如图1所示)，人员是一个移动的Particle源（Particle因为ParticleSiz

7、e及位置的影响，我们将Particle造成的不良分为Counter测量拉下口罩后Size0.3um以上的有3046）。以下三类[1]：第一类：Particle落/压在DataGateCommon线上，造成相应的线不良，点灯时可看见明显的Particle点；第二类：ParticleSize较小，落在像素区，点灯现象多为亮点类不良；第三类：ParticleSize较大，落在Panel内部，影响到盒厚，判定为Particle，点灯可见不良区域带晕，泛白。表1Particle造成的不良分类Table1Adversec

8、lassificationcausedbyParticle图1人员常见违规行为Fig.1Commonviolationsofpersonnel3Particle引起的不良分析过程及结果我们对分为三大类的不良挑取了比较具有代表性的样品进行了分析，包括我们的分析方法和结果。通过对各类不良分析，得到如下结论：图2生产设备气流状况示意图第一类：Particle起因线不良，多数为金