PECVD操作指导书

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1、1.目的：规范操作，为生产车间操作规范化提供依据2.范围:适用于PECVD设备使用工序.3・职责:3.1.1负责PECVD设备的开机和关机程序。3.1.2负责PECVD设备的日常维护。3.1.3负责发现作业过程中其设备出现问题怎样解决。4・名词定义：无5・设备使用程序:5.1使用环境及工作条件5.1.1环境温度<25°C5.1.2相对湿度<75%5.1.3净化等级1000级〜10000级5.1.4电源三相五线，380V/50HZ,W50KW/管5.1.5供水水压0.2MPa〜0・4MPa5.1.6供气SiH4NH3N2O2CF4五路气体，气压0.2MPa〜0.45MPa5.1.7配

2、排风排毒装宜5.2对环境及能源的影响PECVD设备本身对环境及能源没有任何影响，若用户采用不同的工艺，使用不同的气体可能对坏境稍有彩响，但由于用气量非常小，不会造成任何危害。5.3安全本设备在设计过程中已充分地考虑了安全因素，只要用户不违反操作规程绝不会出现安全事故。唯一可能在工艺过程中使用易燃气体SiHp气体源应远离操作台，工作场地禁止使用明火，工作人员禁止吸烟。所有气路管道不允许有任何泄漏点。5.4使用前的准备5.4.1接通整机电源；5.4.2接通本机水路；5.4.3接通各路气路。若设备停止工作时，应该将反应管内部抽成真空，停止加热，其目的是为了防止真空管路过热，会使压力传感器

3、严重零漂，影响压力测量。待温度低于250°C再停水，并关断NH,SiH4等气体的手动阀。6设备开启及关闭条件和方法6.1开启条件炉门开启前提条件：A、“常压小灯亮；B、“推舟退到位慄；炉门关闭前提条件：A、“推舟退到位”亮；手动推舟运动的前提条件：A、炉门“旋转开到位”亮；B、炉门汽缸“退到位''亮；C、“常压"灯亮;送片运动的前提条件：A、炉门“退到位慄；B、炉门汽缸“退到位,，亮;C、“常压小灯亮；D、升降处于“上位SE推舟处于“退到位S取片运动的前提条件：A、炉门“退到位”亮；B、炉门汽缸“退到位亮;C、“常压和灯亮；D、升降处于“下位JE推舟处于“退到位=慢抽开启前提条件：

4、A、炉门“旋转关到位"亮；B、炉门汽缸“进到位"亮;主抽开启前提条件：A、“真空》灯亮;特气阀开启前提条件：A、真空压力低于600Pa；射频电源稳定工作条件：A、压力稳定；B、无片子短路；C、电极接触良好；以上信号注意“常压”信号的正确性，由于此信号为电接点压力表提供，触点的力较小，有时需耍人为轻轻啪一下电接点压力表，让“常压”灯亮；“真空”信号为电接点压力表与真空测量压力表共同提供的，信号较为可靠。推舟系统的到位信号除了升降“上位”和升降“下位”是旋转编码器提供外，其它一律为光电行程开关定位；由于旋转编码器无断电保持功能，注意在设备重新上电后，一定要对升降进行一次归原动作，方法是

5、将升降机构往下运动，一直到“下位”，然后根据需要为送片还是取片，将其运动到“上位”或保持在“下位S如果设备匝新上电后没有对升降进行归原动作，有可能升降碰到极限开关，显示屏“极限开关”会亮，解决方法是停止升降动作，将固定升降极限开关的固定板送开，将升降运动至“下位"，再固定好极限开关的固定板；6.2设备关闭方法a＞关闭加热；b、将反应室抽成真空；c、关闭慢抽和主抽；d、关闭真空泵；e、退出系统；f、关闭设备控制电源；g、断开墙上总电源6.3设备启动方法a、合上墙上总电源；b、开启设备控制电源；c、进入计算机系统；d、开启真空泵；e、开启加热；f、选定丁•艺文件；（注意检查水、电、气）

6、对于泵的启动方法有两种：A在计算机上启动；B在泵的编程器上启动；停止方法也一样7常见故障分析与排除市于本设备是台特殊、专业性很强的设备。它集机械、电子、高频、计算机、真空、气体、传动及温度控制为一体，如使用得当，经常维护，就不容易出故障。如不按使用说明书严格操作，可能会出错,严重时可能会损坏设备，甚至出现人身事故。常见故障分析与排除序号故障现象故障原因分析排除方法1温控仪显示H.H.——⑴断偶⑵接触不良⑶补偿导线被损坏⑴更换热偶⑵检查接线端是否松动⑶更换补偿导线2蜂鸣器叫⑴超温或断偶报警⑵停水报警⑴如温控表没有信号输出，温度继续升高，一般是可控硅被击穿，更换可控硅芯子即可。⑵打开水

7、源，如无水应停机，否则会烧坏密封圈。3温度超温而蜂鸣器消音按钮被误按下将消音开关复位不叫4水平层流无风或风量小(1)风机损坏⑵高效过滤器老化⑴更换风机⑵更换高效过滤器5炉体某段不升温(1)功率部件保险芯断⑵可控硅开路⑴更换保险芯⑵更换可控硅6真空抽不上去⑴工艺管前端密封不好⑵工艺两端密封圈老化⑶真空泵油污染严重⑴调整推舟机构⑵更换密封圈⑶更换泵油(在太阳能电池行业泵油应常更换)7压控仪在抽真空过程中总处于报警状态，没有显示压力变送器电源未打开打开电源，若仍无输出，更换