管式PECVD操作指导书

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1、文件名：管式PECVD操作指导书文件编号:WI-EM02-72版本:A/0牛效日期：页码：6修改记录版本修改内容摘要编制人审核人批准人R期A/0新发布规范生产过程出现异常时的操作程序；细化操作步骤；增加操作时出现的报警信息及处理发布部门份数发布部门份数□总经理部[]口财务部[]□人事行政部[]口设备部[]□市场营销部[]口品控部[]□技术工艺部[]口生产部[]文件宣贯签字：1.目的确保管式PECVD处于良好的运行状态。1.使用范围适用于所有Centrotherm管式PECVD。2.生产操作3.1开机3.1.1开总电源。用手扳

2、住电柜外部的红色按钮，旋转9()度。从“OFF”位置拔向“ON”位置，机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。注意，当机器出现故障，按下急停键后，首先松开急停键，然后将开关逆时针转到Reset的位宜，然后再顺时针转到“ON”的位置。机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。3.1.2开真空泵。(1)合上真空泵电源，按卜jesct按钮，start按钮亮，然后按卜•start按钮，prerun按钮亮，此时真空泵启动，当真空泵运行到止常转速时，vacuummode灯亮，此时真空泵完全启动。3.1.3检查外围条

3、件。N2的压力＞2.5Kg/cm2,SiH4的压力约为1.5Kg/cm2,NH3的压力约为1.5Kg/cm2,CDA的压力为5〜7Kg/cm2o炉门处的冷却水流量计＞4SLM,设备炉体区顶部的冷却水流量计＞4SLM,主冷却器＞8SLM,设备尾部的冷却水流量计＞4SLM,射频电源的总冷却水流量计＞18SLM.3.2界面操作(1)卅动CMI程序。开总电源后计算机自动启动。输入密码“6065”后自动进入Windows桌面。用鼠标左键双击“CMI”图标，启动CMI。(2)进入CMI画而，检查设备状态：SLS=UP(舟处于上位)，DO

4、OR二CLOSED(门处于关紧状态)，PLOOK,LIFT二READY(机械壁必须在零位)，TUBE二READY(炉管处于准备好状态)3.2.1选择丄艺程序，生产。(1)插片。用小车承载石墨舟，在插片房屮插满硅片。(2)向机器进乍。向机器推入装完片的石黑舟小车。计算机CM1自动切换到“JOBS”画而在“LOTS”项直接按四车，在舟号里输入舟的号码。选择对应的工艺文件设备口动或人工选择TUBE绿色的小年解锁按钮三秒钟。等灯熄灭后拉出小年推入冷却房中。在运输过程中千万注意舟的安全和避免舟高温伤害。3.2.6完毕后小心推入冷却房中

5、进行冷却后推到装片房卸片。3.3关机3.3.1检查确认生产已完毕。机器中舟已卸出。3.3.2PECVD每个真空管压力设定为lOOOOmToor,等每管实际压力达到lOOOOmTooro3.3.3设备降温。直到降到100C以下，才关闭CMI程序。再关计算机。3.3.4关主电源。用手扳住电柜外部的红色按钮，逆时针方向转90度。3.3.5关闭气源。注意：除N2外关闭所有气体。（一般情况下不需要关闭气源）3.3.6关闭冷却水。等待二十分钟后关闭冷却水。先关进水，再关出水。（一•般情况下不需要该操作）3.3.7关闭真空泵。按压真空泵面

6、板“OFF”按钮停泵。3.4常见故障处理341上料故障（1）舟车放进去后没动作处理方法：3.检杳上面的s（ore2和store3是否都有舟，都有舟时，舟车不带石墨舟才能动作，否则不动作b.检查setup里面store2和store3是否同时有舟c.检查舟车上面的反光板有没脏污物挡住（2）舟车推进去后刚升上夹紧，马上就松动降下处理方法：调整升降气缸的气流量3.4.2进舟故障（1）桨上有舟，但机械愕不能放进去该位置原因：检测舟的传感器没感应到反射，导致以为桨上有舟处理方法：点击“system”一＞“handling”，然后查看左

7、上角的桨的状态，如果是occupied状态的话，调整炉门的反光板，直到该状态为“free”状态。（2）石墨舟进不到位,只进到2050〜2062之间原因：电极孔没対上，或者石墨舟放反了处理方法：及时通知设备部人员，调整电极。343退舟故障（1）桨在退舟时，卡住不动了原因:桨上有舟,退出时,炉口的EFM传感器测量的石墨舟的值,和设定值有偏差＞7mm°处理方法：a.sevice一recovery一handling即可（一般采用此方法，不需要管理员用户）b.service—alibrat一EFM一zeropos（校准零位，复位，需要

8、管理员用户）3.4.4工艺故障（1）炉管里而有舟，但桨不会自动取舟a.压力不足处理方式：看炉管压力是否为Atmoreach或者overpress（达到人气压或者压力超过人气压），如果不是的话，补充氮气或者打开N2NO阀门（快速补充氮气）b.手动加载工艺运行的情况下，如果错删舟信息，在上限位