管式PECVD设备操作及维护

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1、广东爱康太阳能科技有限公司文件编号编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页码1/8编制/日期：2011/3/12审核/日期：批准/日期：1.目的确保PECVD良好的运转和延长PECVD的寿命。2.使用范围PECVD维护及保养。3.内容（CentrothermPECVD）3.1开机3.1.1打开冷却水（先开出水阀，再开进水阀）、压缩空气、N2、特气（SiH4、NH3）关。将冷却水压力计调为5～6公斤；N2压力计调为2～3bar；特气压力计调为1～2bar；3.1.2打开设备侧面红色旋转式电源开关；打开位于真空泵正上方的黑色旋钮电源开关，绿色指示灯

2、亮为开关已打开；3.1.3打开设备UPS电源开关；打开电脑UPS电源开关，正常显示为“ONLine”的状态，启动触摸屏；3.1.4打开设备UPS电源开关＋V－4F7及＋V－4F8；打开＋V－F开关（24VingeneralCMS），以及相对应的加热开关（＋V1－S1、＋V2－S1、＋V3－S1、＋V4－S1）。打开24V电源控制开关；3.1.5打开CESAR控制开关。检查每根炉管的状态，正常状态为：Tube＝ready，Life＝ready，Door=closed，PLC=ok，SLS=up，TGAfree=Yes；将炉管温度设置为450℃（Manu

3、alT-PaddleAllSetpoint＝450）；3.1.6待炉管内的温度高于400℃时，便可进行生产。3.2关机3.2.1降温，确保每个炉管的温度降至100℃以下。ManualT-PaddleAllSetpoint＝20℃3.2.2将炉管内的压力设置为最小。ManualVacuumTubePressure＝Minimum3.2.3打开大氮开关，向炉管内充氮气；Atmpress>1000mbar时，关闭大氮阀门。打开大氮：ManualGasN2NOValve＝Open关闭大氮：ManualGasN2NOValve＝Close3.2.4关闭特气阀门

4、，可以只关闭位于真空泵房的特气保护阀，设备尾部的特气阀可以不关闭；关闭设备尾部氮气阀门。3.2.5关闭真空泵ManualVacuumPumpSwitchOff。广东爱康太阳能科技有限公司文件编号编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页码2/83.2.6关CESAR，ServiceShutdownYes。3.2.7关闭总电源：将Mainswitch开关调至OFF档。3.2.8关闭真空泵电源开关。3.2.9关闭真空泵与设备上的冷却水，先关进水口，再关出水口。4．保养保养周期序号内容实施方法检查标准工具时间班保养1清洁上料台用酒精和无尘布擦拭桨，存储

5、区，上料台上料台表面干净，无碎片等异物无尘布、酒精0.2H2清洁石墨舟上氮化物用N2枪吹扫石墨舟表面石墨舟表面无氮化物吹尘枪0.1H3清洁石墨舟承载车用拭有酒精的无尘布擦拭承载车承载车上无碎片无尘布、酒精0.1H4清洁石墨舟装片房和冷却柜用拭有酒精的无尘布擦拭装片房和冷却柜装片房和冷却柜无碎片无尘布、酒精0.1H5清洁真空吸笔用拭有酒精的无尘布擦拭真空吸笔被吸的硅片上不留下痕迹无尘布、酒精0.1H6检查氮气压力2～3bar确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修N2压力值达到2.5±0.5bar无0.05H7检查压缩空气压力5～6ba

6、r确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修CDA值达到5.5±0.5bar无0.05H8检查硅烷压力1-2bar确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修SiH4压力值达到1.5±0.5bar无0.05H9检查氨气压力1-2bar确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修NH3压力值达到1.5±0.5bar无0.05H10检查冷却水进水温度18～22℃确认温度计上的显示值能否达到要求值，否则通知设备人员检修温度计温度达到20±2℃无0.05H11检查冷却水进水和出水压差﹥3bar确认压力计上的显示值能否达到

7、设定值，否则通知设备人员检修冷却水进水压力减去出水压力值大于3bar无0.05H12检查排风有流量﹥100L/min确认流量计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修流量计上流量值大于100L/min无0.05H广东爱康太阳能科技有限公司文件编号编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页码3/813检查冷却房风机用小车推入冷却房查看风机是否正常转动,有风风口有风无0.1H14检查上料台净化风机查看风机是否正常转动,有风风口有风无0.1H周保养1清洁炉门密封圈用无尘布把炉口和炉门的氮化物擦干净炉门和炉门口干净整洁无尘布、酒精、百洁布0.5H2

8、清洁SiC浆上的氮化物用吸尘器沿着浆吸去氮化物浆上无氮化物粉尘吸尘器0.5H3清理工艺炉管碎片用自制的毛刷把