管式PECVD生产操作规程

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1、PECVD生产操作规程葛成林7/23/202111安全警告设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、射频辐射等危险严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域机器生产运行时，严禁拆设备任何部件。未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机。7/23/20212硅烷是极易燃易爆气体硅烷灭火仅通过关闭气源硅烷燃烧生成石英砂预防：定期设备检查培训合格，有特殊能力的人操作机器安全保护硅烷气体泄漏探测器2硅烷SilaneSiH47/23/20213氨气AmmoniaNH3腐蚀性对眼睛、皮肤、呼吸系统伤害高浓度致命低浓度易燃预

2、防：同硅烷另外避免吸湿和检查阀体及管路锈蚀情况7/23/202143安全与标识威胁人身伤亡或健康微波辐射危险微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2热的表面7/23/20215触电危险戴防护眼镜戴防护手套7/23/202163开机开总电源启动计算机检查冷却水检查气源启动真空泵加热7/23/202173.1开总电源开关：UPS不间断电源---控制电源市电---加热、驱动、真空泵7/23/202183.2启动计算机----开电源后自动启动，输入密码。7/23/2021

3、93.4检查冷却水冷却水压力应在4kg/cm2--6kg/cm2范围内先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀7/23/2021103.4检查气源打开压缩空气阀，压缩空气为5kg/cm2--7kg/cm2打开氮气阀，氮气压力为3kg/cm2打开CF4和O2阀，压力为3kg/cm2打开SiH4和NH3阀，压力为3kg/cm2（警告：开特气需培训合格者，确保特气管路中无O2或压缩空气)7/23/2021113.5启动真空泵开冷却水，压力最大4kg/cm2开N2，压力应在1KG/CM2启动真空泵如果是冷泵，手动关闭蝶阀，真空泵预热7/23

4、/202112在CESAR界面，manal/T-paddle/All/setpoint=4503.6加热：7/23/2021134选择工艺单、生产7/23/2021145关机5.1检查所有管工艺运行结束，降温5.2关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫5.3关掉真空泵5.4退出控制程序,关主电源5.5关上压缩空气、氮气、冷却水说明：短时间不用不需关设备，维护和放假才可能关闭设备。平凡关闭设备易引起故障。7/23/2021155.1工艺运行结束后降温在CESAR界面，manal/T-paddle/All/setpoint=25为了加快

5、降温速度可向管灌N2到大气压Manal/gas/N2NO/valve/open(开气)Manal/gas/N2NO/valve/close(关气)7/23/2021165.2关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫关上位于墙壁气箱中特气阀通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫7/23/2021175.3关真空泵运行停泵工艺PUMPOFF.PRZ等电脑提示停泵等泵冷却后关闭N2和冷却水7/23/2021185.4退出控制程序，关主电源密码登陆关闭控制软件CMI，计算机显示回到windows画面进行正常关计算机操作相邻两条线四台PECVD

6、全关闭计算机后，关闭主电源7/23/2021195.5关上压缩空气、氮气、冷却水关上压缩空气、氮气阀等机器冷却后可关闭冷却水，先关进水阀，然后关回水阀7/23/202120PECVD生产操作规程完7/23/202121