PECVD镀膜工艺作业指导书

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1、表6-5PECVD镀膜工艺作业指导书工艺名称:PECVD镀膜工艺作业指导书版本:A文件编号:1131-37修订：无文件类型:表格.doc撰写人：许志杰，陈锦焕，谭凯文，凌涛，史培群笫1页共3页光伏发电1131第六车间1.目的：减少A阳光的反射，增加硅片对太阳光的吸收，从而提高光电转换效率；更好的保护硅片表面（尤其是对多晶硅提供多余的氢离子对晶体内晶界提供顿化键）。2.适用范围I：经过清洗的单、多晶硅片。3.4.5.6.7.操作规程：（1）准备工作:职责：操作员负责操作和运行PECVD设备，以及开关机前检査等；上舟员负责石墨舟上下舟及石

2、墨舟的保养和维护；插片员负责给石墨舟的装卸片，设备维护员负责机器气体更换源等复杂系统维护，以及工序长监督整个流程的运行和备工作人员的工作状态。主要原材料及半成品：设备内的硅烷、氨气、氮气、氮气和清洗后的硅片。主要仪器设备及工具:PECVD设备、特殊气体供气系统、石墨舟、石英吸笔、取舟巾钩.万用表.椭偏仪等等C工艺技术要求：要求操作员全面了解PECVD设备的操作运行和开机而后检査方法以及机器故障的处理方法，上舟员按条件上下舟（注意力度和舟放置位置卡好以及电极方向），插片员按条件插好硅片，设备维护员要求对设备结构全面了解以及有害气体紧急事

3、故处理，工序长了解整个工艺的运行原理及紧急情况处理。操作员检查设备所需的水、电、气是否准备完毕，设备维护员协作操作员检查并报告设备目前状态。（2）开机：A.操作员确认水电气准备完毕后，由工序长开启电控柜内设备的总电源和操作台面板上的电源开关。B.C.操作员进入计算机系统开启真空泵，使真空汞开始运转。操作员选定工艺文件，根据“光伏电池工艺参数表单”设定工艺参数。在正常运作下,实行自动循环。（3）接收硅片：清洗送来的硅片由插片员统一接收，插片员在收片时耍检查硅片的数量与流程R所示数量是否吻合，检查硅片是否有破损、缺角、崩边等缺陷，是否有绒

4、而不良硅片。发现有上述问题时及吋做好记录，同吋将碎片分类放入指定的盒子内，统一处理。绒面不良的硅片耍返冋清洗工序。（4）装片：•插片员戴上口罩及乳胶手套，使用石英吸笔将硅片一片一片依次插入石墨舟内（注意：正面在两电极Z间；石英吸笔的吸力大小通过调节阀来调节，只要能吸住硅片即可；取片吋，花篮开口大的i面朝向口己，此面为硅片正面;吸片位置为片子的中间偏右方）。•插片员插片时，先将硅片竖直放入舟内，硅片接触卡点1、2后，向卡点3方向偏移5。左右，肓至硅片完全卡到工艺卡点上方才算插片完成。•插片员用石英吸笔将放入石墨舟中的硅片的位置进行校正，

5、进一步固定好硅片。对插好的硅片进行检查。•上舟员用収舟曲钩将石黑舟吊放在管式PECVD设备的机械手上（注意要轻抬轻放同时注意右电极孔的一端朝向炉管尾部；在进舟和出舟过程中，工序长和设备维护员需认真观察机械手的运行悄况，如发现有撞舟的可能，须及时按下急停按钮，并及时将问题报设备部。（5）镀膜：♦运行自动程序：操作员运行自动程序（详细循环程序：开始=>充氮=>取片=>装载=>送片=>慢抽=>主抽=>恒温=>恒压=>预放电=>淀积=>抽空=>充氮=>抽空=>充氮=>抽空=>充氮=>抽空=>结束）在放电过程中，需认真观察辉光放电情况，如放电不

6、正常，则需及时转到抽空步骤，并将舟取出，对没冇装好的硅片重新定位。♦参数设定：操作员按以往的参数运行且根据膜色对氨气和硅烷流量做微调。♦沉积完毕后，上舟员将准备好了的下一批装好片的石墨舟放在推车上，操作员将石墨舟从设备退出，上舟川取舟吊钩将石墨舟从管式PECVD的机械臂上取F,并放在另一个装好硅片的石墨舟，以此往复，实现连续生产。（注意要轻抬轻放同时注意右电极孔的一端朝向炉管尾部；在进舟和出舟过程中，工序氏和设备维护员盂认真观察机械手的运行情况，如发现有撞舟的可能，须及吋按下急停按钮，并及时将问题报设备部）：♦取片：插片员使卅石英吸笔

7、将硅片从石墨舟屮取出，放入丝网印刷的花篮内（方向注意一致就行）⑹自检：>插片员检查硅片是否有缺角、崩边，对于缺角、崩边的硅片不得流入后续工序，应按规定分类、集中放置，统一印刷生产。>每批抽测5片，检杳硅片膜厚和折射率。检杳硅片的膜厚，由管式PECVD镀膜硅片的膜厚检查采用口测方式，日测颜色为蓝色，所有外观颜色正常或目测出膜厚有少许偏薄及少许偏厚的硅片都属合格，均可流入后续工序；对于外观颜色偏差严重、线痕、白斑、跳色、局部冇花纹、或局部未镀上膜的硅片应予以分别统计并暂留，待重洗后返工生产。>检查硅片背面是否存在山于沉积时局部短路而镀上的

8、氮化硅膜。对于硅片背面沉积上少量氮化硅的硅片（面积小于100mn「2）,按正常硅片往下流，若背面沉积面积超标，则需隔离，待重洗示返工生产。（7）关机顺序：①关闭加热②将反应室抽成中空③关闭慢抽和主抽④关闭真空泵①退出系统