《RENA保养介绍报告》PPT课件

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1、RENA保养介绍生产设备部2011年10月设备保养的目的保障设备正常运行提高设备稳定性提升产品良率保养内容周保：每周一次（±1天），2个小时。月保：每月一次（±3天），4个小时。季保：每3个月一次（±7天），8个小时。年保：每年一次（±1个月），12个小时。保养内容项目保养内容周保月保季保年保1清洁碱槽风刀吹气孔√√√√2清除机器表面及盖板上附着的污物√√√√3检查所有槽滚轮和齿轮箱的运行情况√√√√4清洁上下料台硅片的传送皮带√√√√5更换过滤芯√√√6清洁各个槽体√√√7上下料台的保养√√√8冷冻机更换乙二醇√√

2、9清洁所有风刀的吹气孔及喷淋管的喷水孔√√10检查化学品供应系统的工作状态√√11检查各循环泵的运行情况√12检查各电气部位的接线√13检查排风系统√14更换烘干风刀的过滤芯√清洁碱槽风刀吹气孔目的：减少碱洗槽的报警时间，提高设备的运行率，提高产品的良率。报警信息：泵的干燥保护报警，碱槽低流量报警，碱槽无法注入ID水报警等都是由于风刀堵塞导致的。故障及原因分析：在碱槽中结晶比较多，会堵住碱槽风刀的气孔，造成碱液吹不干被硅片带走，碱液液位下降导致降报警。泵的干燥保护报警会导致上料滚轮停止上料，影响正常生产。液位过低有时

3、会导致做出来的片子发黄。解决措施：每周保养时清理风刀。作业步骤待槽体清洗完成后，关闭碱槽风刀的CDA手阀，拆除风刀位置的槽体盖板，拆下风刀。有水枪冲洗，如发现哪个孔堵塞或不流畅可以用0.5mm的细针清理风刀上的小孔。清理干净风刀里的水，按拆卸的逆顺序安装风刀及盖板；将风刀CDA手阀打开到合适的位置。清除机器表面及盖板上附着的污物目的：提高产品的良率，设备5S故障及原因分析：硝酸和HF酸都是易挥发的，在生产一段时间后盖板上会附上一层小液珠，在刻蚀槽中这些小液珠聚集多了会滴到硅片上，造成返工（二次清洗）。另外制绒槽中反映

4、剧烈，碱槽结晶等附着在盖板上的污物比较多，影响设备5S，同时也不利于观察各个槽的工作状态。解决措施：生产每个班次用无尘纸擦拭刻蚀槽一遍，其它部分每周保养时用水枪冲洗干净。作业步骤待槽体中的药液排掉以后用水枪冲洗卸下并用无尘纸擦干待其它部位保养完以后安装回去检查所有槽滚轮和齿轮箱的运行情况目的：保证设备正常运行，减少碎片，粘片和黑圈。故障及原因分析：设备在运行一段时间以后，滚轮和齿轮箱等会有一定的磨损和形变。容易压碎和粘连片子，碎片率和粘片都会增加。在刻蚀槽中，片子行走不稳定容易造成黑圈等。解决措施：周保时检查所有槽中

5、的滚轮，和齿轮箱的工作状态，并及时调整。作业步骤观察各个滚轮的传动接头是否有损坏，若有更换滚轮。观察各滚轮是否在运转，若未运转，则需检查是滚轮坏还是齿轮箱坏，并更换异常的部分。检查上滚轮和滚轮上的橡胶黑圈是否有明显的变形，若有更换变形的O-ring圈。检查上下滚轮及滚轮卡子有无跳出支架。清洁上下料台硅片的传送皮带和上下料台的保养目的：提高产品的良率，减少上下料台的故障故障及原因分析：设备运行一段时间后，上下料台硅片传送皮带会附上污物，污染片子降低片子的转换效率。污物主要：环境中的灰尘，粘片、碎片带出来的残酸腐蚀皮带，

6、皮带与硅片磨损产生碎屑。螺丝松动，活动部件卡解决措施：周保是定期擦拭和检查皮带，检查螺丝，润滑活动部件等。开启上下料台相应的电机用蘸有酒精的无尘纸擦拭所有传送皮带上的污物更换磨损严重的皮带，紧固螺丝，润滑活动部件作业步骤更换过滤芯目的：防止循环泵烧坏和配电柜中的控制器跳闸。故障及原因分析：过滤芯用了一段时间以后也会附上污物，特别是rinse1比较脏。由于各槽中的循环流量是控制在一定范围内，滤芯用的时间越久，泵需要的功率和电流越大，电流过大容易烧坏泵或使控制器跳闸，影响正常生产。解决措施：对rinse1，rinse2，

7、rinse3每两周换一次，碱槽和酸槽每次换液时换一次，ID水月保是更换。作业步骤打开“手阀”，排掉管内剩余药液旋开“盖子”清洁各个槽体中的碎片目的：防止碎片堆积，影响各槽正常运行故障及原因分析：硅片在经过风刀和水刀时可能会产生碎裂，掉入槽底，有些碎片会卡在滚轮上和飘在液面上。解决措施：槽底中的碎片月保是清理，滚轮上的碎片先敲到槽底，待月保时清理。作业步骤穿戴好防护用品待液排空，用水枪冲洗用吸酸吸尘器清理各个槽里的碎硅片需要拆滚轮的清理完碎片后装好滚轮冷冻机更换乙二醇一次清洗需要更换乙二醇(二次清洗不用)一次清洗制绒槽

8、中反应比较剧烈，放出的热量较多，冷冻机的制冷强度高，加入乙二醇降低冷凝液的结冰点（含有60%乙二醇的水溶液，冰点可达到-400C）。目的：保证冷冻机正常工作原因：冷凝剂使用时间长了会影响冷冻机制冷。解决措施：每次季保时间更换一次关闭冷却循环水进出阀门等待加入自来水，直至界面中的Ｅｒｒｏｒ状态变为Ｒｅａｄｙ状态，此时更换乙二醇的工作完成。点击“D