rena设备工艺介绍

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1、RENA设备与工艺培训2011-1-9RENA清洗制绒原理方程：RENA刻蚀原理方程：3SI+4HNO3+18HF——3H2[SIF6]+4NO2+8H2OSIO2+HF——H2[SIF6]+H2ORENA设备：内部和表面绒面3RENA运行时的内部状况图多晶硅片经过制绒后的绒面形貌注：需要指明的是RENA清洗制绒过程中片子是全部淹没在溶液内的。而在RENA刻蚀过程中片子是漂浮在溶液上的。RENA设备：外观4注：公司一般会根据需要在RENA前后加装上料台、下料台用来代替人工手工放片。在下料台也会安装吸片装置，用以挑出损坏，破碎的

2、片子。一.RENA设备：各部分构件介绍5DryerAcidicbathRinse2AlkalinebathRinse3KeepprocesstemperaturestablechillierEtchbathRinse1清洗一槽碱洗槽冲洗二槽酸洗槽冲洗三槽干燥蚀刻槽（主槽）工作流程RENA操作界面介绍1：RENA主界面详细说明2：程序内的日期和时间模式、与PLC的连接情况及登陆的用户名灯塔状态机器名称厂家名称报警的详细信息登陆按扭RENA设备：外围药液桶8注：通过对外围药液桶液位的观察可以很好的了解到药液的用量情况RENA主界面

3、详细说明3:一号传动的状态及设定速度二号传动的状态及设定速度传动速度补偿及刻蚀槽温度补偿三号传动的状态及设定速度机器的三种报警:严重的问题、机器本身的问题和一般的警报RENA主界面详细说明4:进口处统计归零准备上料（自动模式下才会出现）出口处统计归零进口处硅片统计出口处硅片统计刻蚀槽温度三个电机分别控制三段滚轴碱槽温度门状态(绿色为关闭灰色为开启)RENA主界面详细说明5:登陆筐,可输入登陆名密码后登陆(不同的登陆名有不同的权限)记事本锁定窗户正在使用的工艺文件机器自动运行时的开始和停止灯塔测试(点击后灯塔全部亮)RENA主界

4、面详细说明6:关闭模式手动模式服务模式(权限最高)自动模式切换到初始界面按扭进入服务模式按扭进入手动模式按扭工艺文件进入手动添加界面曲线图进入报警信息界面取消蜂鸣取消报警RENA主界面详细说明7:各添加桶状态冷水机状态储液箱状态储液箱进口温度储液箱设定温度储液箱实际温度冷水机内自来水的电导率集中供液是否READY机器内化学品排放是否READYRENA手动模式状态详解：RENA刻蚀槽界面介绍：MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换PTFILLINGDI----储液槽加纯水PTFILLINGCHEM

5、IE----储液槽加化学药品SYSTERMRINSING----整个系统(包括外槽内槽储液槽)用纯水清洗SYSTERMDRAINING----整个系统排液BATHCHANGE----刻蚀槽储液槽排空,再重新配液STARTMAINFUNCTION----在手动模式下单个槽运行工艺RINSEBATHSTART----开始用纯水不断清洗(只有在槽内加满纯水后次按键才有作用)RINSEBATHSTOP----纯水清洗结束FILLBATH----给刻蚀槽加化学药品(如果储液槽内是纯水则加的是纯水)DRAINBATH----刻蚀槽排液RE

6、NA刻蚀槽功能：第一次配槽的设定体积实际加入的体积未加入的体积(点击上图的RESTREMAINVOL.可以清零）流量RENISE1界面RENISE1功能MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换FILLINGDI----给槽内加纯水（RENISE１的水是RENISE２槽的水溢流过来的）DRAINING----整个槽排液STARTPROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺STOP----结束操作RENISE1槽的状态RENA碱槽界面碱槽功能MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽

7、的自动手动切换FILLINGDI----给槽内加纯水FILLINGCHEMIE----加化学药品（初始配槽）RINSING----用纯水清洗DRAINING----整个槽排液STARTCIRCULATION----开始循环（只有加满纯水或化学药品后此功能才起作用，此步骤程序内有时间计算，会自动停止，是整个槽达到READY的基本条件之一）STARTETCHING----在手动模式下单个槽运行工艺STOP----结束操作初始配槽时KOH和水的体积RENISE2界面介绍RENISE2主功能MODEMAN&MODEAUTO----自动

8、运行时单个槽的自动手动切换FILLINGDI----给槽内加纯水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流过来的）DRAINING----整个槽排液STARTPROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺STOP----结束操作RENISE2槽的状态HF槽界面介绍HF槽