《Rena清洗机》PPT课件

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1、设备中心清洗组12月20日Rena清洗机一、设备概况RENA清洗设备设备概况InTex去除硅片表面的污染物；在硅片表面腐蚀出绒面；络合硅片表面沾污的金属离子。目的：InOxSide目的：去除硅片表面的磷硅玻璃；去掉硅片背面及周边p-n结。工作流程制绒槽上料台下料台干燥漂洗3#酸洗漂洗2#碱洗吹干漂洗1#InOxSide刻蚀槽上料台下料台干燥漂洗3#酸洗漂洗2#漂洗1#碱洗Intex开机前检查1、压缩空气:RENA清洗机的AirKnifes工作压力规定4—6bar的气压。开机前检查2、纯水（DI水）纯水压力应在3Bar--4Bar，温度在20摄氏度开机前检查3、冷却水

2、：进水温度应在20摄氏度以下，进水回水压力差应在3Bar以上进水温度回水温度开机前检查4、化学品供应：在界面下，点击Ｆ10查看各MediaSupply均正常供应（箭头均为绿色）开机的操作过程1、合上电源，开启设备的显示器电源开关电源按钮开机的操作过程点击Login进入登陆界面，输入用户名及密码，点击ok进入,点击开机的操作过程Conveyor按钮1.点击Manual按钮,随后点F4（三次），进入Ｄrives菜单，点击AllConveyor,点击star开始滚轮转动。2.点F10退回主界面开机的操作过程确认界面各模块单元上方显示黄色“Manual”状态，且滚轮显示蓝色

3、即滚动状态.开机的操作过程确认监测屏幕上显示各模块溶液均满槽（即FullDI、FullChem)和设备门窗均关闭。所有槽位工作状态显示＂ready".readyFullChemFullDI开机的操作过程在设备背面处，确认KOH槽和酸槽液面均达到第二液位传感器(PumpDryProtection)，若液位不够，通知当班工艺工程师。开机的操作过程信息栏确认各模块有无报警信息，若有任何异常，通知当班工艺和设备工程师。开机的操作过程Conveyor按钮1.点击Manual按钮,随后点F4（三次），进入Ｄrives菜单，点击AllConveyor,点击Stop停止滚轮转动。2

4、.点F10退回主界面。开机的操作过程点击ModeAuto按钮，设备进入自动模式，在界面上所有操作单元下方从黄色“Manual”转变成绿色“Auto”ModeAuto绿色Auto开机的操作过程设备将自动开始从Tank中向Etchbath添加腐蚀液添加到Etchbath开机的操作过程界面上Etchbath单元下方显示为黄色“Fillingchemie”和黄色＂notready",等待Etchbath添加完成，等待碱槽和酸槽温度显示稳定，下方显示为绿色添加完成显示为绿色开机的操作过程“Fullchemie”和绿色“Ready”。随后点击＂start"按钮各模块自动运行．变

5、为绿色start按钮开机的操作过程界面显示各模块均为绿色“Ready”和绿色＂inprocess＂．即设备进入正常生产状态。inprocess关机的操作过程点击界面下方的“Stop”按钮stop按钮关机的操作过程确认各模块均停止工作，点击“Modemanual＂按钮进入手动模式，Manual按钮关机的操作过程进入“Manual”选单中“Etchbath”，点击＂DrainBath",即把Etchbath中的反应液排到Tank内。点击F10退回主菜单，确认EtchBath模块显示黄色＂notready"和黄色＂draining"．DrainBath关机的操作过程等待E

6、tchbath排液完成，在Etchbath模块上只显示为黄色“notready”。表明液体排完．显示为黄色“notready”关机的操作过程用水枪冲洗KOH的喷淋管和槽体，并清洁设备表面。关机的操作过程检查各门的位置，正确地调整好它们。正确为绿色关机的操作过程点击右上角的“Logoff”，跳出一个对话框。点击对话框中“Logoff”，门将被密封。按钮关机的操作过程关闭设备显示器，正常的电脑关机不可直接按电源按钮谢谢!