机械设备行业专题报告_：半导体设备行业跟踪，假以今日事势观之，品国产化替代进程

《机械设备行业专题报告_：半导体设备行业跟踪，假以今日事势观之，品国产化替代进程》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、3目录1.国之重器，进口替代势在必行51.1半导体核心设备国产化率低，技术层面可提升空间大52.2019年半导体设备行业高景气度将延续92.1全球半导体设备市场发展现状，中国大陆市场成核心成长点92.2宏观政策面大力推动，大基金二期已获批173.投资建议204.风险提示204图表目录图1：半导体行业产业链5图2：硅片制造流程5图3：晶圆制造流程所需半导体设备及国内外代表公司6图4：国产半导体设备技术节点7图5：国产半导体设备代标企业产品分布图7图6：中国大陆8寸和12寸晶圆厂规划分布图9图7：全球半导体销售额11图8：中国大陆半导体销售额12图9：2014-2018Q3中国大陆半导体

2、设备销售额及同比增长率12图10：2014-2018Q3全球半导体设备销售额及同比增长率13图11：2016-2020全球半导体设备市场规模14图12：2019年全球晶圆厂前端设备支出及变动率14图13：全球硅片出货量15表1：表2：表3：表4：表5：表6：表7：《中表8：半导体设备国产化率情况62018H1国产半导体设备厂商十强8中国大陆晶圆工厂统计10华力微电子设备采购中标情况15华力集成设备采购中标情况16晶合设备设备采购中标情况17国半导体产业“十三五”发展规划研究》对中国IC市场规划18“第十二届中国半导体创新产品和技术”项目评选中获选的国产设备1851.国之重器，进口替代

3、势在必行按照产业链划分，半导体产业包括上游的支撑产业链、中游的核心产业链以及下游的需求产业链。作为中游核心产业链，半导体行业的工艺流程主要包括硅片制造、集成电路设计、晶圆制造和封装测试。硅片制造需要单晶炉等设备，具体历经硅单晶生长、磨外圆、切片、倒角、磨削/研磨、抛光等多道制作流程。集成电路设计包括逻辑开发、电路设计和版图设计，是为进一步的晶圆制造提供制作蓝图。晶圆制造是半导体工艺流程中制作工序精细的一环，其工艺流程主要包括扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积和抛光，需要光刻机、刻蚀机、CVD、离子注入机等多类设备。完成后的晶圆需要封装测试，即使用测试机、分选机、探针机等设备对成品进

4、行测试，进而将性能良好的半导体产品提供给产业链下游的销售商。图1：半导体行业产业链资料来源：SEMI，1.1半导体核心设备国产化率低，技术层面可提升空间大晶圆制造是半导体工艺流程的重要一环。晶圆制造流程主要包括扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、抛光等六道工艺。从设备端来看，扩散工艺主要进行高温工艺及薄膜淀积，主要设备是扩散炉。光刻工艺的主要目的是将电路图形转移到硅片表面的光刻胶上，然后通过曝光来印制掩模版的图像，主要设备是光刻机。刻蚀工艺是用刻蚀设备在没有光刻胶保护的地方留下永久的图形。离子注入工艺的主要设备是离子注入机，是一种掺杂工艺。薄膜沉积工艺是在各个生产流程中的介质层与金

5、属层的淀积，主要设备包括CVD（化学气相沉积）和PVD（物理气相沉积）设备等。抛光工艺主要是使硅片表面平整，主要设备是CMP。图2：硅片制造流程6资料来源：半导体制造技术，图3：晶圆制造流程所需半导体设备及国内外代表公司资料来源：CNKI，国内企业在核心技术上与国外企业仍存在一定差距，国产化率整体不超过20%。从晶圆制造环节看，本土代工企业在45nm/40nm以上的成熟制程已具备竞争力，在28nm以下的先进制程仍处于追赶阶段。但随着摩尔定律趋近极限，技术进步减缓，国内厂商加速追赶，与全球龙头差距在不断缩小，叠加国家对于半导体设备国产化的政策指引，半导体设备国产化替代正迎来重大机遇期。

6、表1：半导体设备国产化率情况7设备种类产品供应商国产化率光刻光刻机上海微电子、中电科45所<10%涂胶显影机沈阳芯源刻蚀硅刻蚀机北方华创10%介质刻蚀中微半导体薄膜LPCVD北方华创10%-15%ALD北方华创、沈阳拓荆PECVD北方华创、沈阳拓荆PVD北方华创离子注入离子注入机中信科、凯世通<10%湿法清洗机北方华创、盛美半导体/CMP设备华海清科、盛美半导体、中电科45所镀铜设备盛美半导体热工艺处理氧化/扩散炉、单片退火炉、合金炉北方华创<10%检测光学尺寸测量设备睿励科学、东方晶源/硅片制备单晶炉北方华创、晶盛机电、华盛天龙、中电科48所、京运通<20%资料来源：中国电子专用设

7、备工业协会，中国电子信息产业发展研究院，中国集成电路产业发展蓝皮书，各公司公告，长城证券研究所图4：国产半导体设备技术节点设备光刻机硅刻蚀刻蚀机金属刻蚀介质刻蚀薄膜沉积设备PVDCVD氧化扩散炉离子注入机化学机械平坦化清洗机本土企业上海微电子北方华创北方华创中微半导体北方华创北方华创沈阳拓荆北方华创中电科电子装备中电科电子装备华海清科北方华创上海盛美0.13umüüüüüüüüüü90nmüüüüüüüüüü65nmüüüüüüüü45nmüüüüüüüü