机械设备行业半导体设备产业深度分析之测试设备篇：半导体测试设备国产化机遇正当时.docx

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1、行业研究/深度研究

2、2018年11月06日正文目录半导体测试核心设备：测试机、分选机、探针台4测试工艺贯穿半导体生产过程，是进行成品率管理的重要途径4测试机、分选机、探针台是半导体测试环节三大核心设备6半导体测试设备中国市场渐趋庞大，本土企业高速成长正当时8全球半导体及设备产业增速虽有放缓，中国大陆设备市场正逆势扩张82019年中国大陆市场规模或居全球之首，测试设备市场或达108亿元10泰瑞达、爱德万两大巨头垄断全球市场，本土测试设备企业步入成长期12全球龙头启示录：把握产业发展窗口期，内生、外延多维发力

3、16泰瑞达：雄踞全球市场的半导体测试设备国际龙头16爱德万：后来居上的全球半导体测试设备巨头20风险提示23图表目录图表1：半导体测试流程及设备示意图4图表2：晶圆制造的前道工艺检测环节设备一览4图表3：IC产品的不同电学测试5图表4：集成电路的生产流程及性能测试环节示意图5图表5：探针台主要结构示意图6图表6：测试机主要结构示意图6图表7：集成电路测试设备的技术难点7图表8：2015年以来全球半导体设备月度销售规模及增速8图表9：2015年以来中国大陆半导体设备月度销售规模及增速9图表10：北美半导体设

4、备制造商月度出货金额9图表11：全球半导体设备销售额及增速10图表12：中国大陆半导体设备销售额及增速10图表13：2005~2019年全球半导体设备销售额的地区分布10图表14：2005~2019年中国半导体设备销售额的全球占比10图表15：2011~2019年中国大陆半导体设备销售规模及增速11图表16：2006~2017年全球半导体设备销售额的产品构成11图表17：2017年全球半导体设备销售额的产品构成11图表18：半导体设备市场构成11图表19：中国大陆半导体设备细分市场空间测算12图表20：2

5、017年全球前十大半导体设备供应商排名（按半导体业务营收排名）12图表21：1999~2017年全球半导体设备前5大公司市场占有率13图表22：2017年全球半导体设备厂商市场份额13图表23：全球半导体设备企业主要产品分布图13图表24：全球半导体测试设备主要制造商概况1423谨请参阅尾页重要声明及华泰证券股票和行业评级标准行业研究/深度研究

6、2018年11月06日图表25：2017年中国大陆进口半导体设备占比14图表26：中国半导体测试设备主要制造商概况15图表27：泰瑞达半导体测试设备产品一览16图

7、表28：泰瑞达公司1987-2017年公司净利润及营收同比情况17图表29：泰瑞达公司发展历程17图表30：泰瑞达并购史18图表31：泰瑞达2007-2017营收及同比18图表32：泰瑞达2007-2017年净利润及同比18图表33：泰瑞达2008-2017年业务分布情况18图表34：2017年泰瑞达各项业务占比18图表35：泰瑞达2009-2017年毛利率和研发费用占比情况19图表36：泰瑞达历年市场地区分布19图表37：2017年泰瑞达市场地区19图表38：泰瑞达在中国发展历史19图表39：爱德万测试

8、2018年发布针对SSD、汽车SoC及DRAM领域三大产品系列升级20图表40：爱德万1954年以来重大事件及产品发展历程21图表41：爱德万2001-2018年营收及同比情况21图表42：爱德万2001-2018年净利润及同比情况21图表43：爱德万2012-2018年销售额按业务分布占比情况22图表44：2017年爱德万各项业务销售额占比情况22图表45：爱德万2009~2018年毛利率和研发费用营收占比情况22图表46：爱德万2008~2018财年销售额按地区分布情况23图表47：爱德万2017财年

9、销售额按地区分布情况2323谨请参阅尾页重要声明及华泰证券股票和行业评级标准行业研究/深度研究

10、2018年11月06日半导体测试核心设备：测试机、分选机、探针台测试工艺贯穿半导体生产过程，是进行成品率管理的重要途径广义的半导体测试包括前道的工艺检测和中后道的性能测试。其中，前段的工艺检测偏重于从微观角度在线监测晶圆制造的微观结构是否符合工艺要求（例如几何尺寸与表面形貌的检测、成分结构分析和电学特性检测等），而中后道的性能测试主要偏重于从芯片功能性的角度检测芯片的性能表现是否符合设计要求。而狭义的半导体测试

11、，则主要指中后道的性能测试，对应设备包括：测试机、探针台、分选机等。图表1：半导体测试流程及设备示意图资料来源：《半导体制造技术》，华泰证券研究所晶圆制造前道的工艺检测主要是对工艺过程中半导体体内、表面和附加其上的介质膜、金属膜、多晶硅等结构的特性进行物理、化学和电学等性质的测定。按照所测定的特性，可以把这类检测分为三个方面：几何尺寸与表面形貌的检测、成分结构分析和电学特性检测。图表2：晶圆制造的前道工艺检测环节设备一览资料来