国立交通大学（奈米中心）

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1、國立交通大學(奈米中心)----------------------------------------------------------------------------LPCVD、Sintering水平式真空爐管等設備一式案號:A14029ALPCVD製程系統06.2015操作說明書森積科技有限公司台北市內湖區陽光街347號4樓之1TEL:886-2-8797-7222FAX:886-2-8797-2525國立交通大學(奈米中心)-----------------------------------------------------------------

2、-----------LPCVD、Sintering水平式真空爐管等設備一式案號:A14029ALPCVD製程系統目錄1.自動爐管結構示意圖2.自動爐管爐架示意圖3.氣體管路配置圖4.爐管使用前注意事項5.氣體盤介紹6.可程式人機控制使用說明7.故障排除1.自動爐管結構示意圖MFCN2NH3PH3SiH4SiH2Cl2TEOS人機觸控爐管溫控器PLC爐管螢幕石英管內溫控器電腦溫度紀錄程式可紀錄1.設定溫度2.管內即時溫度3.氣體流量4.真空度5.可曲線顯示2.自動爐管爐架示意圖三色指示燈氣體盤前封口後封口秏電電錶滑台自動壓力控制器人機觸控螢幕TEOS過濾器蜂鳴指示燈

3、號3.氣體管路配置圖4.爐管使用前注意事項說明:A.爐管為前段製程，極要求潔淨度，因此禁入LPCVD之材料，含光阻、金屬、玻璃、不明物、磁性材料(鐵、鈷、鎳)。如使用三、五族材料則前往R121實驗室內LPCVD使用，只提供Si3N4製程。B.向單位申請使用許可B-1操作本機台請先洽設備管理人員(賴玟言先生03-5712121ext.55606或55616)。C.檢查機台氣體入氣閥門是否在on位置。D.檢查R127實驗室後方走道，各特氣氣體控制箱內閥門是否開啟。E.檢查空壓開關是否開啟(未開機台會警報)。F.檢查洗滌塔、三色燈號顯示綠燈為正常運作。F.爐管如是真空狀態

4、滑台不可移動。G.滑台在移動時會有蜂鳴聲，提醒使用者注意安全。H.本機台使用高溫度800℃,溫度設定可因製程不同調整。I.本機台建議升溫速率15℃/分。J.製程完成時一定要設定N2purge(特氣MFC)以延長特氣MFC壽命。K.執行程式前，務必再三確認所選程式是否正確。5.氣體盤介紹(參考氣體管路示意圖)說明:A.氣體流量控制皆為自動控制。B.氣體控制方法在人機上程式設定。C.使用設定的流量會在人機上顯示。6.可程式人機控制使用說明開機畫面一、按監視畫面進入監視畫面二、按測漏畫面進入測漏畫面三、按燒結溫度曲線畫面進入燒結溫度曲線畫面(程式啟動)四、按歷史警報畫面進

5、入歷史警報畫面五、按警報畫面進入警報畫面六、按溫度曲線設定畫面進入溫度曲線設定七、按參數畫面進入參數畫面八、按溫度補償畫面進入溫度補償畫面九、按手動畫面進入手動畫面爐管程式設定畫面操作說明:1.按A：真空值設定2.按B：設定爐管溫度3.按C：設定升溫或持溫時間4.按D：設定N2流量5.按E：設定PH3流量6.按F：設定PH3(N2)流量7.按G：設定SiH4流量8.按H：設定SiH4(N2)流量9.按I：設定程式組別，1~20組10.按程式寫入，可將程式記憶儲存11.按程式讀出，可將之前記憶的程式叫出12.按回主畫面，回主畫面13.程式設定完成一定要按程式寫入，才能

6、將程式記錄在程式裡14.按燒結設定2，進入燒結設定2(進入第二頁)程式啟動步驟說明:1.回監視畫面，按開門;爐管會自動破真空後開門。2.當滑台就定位後，放入晶片(注意擺放位置需在晶舟擺放區)，不可關門。3.按燒結曲線畫面，進入燒結曲線。4.按程式讀出，將設定的程式叫出，檢查程式是否正確?5.按開始，爐管會自動關門，關門後會自動抽真空並做測漏的程序。6.當測漏完成，程式才會啟動，三色燈號顯示綠燈，也可在監視畫面或電腦記錄看到程式執行狀態。測漏循環畫面按開始即執行下列步驟:1.按STEP1(V9&真空度)欄位內A：可設定抽真空時間(粗抽)2.按STEP2(V10&真空度

7、)欄位內B：可設定抽真空時間(細抽)3.按STEP2(V10&真空度)欄位內C：可設定真空值4.按STEP3(N2)欄位內D：可設定N2流量5.按STEP3(N2)欄位內E：可設定N2時間6.按STEP4(真空度)欄位內F：可設定真空值7.按STEP4(真空度)欄位內G：可設定抽真空時間8.自動執行STEP1→STEP2→STEP3→STEP49.再執行STEP5(測漏值)欄位內H&I：可設定真空值與時間10.STEP5(測漏值)時間開始計時,當真空度未超過原設定真空值時,會自動執行程式11.STEP5(測漏值)時間開始計時,當真空度超過原設定真空值時,會重覆執