博爱校区奈米中心考核手册

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1、修訂日期:104年10月20日博愛校區奈米中心考核手冊(基本規則/1F)1.配戴識別證：－務必配戴識別證，不可將識別證放在無塵衣底下(內)。－帶領無識別證人員(如廠商)進出時，必須先向管理員(沈先生)申請臨時工作證，並有核可人員帶領進出管理，進出入須依管理登記並符合程序。－帶領無識別證人員(如同學)進出時，有1.申請基本訓練申請表，2.機台操作訓練申請表(分奈米中心設備或非奈米中心設備)，必須先向管理員(沈先生)申請文件確認，並有核可人員帶領進出管理，進出入須依管理登記並符合程序。◎可進入奈米中心的人員有1.合格識別證2.基本訓練申請表機台操作訓練申請表須經管理員

2、(中心承辦人)許可3.廠商臨時工作證。◎廠商進去時需申請什麼è承攬商施工切結書(一樓入口有貼)施工廠商可以簽或不簽那個承攬商施工切結書，如果不簽的話，他們在裡面出了事情，你要負責，如果簽了的話，出事情他們要負責，但是首先應該要跟廠商告知，裡面什麼地方是危險的，什麼地方是安全的，當廠商要離去的時候，請檢查他們是否有對實驗室造成污染。如果要放機台的話，還要填區域申請表，要用線路或是管路的話，還要填施工申請表。◎什麼樣的人可以申請實驗學習程序(文件審查)è1.首先你得有修過半導體相關的課或有NDL相關訓練之結業證書，2.並到NDL填寫申請表並且考過工安或學校的工安(一年

3、內)，3.之後拿申請表去給沈先生核准簽名，4.再到固態電子大樓的2樓辦公室何惟梅小姐繳交300元（考一次繳一次）及相片一張，5.最後回到考官進行考核。2.個人物品置物櫃位置：－1F/2F無塵室大門口邊。◎1F的個人物品置物櫃在第一道門內的旁邊，有分來賓和奈米實驗室，我們應放在來賓物品置物櫃內。2F的個人物品置物櫃放在第一道門外的旁邊，無來賓和奈米實驗室分別。◎大門邊會有緊急聯絡電話及逃生路線圖，電話附近會有張貼管理員、駐警隊等等的電話號碼，緊急狀況下忘記號碼便可迅速取得；並且要熟知逃生路線。3.注意、禁止事項：－出入無塵室請於出入口簽進、簽出。隨手關門，隨時確認門

4、是否關上，包含無塵室大門、中心大門。－無人使用之無塵室(研究室、廁所)以及夜間(假日)最後一位離開無塵室之同學，請務必隨手關燈，以節省電費。◎簽進是為了當發生火災或任何災害時，可以馬上知道裡面的人是誰，而不7修訂日期:104年10月20日用去電腦看磁卡記錄(災害發生時，停電的機會很大)。◎無塵室內為正壓系統，意思是無塵室內壓力較高，當門開時，無塵室內有氣流往外吹，如此可防止外面的灰塵進入無塵室。－進出無塵室需穿著長褲、襪子，於更衣間置換室內外鞋，並將個人背包置放於置物櫃，貴重物品請隨身攜帶。－禁止攜入會會污染潔淨度之物品，如紙箱、手提袋…等。◎哪些人不能進去無塵室

5、：1.剛運動完的2.化妝的3.抽煙的（20分鐘內）4.穿短褲或沒穿襪子5.帶著包包的人等等4.更衣室規則：－室外/室內鞋之放置不可以搞混，1F的室內拖在裡面，不是在置物櫃那間，是無塵衣那間，兩者皆不可穿到和式地板上。室外/室內鞋之放置不可以搞混，兩者皆不可穿到和式地板上。－請依照無塵衣號碼懸掛衣服，並將第一個鈕扣扣上，以防止滑落，不可將個人衣物(如冬天的外套)懸掛在掛無塵衣的地方。5.安全事項：－1F、2F緊急路線逃生圖、緊急沖眼室位置圖以及急救箱位置圖:無塵室有幾個逃生出口：一樓2個、二樓4個。－實驗室垃圾桶種類因實驗需求不同，可畫分為:一般垃圾桶，置於各個實驗

6、室；有機廢棄物垃圾桶，黃光區(2F)；酸鹼廢棄物垃圾桶，則置於CMP(晶片切割機)實驗區(1F)以及WetBench區(2F)。－使用有機或無機酸鹼化學藥品時需配戴呼吸面罩並搭配正確之濾毒罐，濾毒罐使用總累積有效時數8小時，超過即吸附飽和，不可再使用，若還在有效時數之濾毒罐應使用夾鏈袋封存，並於袋外標示已使用時數。－特殊藥品使用以及添購特殊氣體鋼瓶，請先照會管理員，並須附上物質安全資料表；氣體鋼瓶需以鐵鍊固定在牆壁上。－緊急應變用品置放於1F大廳的走廊上(橘色透明櫥窗櫃)，緊急時可自行打開使用。－緊急事故連絡電話：50086(博愛校區駐警隊)◎1.沈先生電話：55

7、654、行動0939-000793。2.一樓的wetbench有個HF回收槽，傾倒HF時須注意開關是否打開(平行於管路)，哪時不能再到HF下去?è打開wetbench下面的門，如果裡面HF回收液的桶子滿了，就不可以再倒。3.一樓的wetbench只可以使用什麼溶液?è酸性溶液(去再確認一次)有酸性槽，但無酸鹼藥品存放櫃；沒有有機槽，但有有機存放櫃4.一樓只提供什麼氣體：氮氣和CDA(管路)二樓只提供什麼氣體：氮氣、CDA(管路)、Ar和CO2(鋼瓶)。7修訂日期:104年10月20日5.一樓的排氣管有3個分別是什麼作用？由上到下：一般排氣è酸性排氣è有機排氣一樓重

8、點提醒:l