国立交通大学奈米中心.doc

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1、國立交通大學奈米中心微影系統(DWL2.0)使用申請表上網預約序號：使用者姓名：指導教授或主管姓名：電話：傳真：手機：E-Mail：使用單位：■大學（系）所□其他連絡地址：郵遞區號：計畫名稱：■國科會計畫編號□其他上網預約日期:預計送件日期：交件日期：送件後約三週製程要求：□標準製程□COPY：A正片B方向C數量資料格式：□a.GDSII□c.DXF（2004版ACAD）光罩尺寸：□a.4英吋□b.5英吋現場看圖：□是□否檔案資訊：a.檔案名稱（FILENAME）(儘量用序號後6碼勿用中文也不可以有空格)_b.晶片尺寸（實際製作面積）：X=_____

2、___μm，Y=___________μmc.光罩製作資訊：光罩層次及圖形明暗（LAYERANDTONE）：LayerNo數字CellNameFrameSize繪圖面積(um)DigitizedAreaonMask最小線寬（μm）Clear透光Dark不透光Mirror鏡向XOR中心編號：片數：片時數：小時費用：元技術服務費合計：收據號碼：特殊條件或注意事項：附註：1.*空格一定要填寫2.()內說明填寫時請刪除儀器負責人簽章：操作或維護員簽章：收件人簽章：製表日期:2013/11/15光罩製作說明下載http://www.nfc.nctu.edu.t

3、w/mechine_new/notice/C_Laser_notice.pdf(付現)國立交通大學奈米中心微影系統(DWL200)使用申請表上網預約序號：使用者姓名：送件者(申請人)指導教授或主管姓名：教授(計劃主持人)電話：手機：使用單位：連絡地址(含郵遞區號)：Email：計畫名稱：□國科會計畫編號計畫結束日期：□其他上網預約日期：預計送件日期：希望交件日期：註：預約後2週內未送件者，預約即予取消光罩製作資訊：圖檔格式：□GDSII□DXF（ACAD）尺寸：□4英吋□5英吋□6英吋□其他光罩層次及圖形明暗（LAYERANDTONE）：□不需現場看

4、圖FileNameStructureName(CellName)LayerRepeatFrameSizemmMaskPattern卐卍Min.C.D.線寬μmProcessDateDieSizeμmXYClearDarkMirrorXOR(限用英數字)中心編號：片數：片時數：小時技術服務費合計：收據號碼：製程要求、特殊條件或注意事項：附註：儀器負責人簽章：操作或維護員簽章：收件人簽章：光罩製作說明下載ftp://140.113.18.20/dwl200_notice.pdf