直拉单晶操作规程

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1、直拉单晶操作规程操作规程一、拆炉1:  准备  确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。2:  炉子清扫  2—1戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢车。2—2依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢

2、桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。注意：1：石墨件不能用手接触。    2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。    3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。2—3每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网，  3炉大清炉，每炉管道。注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。2—4  戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈

3、并保证密封较进槽无误。2—5主炉清扫    戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘，炉底。注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主炉室及密封圈擦拭干净。2—6石墨件的清扫  吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。2—7石墨件的装炉(1)埚杆装好后要拧紧螺丝，埚杆要平稳无跳动。(2)三瓣埚装入后要平稳2—8检查真空泵油位是否在2/3处2—9检查真空泵油是否干净                      二、装  炉1:  准备戴好口罩，帽子，打开石英埚包装，取出石英埚，对光。2:  装料用较

4、小的料3-5㎏铺平埚底，大块料置于中间，用适当的料固定，小块料填缝，将母合金全放入中间用料盖住，最后吸净周围料渣。注意：(1)小块料，小片料不能掉入加热器上，以防打火。    (2)放料时要轻，不能碰坏石英埚。    (3)装料时，周围空气环境要好，尽量不要造成污染。3:  合炉3—1料装好后，埚转开启2-3转/分，确认无短路的可能，快速降至埚下限位，应注意低于平口位置100㎜为宜，以防下限位失灵而造成损失，关闭埚转3—2放导流筒后不要与硅材料接触3—3用酒精纸巾擦干净重锤，确认籽晶型号及晶向后，将籽晶装在夹头上，稍向下拉防止籽晶在等径时下坠，将籽晶升入炉筒内合炉，并关闭液压泵

5、。4:  抽空抽空前检查冷却水压力不低于1.5㎏，确认泵无异常，所有操作过程无遗漏的程序。按主室泵按钮2-3次运转1-2分钟，确认无异常，慢慢打开排气球阀，先打开1/3程度至压力表降到一半时，打开全部，开始抽出。其次测量表数字下慢时，打开AR流量计，使AR气以30L/分的速度流入炉内，5分钟关闭，反复操作，使炉内真空抽至4帕以下为止。关闭球阀，检查泄漏，以5分钟不大于1帕为合格，准备加热。注意：真空不到4帕以下不加热，一般抽出需20~40㎜，抽出时为取下的晶体刻号，填写锅底料号日期，清扫炉台卫生。                          溶  料1：打开AR流量开关，

6、使炉内压力为800帕左右2：打开加热开关，按以下时段升温  时间：0min      30min    60min      30KW    60KW    90KW3:  化料过程中注意观察炉内情况，观察电流电压是否正常，若有搭桥现象，要保持更大的功率，使其熔化，有异常要采取措施。4：料塌后要稍加锅位，锅转打到1转,注意液面与导流筒保持一定的距离，化硅完了，降低功率，到引晶功率，埚升到引晶埚位，温度稳定，将欧陆表切入“自动”。5：给定埚转  5r/min        晶转8r/min          6r/min            10r/min          8

7、r/min            12r/min降下籽晶测试一下温度，校准单晶生长控制器的各参数。                                    引晶  放肩  转肩1:  引晶      调整欧陆表温度至引晶温度,先把晶转打开,    晶转8r/min;10r/min;12r/min降籽晶与熔硅接触，发现有光圈出来把锅转调至给定埚转  5r/min;6r/min  ;8r/min      发现有四条棱出现方可引晶。(或者:3min后根据光圈情况调整温度，合适时方可