直拉单晶工艺培训

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1、直拉单晶工艺试卷一、填空题1.自然界的物质通常以三种形态存在：固体、液体和气体。根据物质粒子排列结构，物质又可以分为晶体和非晶体。而晶体又可以分为单晶和多晶。2.硅晶体是金刚石结构，晶胞是正方体。单位晶胞占有的原子数为8个，原子配位数为3.晶体具有规则的外形，一定的熔点和各向异性。4.人工制取单晶过程中，有时发生晶变就可能生成孪晶或者多晶。5.（100）晶面生成的单晶具有4条棱线6.熔化是指指固体变成液体的过程，凝固，也称结晶，与熔化相反，是液体向固体晶体转化的过程。7.液体必须有一定的过冷度，结晶才能自发进行。8.拉速的设定是逐渐下降的。9.温校曲线的设定规律是降温→恒温

2、→升温→升温渐快。10.晶体学中，通过晶体中原子中心的平面叫作晶面，而晶向是晶面的垂直方向。11.晶体生长时，晶面指数不一样，生长速度不一样。12.晶粒之间的界限，称为晶界。二、单项选择题1.下面四种硅单晶冷却曲线中，哪种过冷度是错误的（C）2.固体变为液体的过程是（A）A熔化B气化C升华D凝固3.液体变为固体的过程是（D）A熔化B气化C升华D凝固4.下面那中硅片是单晶硅片（A）AB三、多项选择题1.硅晶体是（AB）A金刚石结构B正方体晶胞结构C四面体晶胞结构2.晶体具有（ABC）A规则的外形B一定的熔点C各向异性D各向同性3.晶体和非晶体的区别是（）A晶体具有规则的外形，

3、非晶体没有规则的外形。B晶体具有一定的熔点，非晶体没有确定的熔点C晶体没有确定的熔点，晶体具有一定的熔点D晶体的各向异性，非晶体在各个方向上的性质相同。三、判断题1.晶体具有一定的熔点。对2.硅单晶具有一定的熔点，硅多晶没有一定的熔点。×3.硅单晶具有规则的外形，硅多没有规则的外形。×4.熔体过冷是自发结晶的必要条件。对5.单晶硅片有很多晶粒，晶粒之间具有明显的晶界。×6.多晶硅片有很多晶粒，晶粒之间具有明显的晶界，由于晶向各不相同，呈现出深浅不用的色差。对7.熔化也就是指固体变成液体的过程。对四、简答题1.画出直拉单晶硅工艺流程图。2.设坩埚外径为￠508mm、壁厚10m

4、m，当拉制晶体直径为￠8”时，试问埚跟比应为多少？若转肩时拉速为1.6mm/min，那么埚跟速度为多少？答：8”=25.4×8=203.2mm，埚跟比=0.932×203.2×203.2/（（508-10）×（508-10））≈0.155，埚跟速度=埚跟比×拉速≈0.155×1.6=0.248mm/min。3.发现整只晶体有逐渐缩小的趋势时，埚跟速度应如何修正?答：埚跟速度可升一点。4.画出理想晶体的熔化，凝固曲线。5.画出Si的晶体结构，并标注（111）晶面。6.如何计算合适的坐标长度来满足拉速、温校曲线的设计要求？答：根据公式其中：L--坐标长度，mm；D--晶体直径，

5、mmρ--硅的密度，2.33g/cm3；W--晶体重量=装料量-埚底剩料量7.温校曲线的特点是什么？答：温校曲线的设定规律是降温→恒温→升温→升温渐快。降温的一段晶体不长，恒温的一段更短一些，以后就转入升温过程。