直拉单晶作业指导书 新

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1、henananyangsolar文件編號類別DC直拉单晶作业指导书機密等級▓機密□一般制訂日期2008-12-22版本/次A/1頁次1/5一、作业目的：为了使员工正确、规范地进行生产操作。避免因操作错误等原因给生产带来不必要的损失，并使员工在生产过程中能够养成按规定操作的良好作业习惯，特制定本指导书。二、作业范围：适用于单晶车间DRF-85单晶炉三、作业内容：1.（1）车间许穿戴好整洁工作服、鞋。（2）将不绣钢小车移至炉旁，准备好耐高温手套、研磨纸、吸尘管、防尘口罩、加热器垫架等拆炉工具2.热态检漏(1)检查上炉功率关闭时间，确认单晶冷却时间达到4小时。

2、确认后关闭氩气总阀门，开始抽真空，并做好时间记录（2）待炉压到达极限（要求达到3Pa以下）后，先关闭主室泵球阀，再关闭主真空泵电源。若0.5小时抽不到3Pa以下。交有关维修人员处理。（3）检漏3分钟以上，当3分钟漏速<1Pa时为正常，做好漏气率记录。若漏速>1Pa时，交有关维修人员处理。（4）做好热态检漏时的抽真空时间、检漏时间、漏气率等记录。3.取单晶与籽晶（1）确认单晶冷却时间达到5小时后，缓慢调节晶转为0，充氩气至常压，打开炉门。将单晶升至副室（提升时注意不得使单晶有碰撞）（2）升起副室，把安全接盘移到炉筒口晶体下方（若晶体过长，则需连同炉盖一起同

3、步转动，缓慢转动副室到侧面（移动时注意避免单晶与炉筒碰撞）（3）将单晶筐对准炉筒口，移开安全接盘。按晶快降，将晶体降入筐内（4）确认单晶完全入筐后，戴石棉手套抓住籽晶夹头，用钳子将籽晶从肩上部位掐断（5）手扶籽晶夹头，等钢丝取消拧力后取下籽晶，并将籽晶放入指定场所（6）将单晶移到指定位置，并将单晶编号写在单晶上编制:审核:批准:henananyangsolar文件編號JKNY/DC-29類別DC直拉单晶作业指导书機密等級▓機密□一般制訂日期2008-12-22版本/次A/1頁次2/54.拆炉（1）戴好口罩以及耐高温手套按顺序取出导流筒和保温盖，并放在装石

4、墨件的不绣钢小车上，注意要拿稳轻放（2）取下热电锥，将其和密封及玻璃放到指定位置。升起主炉室至限位，旋转炉筒，并降至适当位置。（3）用钳子夹住石英坩埚上端部分提起，使其松动。然后将石英坩埚取出，并将埚底料放入不绣钢小车上，冷却后对埚底料称重并做好相关记录。（4）依次取出三瓣埚、石墨托盘。并放在不绣钢小车上，注意拿稳轻放（5）用托杆扳手拧下托杆螺丝，取出托杆。将其放在不绣钢小车上（6）仔细检查三瓣埚底部是否有漏硅、开裂，托杆、加热器是否有损伤，是否有打火现象，并做好相关记录（7）在不绣钢小车上挂上石墨器件所属炉号，将小车移到指定位置，自然冷却（8）依次取出

5、上保温筒、中保温筒，将其放在不绣钢小车上，注意拿稳轻放。（9）取下石墨螺丝盖，用专用工具拧出石墨螺丝。再将加热器取出放在加热器垫架上。注意拿稳轻放（10）依次取出石英护套、托杆护套、防漏板、隔热板、下保温筒、底盖、炉底碳毡、石墨电极。放在指定位置自然冷却，并对石墨器件以及炉内的挥发物进行清扫（11）清扫完毕后将石墨器件依次装入炉内，安装电极时检查接触面是否平整，上下接触面要放一层石墨纸防止热场打火（12）装好后埚转旋转一下，以检查三瓣埚与加热器间距是否一致，若不一致，及时调整（13）升起炉筒至上限，用沾有酒精的无尘纸擦洗各密封处以及炉筒内部挥发物。旋转炉

6、筒，下降炉筒。炉筒到位后，校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控注：第8至11步骤在大清时才进行操作。一般每5炉大清一次，须做好大清记录5.装料（1）把备好的硅料及石英坩埚放在操作平台上，戴好口罩、PVC手套以及穿上装料工作衣（2）打开真空包装取出石英坩埚，检查有无异物。并对光检查石英坩埚有无气泡、黑点、裂纹，如有直径大于2mm里层气泡拒绝使用（3）确认无误后轻轻放入三瓣埚内，放平，高出三瓣埚内要均匀。装好后开埚转埚看是否对称。编制:审核:批准:henananyangsolar文件編號JKNY/DC-29類別DC直拉单晶作业指导书機密等級▓機密□一般制

7、訂日期2008-12-22版本/次A/1頁次3/5（4）取碎料3-5kg平铺于埚底，大块料放置边上，为了稳固可放一些小块料。中等块的料放置中间。将剩下的小块料放入，尽量填满缝隙。最后整理上部硅料。高出石英坩埚的要向内倾斜（5）装料完毕后，用吸尘器吸尽装料时掉落在石墨材料上的硅粉。将三瓣埚降至化料位置，放置好保温盖和导流筒。将埚转设置为2r/min，保证原料不接触导流筒（化料埚位：平口下100-110mm）(6)将经过腐蚀后干净的籽晶安装在夹头上，注意将籽晶位置摆正。用沾有酒精的无尘纸将炉筒密封面接合部污物除去，检查无误后合上炉盖和上炉筒6.抽真空、检漏（

8、1）先打开主真空泵电源，再打开主室球阀，抽真空至3Pa以下。如若不行，可重复几次