紫外光处理机-DMS-制程管制标准书.pdf

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1、精品资料修订记录版本日期修订内容/摘要页次修订人02007/05/02新制订All任东0.目录1.范围2.目的3.权责4.名词定义5.生产条件可编辑修改精品资料5.1RECIPE设定5.2机台参数设定5.3管制项目与规格6.参考文件7.使用表单1.范围1.1适用区域：1AArrayEtch区。1.2适用制程：紫外光处理制程。1.3适用人员：Etch区EUV机台进行作业之Operator&Engineer。1.4适用机台FabMachineID.Process1AA1EUV110紫外光处理2.目的本文件主要目的在订出紫外光处理机（EUV）制程之制程管

2、制项目与规格，用以确保制程的稳定性并规范管制项目异常时的处理方法与步骤，以做为蚀刻工程部人员在建立产品生产条件或管理项目时，有依循之依据，期能快速导入生产条件，使生产管理步入轨道，而能达质量管理之要求。可编辑修改精品资料3.权责此规范适用于EUV机台之设备、制程工程师，保养修护人员，及值班工程师。4.名词定义4.1EUV：ExcimerUltraviolet5.生产条件生产条件是生产机台相当重要的设定项目。为保持机台稳定运行以及产品质量的稳定，经承认后的生产条件是不得任意进行变更。5.1RECIPE设定由于生产条件不同需求，本机台具有不同Recip

3、e设定。生产时，将依生产条件需求自动选择合适Recipe进行生产。Recipe内容未经许可，不得随意变更。5.1.1EUVRecipe设定RECEIPE：1TactTime：40secRecipeItemsValueID1COMMENT_1499ASH01TACTTIME(sec)40CONVSPEEDLOW(mm/min)3000CONVSPEEDHIGH(mm/min)6000EUV1ON/OFFONEUV2ON/OFFONEUV3ON/OFF.ON5.2机台参数设定5.2.1JOBCONDItemsOptionValue1.JOBMODEPR

4、OCESSMODE2.USEEUVUSE3.EUV1LIFETIME1000hour4.EUV2LIFETIME1000hour5.EUV3LIFETIME1000hour6.EUV1LIFETIMECHECKCHECK7.EUV2LIFETIMECHECKCHECK可编辑修改精品资料8.EUV3LIFETIMECHECKCHECK9.GLASSSIZE1300mm10.MAXGLASSNO4EA11.C/VTIMEOUTDISTANCE60mm12.ULUNITC/VSTOPDISTANCE30mm13.AGINGMODENOCHECK14.IN

5、ITIALIZETIMEOUT180sec15.IDLEMODEWAITTIME0min5.3管制项目与规格5.3.1MQC项目与规格MQC即MachineQualityControl，指为保证机台能够正常运转，所做的定期检查项目，属于管制项目之一。EQIDItemFrequencySpec(OOC)Spec(OOS)QEUVCTMContactAngle1pcs/1week<8°<10°Δ(S+M+L)QEUVPTMParticle3pcs/1weekΔ(S+M+L)<300<2505.3.2IPQC项目与规格无5.3.3管制项目异常处理流程5.

6、3.3.1机台Recipe设定异常机台Recipe设定与机台参数设定不得自行变更，若发现设定有变更，表示机台发生异常，则应立即通知工程师处理，以免持续影响产品质量。5.3.3.2机台MQC异常当MQC异常时，表示机台状况异常。MQC首次出现异常时(OOC或OOS)，Operator要马上通知工程师，并且立即做第二次MQC量测，如果测量结果正常则可继续生产；倘若第二次测量仍然不良，则设备马上停机，待工程师查找异常原因，并且排除异常后，再进行MQC量测，直到MQC测试正常后方可以继续生产。可编辑修改精品资料MQC第一次NG1.Operator通知工程师

7、2.Operator立即准备进行第二次MQC量测MQC量测NG规格判定?1.Operator通知工程师OK2.EQ停机3.向前追朔记录已生产产品批号1.EQRelease生产2.对异常MQC于SPC下注记异常原因排除5.3.3.3规格判定A机台开机点检规格请参考文件Q-7-02-0-010【紫外光处理机(DMS)保养指导书】。BMQC检测规格请参考本文5.3.1.1MQC项目与规格。6.参考文件IVOG5SA-EUVOPERATIONMANUALQ-7-02-0-010紫外光处理机(DMS)保养指导书Q-7-01-0-010紫外光处理机(DMS)操

8、作指导书7.使用表单无可编辑修改