单晶巡检SOP作业指导书培训.ppt

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1、单晶IPQC作业指导与培训制作人：孟康主要内容1.概述2.单晶工艺流程3.单晶IPQC日常规范及要求4.异常的处理及反馈概述1、目的：为了能更好、更快地了解与适应单晶IPQC的工作职责与工作规范，特制定了此培训与指导资料2、整个单晶作业流程包括引晶，放肩，等径，收尾等重要环节。为整个生产重要的环节。了解并熟知有祝与我们更好的服务于生产车间3、品质管理的定义：希望以最经济的方法生产出让客户满意的产品4、制程检验的目的：于大量生产型的工厂中、及时发现不良，采取措施，可以防止大量不良品的发生；针对品质非机遇性之变因，于作业过程中加以查核，防止不良品的产生。如

2、查核作业流程是否更动、新手对于作业标准（合法）是否了解、机器、模具是否正常，作业条件有无变动；通过检验事实，不让制程的不良品流入次工程5、制程检验的做法：制程检验最有效，成本最低的应是由品管人员实施巡回检验；使用查核表作记录；查核项目除了在制半成品，应该包括可能造成品质变因之作业因素；查核项目、查核方法、时间频度应事先涉及于查核表上6、检验的重点：该制程的检验员为了有效控制制程，使不良率不会因异常的制程原因而升高，对于不稳定的因素应事先了解掌握，并做重点控制，不稳定因素包括：a、该品以前，生产曾有异常，有不良较高的记录；b、使用机器不稳定；c、IQC有

3、材料不甚理想的物品；d、新导入量产品额；e、新的操作人员(简要概括为：人、机、料、法、环）7、品质异常的反馈与处理单晶工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却单晶工艺重要环节A.作业准备B.石墨件清洗C.石墨件安装D.硅料安装E.抽空检漏F.引晶，缩颈，放肩，转肩G.等径生长H.收尾A.作业准备a.进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。b.开炉

4、前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。c.准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。d.准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。e.取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。f.用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。B.石墨件清洗a.石墨件必须在指定的清洗室进行清洗，准备好清洗用品(吸尘刷、纸巾、吸尘管、研磨布、除硅粒的专有工具、放石墨件的洁净小车等)戴好手套、防尘口罩。清洗好清洗台及周围环境。b.

5、依次用吸尘刷清洗各类石墨件直至确认无污物，沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨后再吸尘清洗。C.清洗时注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅，有损坏及粘硅要及时更换和处理。d.操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。e.清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净不锈钢小车上。禁止叠加，移动不锈钢小车要稳当。f.清洗后垃圾放入垃圾指定处，清洗好清洗台及周围环境。C.石墨件安装a.清洗后的石墨大件安装（一般3炉做一次）。1.清理完毕的石墨大件不锈钢小车移到单晶炉旁边，移动过程要稳当。2.依次装好石墨电极、炉底碳毡、炉底压片、下保温罩，两侧排气管、炉底上压片

6、下小石墨碳毡，炉底上压片、埚杆护套、电极护套、石英电极环。安装电极时检查接触面是否平整，上下接触面要放一层石墨纸，防止热场打火3.将清洗后的加热器装好，拧上石墨螺丝，要拧紧，不然要引起热场打火，并盖上石墨螺丝盖。4.将清洗后的中保温罩装好，卡口接到位。并校正与加热器的间距，要均匀一致，否则需调整好。5.炉筒复位，打开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精的纸巾擦洗下炉筒上部的结合部和炉筒下部的结合部，同时转动炉筒到适当位置。6.按炉筒降，炉筒降到位后，校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控。7.安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好8.将清洗后的

7、上保温罩装好，并卡口接到位。9.做好加热器厂家，使用炉次的相应记录。b.清洗后石墨小件安装1.用专用工具装好埚杆。一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动。2.依次装好埚底、三瓣埚。安装时要确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合，要认真、细心，防止碰坏保温材料或加热器。3.装好后要打开埚转旋转一下，以检验三瓣埚与加热器间距上否一致。若不一致，需及时调整。D.硅料安装a.取来装料不锈钢车，硅料及母合金，仔细核对配料单的各项内容是否与单晶炉号、配料实物和母合金实物一致，若有异常及时处理并报告班长或主任b.更换装料用的手套，如有母合金先放入石英坩埚。再将碎料、小料

8、平铺在埚底c.将大块料放置中央，用中型料放于大料四周上方左右予以固定，间隙中放入小硅料。装料时