sop-112一厂单晶炉热场安装作业指导书

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1、ReneSUa浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单品工序长晶作业工序名称热场安装页码第1页共3页文件编号Q03-SOP-112版本A/0生效日期2010年12月1H一、目的规范长晶用热系统的安装，使得热系统的安装受控。二、范围一厂JRDL/800单晶炉三、准备的材料无尘纸、不锈钢小车、力矩扳手、手电筒、石墨纸、直角尺、工作服、帆布手套、防尘口罩、酒務序号步骤操作方法操作标准使用工具及物料注意事项热场移至炉台边用不锈钢小车将清理完毕的石墨大件平稳移到单品炉左侧边。平行炉台距离50cm图示化不锈钢小车、防尘口罩、帆布手套

2、安装炉底碳毡，压片，保温桶，电极,护套依次装好石墨电极一炉底碳毡一炉底下压片一上压片下Z间碳毡一炉底上压片f电极护套一石英护套下保温罩一两侧排气管一竭杆护套f。严格按次序，保温筒卡口到位3装石墨纸石墨电极上下接触面放置i层石墨纸。检杳接触而平整，防止打火石墨纸4对排气孔将排气管与下炉筒两边排气孔对止用手电筒或观察窗玻璃校正排气孔排气管入槽手电筒批准'市核编制修改履历ReneSUa浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单品工序长晶作业工序名称热场安装页码第2页共3页文件编号Q03-SOP-112版本A/0生效日期2010年

3、12月1H步骤操作方法操作标准图示化注意爭项序使用工具及物料安装加热器将清理后的加热器装好，拧上石墨螺丝石墨螺丝松紧适度，防止打火加热器力矩扳手安装中保温桶将清理后的屮保温筒装好,E口到位。并校正与加热器的间距，要均匀-•致测量四周间距差值W2mm测量四周间2mm直角尺打开液压泵，升起炉筒至上降炉筒降炉筒限，清洗下炉筒上下的结合炉筒定位环部，同时转动炉筒到适当位置。与导柱同轴无尘纸校对测温孔下降炉筒降到位后，校対测温孔前］\炉次欧陆数值在同一工序不得相并20()点安装热电锥安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。热电锥螺丝

4、松紧适度，连接线接触良好，欧陆信号正常手电筒备注:ReneSOIa浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅片工序长晶文件编号步骤Q03-SOP-112操作方法作业工序名称A/0热场安装牛•效FI期页码2010年12月1日操作标准图示化使用工具及物料注意爭项10安装上保温桶将清理后的匕保温罩装好,并卡口接到位。四周入槽,测量盖距为190mm-205mm安装托杆.用专用工具装好堀杆。要拧紧埸杆螺丝检杏托杆不晃动托杆扳手托杆不要拧太紧，防止螺丝滑丝12检查期转及竭升降打开并检查璃转及期快速升降显示值与实际值一致，无卡滞现象13安

5、装期托,三瓣埸依次装好竭托、三瓣竭。确认堀杆、堀底、三瓣竭是否吻合14检查对中装好后耍打开甥转旋转一下，检验三瓣烟与加热器间距是否均匀测量四周间距差值W2mm直角尺备注: