作业指导书--SOP-112一厂单晶炉热场安装作业指导书

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1、ReneSfla浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单品工序长晶作业工序名称热场安装页码第1页共3页文件编号Q03-SOP-112版本A/0生效日期2010年12月1F1一、目的规范长晶用热系统的安装，使得热系统的安装受控。二、范围一厂JRDL/800单晶炉三、准备的材料无尘纸、不锈钢小车、力矩扳手、手电简、石墨纸、直角尺、工作服、帆布手套、防尘口罩、酒務序号步骤操作方法操作标准使用工具及物料注意事项热场移至炉台边用不锈钢小车将清理完毕的石墨大件平稳移到单品炉左侧边。平行炉台距离50cm图示化不锈钢小车、防尘口罩、帆布手套安装炉底碳毡，压片，保温桶，电极,护套依次装好

2、石墨电极一炉底碳毡一炉底下压片一上压片下Z间碳毡一炉底上压片f电极护套一石英护套下保温罩一两侧排气管一竭杆护套f。严格按次序，保温筒卡口到位3装石墨纸石黑电极上下接触血放置一层石墨纸。检杳接触而平整，防止打火右衆纸4对排气孔将排气管与下炉筒两边排气孔对止用手电筒或观察窗玻璃校正排气孔排气管入槽手电筒批准'市核编制修改履历ReneSfla浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单品工序长晶作业工序名称热场安装页码第2页共3页文件编号Q03-SOP-112版本A/0生效日期2010年12月1F1步骤操作方法操作标准图示化注意爭项序使用工具及物料安装加热器将清理后的加热器装好，

3、拧上石墨螺丝石墨螺丝松紧适度，防止打火加热器力矩扳手备注:安装中保温桶降炉筒将清理后的中保温筒装好,E口到位。并校正与加热器的间距，要均匀-•致打开液压泵，升起炉筒至上降炉筒校对测温孔安装热电锥限，清洗下炉筒上下的结合部，同时转动炉筒到适当位置。下降炉筒降到位后，校対测温孔安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。测量四周间距差值W2mm测量四周间2mm直角尺炉筒定位环与导柱同轴无尘纸前］\炉次欧陆数值在同一工序不得相并2(X)点热电锥螺丝松紧适度，连接线接触良好，欧陆信号正常手电筒ReneSMa浙江昱潛乍阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅片工序长晶作业工称序名热场

4、安装第3页共3贝文件编号Q03-SOP-112版本A/()生效日期2010年12月1日序号步骤操作方法操作标准图示化使用工具及物料注意事项10安装上保温桶将清理后的上保温罩装好，并忖口接到位。■四周入槽,测量盖距为190mm-205!mm111安装托杆.用专用工具装好竭杆。要拧紧埸杆螺丝I检查托杆不晃动M/11托杆扳手1托杆不要拧太紧，防止螺丝滑丝12检查圳转及圳升降打开并检查璃转及璃快速升降显示值与实际值一致，无1卡滞现象

5、13安装竭托，三瓣坍依次装好竭托、三瓣竭。确认堀杆、堀底、三瓣竭是否吻合0>14检查对中装好后要打开甥转旋转一下，检验三瓣竭与加热器间距是否均匀测量四周间距差

6、值W2mm■直角尺备注: