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时间:2018-03-28
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1、宁夏隆基硅材料有限公司文件名称单晶炉作业指导书日期2007-11-10文件编号NXLJ/JS-01版本号B密级3页码17of17版本修改状态修改页码/章节号更改单号发布说明或修改原因编制或更改/日期审核/日期审批/日期B0发放范围:全公司评审部门:Confidential&ProprietaryDocumentUncontrolledifPrinted宁夏隆基硅材料有限公司文件名称单晶炉作业指导书日期2007-11-10文件编号NXLJ/JS-01版本号B密级3页码17of17单晶炉作业指导书1目的为生产操作单晶设备提供指导,规范操作,保证产品质量。2范围本作
2、业指导书适用于使用MCZ-6000D单晶炉的拉晶岗位。3安全要求3.1单晶车间的安全注意事项1、车间内的机器设备,无操作资格者勿动。2、未装磁场的单晶炉,操作人员一定要注意不要掉进炉子旁边的缝隙里;对于已经装上磁场的,要注意不要带手机、磁卡(如银行卡、身份证)等靠近。也不能拿铁器、钢器靠近磁场,否则会造成人身伤害和设备损坏。3、严禁在车间内打闹,上班时要杜绝擅离职守、睡觉等。4、在副室与喉口之间、炉盖与主室之间,只要存在可能压砸的地方,任何人严禁将身体的任何部位置于两者的空隙之间。5、拉晶中的炉台,严禁任何人踩踏单晶炉的底盘或将身体靠在单晶炉和电控柜上,以免造
3、成炉子震动或碰到电器开关。3.2进入泵房的安全注意事项1、确保泵房照明,如果照明灯损坏,要及时更换。2、必须保持泵房地面干燥和清洁,定期清扫泵房。如将油洒到地面上时,要及时打扫干净。3、机械泵皮带必须安装防护罩。4、清洁机械泵和换油时,必须在泵的电源开关上悬挂警示牌,工作完毕后取走警示牌。5、洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内。3.3拆装炉1、上班必须穿戴好劳保用品。拆装炉时,还需戴口罩、手套等到防护用品。2、拆炉取晶体时,注意不要被烫伤,划伤、碰伤。3、晶体出炉后按指定地点摆放,并将晶体上多余的籽晶部份剪掉。4、拆拿及安装石墨件时要戴上线手套。3.4乙醇、丙酮的
4、使用1、工业乙醇及丙酮有害,使用时,要注意防止其溅入眼内。2、严禁用丙酮擦拭密封圈!Confidential&ProprietaryDocumentUncontrolledifPrinted宁夏隆基硅材料有限公司文件名称单晶炉作业指导书日期2007-11-10文件编号NXLJ/JS-01版本号B密级3页码17of17注意:乙醇和丙酮都是易燃物,应安全使用和妥善保管。4工艺流程4.1工艺流程图压力化/熔料抽空/检漏装炉拆炉稳定化引晶放肩转肩停炉收尾等径4.2过程控制4.2.1拆炉4.2.1.1取晶体1、停炉5小时后须先进行手动热检漏并作记录,泄漏率应<6.7Pa
5、/5min(5mTorr/5min)。泄漏率超出范围应报修。手动热检漏操作步骤:在触摸屏上将电控系统退到手动状态,关闭供气管道上的手动球阀,将三个电磁阀全部打开,然后抽空到极限真空。停泵并保持炉子各阀门状态不变,待真空显示稍微稳定后,观察5分钟内真空的变动情况,计算出泄漏率。最后,将炉子状态复原。2、检漏完毕后,用蘸酒精的普通擦炉纸将炉体外壁从上到下擦拭一遍,包括提拉头、检修平台、副炉筒、炉盖、主炉筒。擦拭过程中要小心保护好线路及精密部件,也要防止造成环境的交叉污染。3、停炉6个小时后,才能充气拆炉。分阶段缓慢降低晶转到零(持续时间约3-5分钟),禁止将晶转快
6、速或直接降到零!穿戴好劳保防护用品,准备好拆炉工具。充氩气到大气压后,必须查看晶体完全提升到副室后方可提升副室。4、将晶体提升到副室圆筒内,用托晶盘防护后,将副室转出。转出时注意推动的速度要缓慢均匀,以防止晶体撞到炉筒上。注意:副室升起后,由于左右均可旋转,要注意防止碰坏聂尔根。5、在晶体下方摆放好取晶框后,撤掉托晶盘,然后降下晶体,在晶体离取晶框底部还有3-5mm距离时,停止下降,严禁使晶体接触到取晶框(会导致上轴钢丝绳因跳槽而损坏)。Confidential&ProprietaryDocumentUncontrolledifPrinted宁夏隆基硅材料有限
7、公司文件名称单晶炉作业指导书日期2007-11-10文件编号NXLJ/JS-01版本号B密级3页码17of17剪断细颈前,一人扶住取晶框,另一人用手抓住重锤或连杆(禁止抓籽晶),然后剪断细颈;剪断细颈后逐步释放重锤,控制好重锤的旋转和晃动,防止钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤。6、检查钢丝绳是否完好可用。若有变硬、毛刺或其他损坏情况,则应请维修人员去除老化、损坏部分,或换新的。注意钢丝绳在更换、维修后要及时校准限位!7、在晶体上标识晶体编号,如实完整填写《单晶生产随工单》后,将晶体放置到规定的地方。别忘了提渣盖也要标识好并妥善保存,待专门人员回收。4.2.1.2拆热场
8、、冷却和打扫炉内卫生1、戴上高温隔热手
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