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1、ICS25.160.10x61i中华人民共和国机械行业标准JB/T10439-2004单晶炉TDR系列直拉法单晶炉CrystalgrowingfurnacesTDR-seriescrystalgrowingfurnacesbyCzochralskimethod2004-03-12发布2004-08-01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布JB/f10439-2004目次前言.‘.t.........-..⋯⋯,..-.-.........-..⋯⋯,........一,...⋯⋯,..........-..-...⋯⋯,.,...一Illl范
2、围.二t.........-...一,.t.......-.........一,.⋯‘.⋯‘⋯⋯,..-....................一,⋯⋯12规范性引用文件..⋯⋯t.......-⋯⋯‘.⋯,⋯,.⋯,二,,-.-...........⋯⋯,,,..⋯‘⋯13术语和定义.-..⋯“._.,..二‘.............-.-..⋯⋯卜二‘.‘⋯⋯,⋯⋯卜..-.......一t....‘.一,.....一14产品分类...⋯‘...............⋯⋯t..二“.......-一,...一‘.....-....二,二,.
3、⋯⋯‘.......⋯‘...,,,二‘.一24.1品种和规格._..t-....⋯‘_一,.⋯“._...-......“‘_..一24.2型号....:⋯⋯_.⋯,.,..............⋯⋯‘.......一,.....-........⋯⋯,,二‘.....24.3主要参数一,.二‘⋯⋯,,-..........⋯⋯,一,.,‘....⋯⋯,,⋯⋯,一‘....⋯,......一25技术要求......-一t.........⋯⋯,,-.一‘.⋯价,..⋯,,,..⋯,..........····...-........35.1一般
4、要求...一‘......一‘二价..⋯卜.‘二卜.........⋯⋯价.....⋯⋯,..⋯‘.,,.,...一35.2对设计和制造的补充要求,.,-⋯⋯卜...-..⋯,.⋯⋯卜._.............⋯⋯,..-...35.3性能要求_二,.,,,⋯t.-...-........⋯,⋯,.⋯⋯‘.⋯⋯,....⋯,.,,.一‘..‘..,,.,,.⋯..45.4成套要求.⋯⋯,.,..⋯,.........⋯⋯,.,,,,,.,-........⋯⋯,,二,......-.........⋯⋯....,...56试验方法......-
5、....⋯⋯,.二‘.....⋯⋯价.,,.,.⋯,....⋯⋯,,,,,一,二‘............二,.,,.-...二56:1压升率的测量.....-.-..⋯二..-......................-............一,..--.-......56.2炉温均匀度的测量.,.,.............................,.⋯⋯‘.⋯,,.⋯,⋯⋯,.....56.3加热能力和热炉抽气能力试验‘价...........-..............................一一一..........
6、.....66.4运动参数相对偏差的测量......⋯⋯卜二卜...⋯⋯‘.⋯卜卜二,...-.⋯‘一”卜........66.5速度百分偏差的测量二,.价.--.⋯价,,.“价一一一一一一一价一一一,66.6爬行量的测量二价.,“二价一~~....一一价一~~......一.一.一66.7工业拉晶试验⋯⋯,...二‘............................,...⋯⋯,.......⋯⋯.66.8晶体直径偏差的测量....-..⋯价..⋯⋯_.⋯⋯,⋯⋯‘.,价⋯⋯,一‘.⋯⋯,.,..67检验规则..-.........⋯⋯t‘
7、二,..⋯‘_..⋯,.⋯⋯‘,....⋯⋯,.⋯‘....⋯..67.1单晶炉的出厂检验项目...............一,,-..⋯⋯,‘...一,..⋯⋯,⋯‘.“一,..........67.2单晶炉的型式检验项目.....⋯⋯卜.卜.-...,,.,卜.....⋯⋯卜卜..一,.卜一卜:.‘.⋯‘.......................78标志、包装、运输和贮存.........⋯⋯,..⋯⋯‘一,,一.....................-.--一79订购与供货.-..........................⋯⋯,.
8、‘.....⋯⋯_........-..-...⋯⋯_......一8JB/T10439-2004前言本标准是首次制定本标
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