J BT10439-2004-单晶炉TDR系列直拉法单晶炉.pdf

《J BT10439-2004-单晶炉TDR系列直拉法单晶炉.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、ICS25.160.10x61i中华人民共和国机械行业标准JB/T10439-2004单晶炉TDR系列直拉法单晶炉CrystalgrowingfurnacesTDR-seriescrystalgrowingfurnacesbyCzochralskimethod2004-03-12发布2004-08-01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布JB/f10439-2004目次前言.‘.t.........-..⋯⋯，..-.-.........-..⋯⋯，........一，...⋯⋯，..........-..-...⋯⋯，.，...一I

2、lll范围.二t.........-...一，.t.......-.........一，.⋯‘.⋯‘⋯⋯，..-....................一，⋯⋯12规范性引用文件..⋯⋯t.......-⋯⋯‘.⋯，⋯，.⋯，二，，-.-...........⋯⋯，，，..⋯‘⋯13术语和定义.-..⋯“._.，..二‘.............-.-..⋯⋯卜二‘.‘⋯⋯，⋯⋯卜..-.......一t....‘.一，.....一14产品分类...⋯‘...............⋯⋯t..二“.......-一，...一‘.....-.

3、...二，二，.⋯⋯‘.......⋯‘...，，，二‘.一24.1品种和规格._..t-....⋯‘_一，.⋯“._...-......“‘_..一24.2型号....:⋯⋯_.⋯，.，..............⋯⋯‘.......一，.....-........⋯⋯，，二‘.....24.3主要参数一，.二‘⋯⋯，，-..........⋯⋯，一，.，‘....⋯⋯，，⋯⋯，一‘....⋯，......一25技术要求......-一t.........⋯⋯，，-.一‘.⋯价，..⋯，，，..⋯，..........····...-..

4、......35.1一般要求...一‘......一‘二价..⋯卜.‘二卜.........⋯⋯价.....⋯⋯，..⋯‘.，，.，...一35.2对设计和制造的补充要求，.，-⋯⋯卜...-..⋯，.⋯⋯卜._.............⋯⋯，..-...35.3性能要求_二，.，，，⋯t.-...-........⋯，⋯，.⋯⋯‘.⋯⋯，....⋯，.，，.一‘..‘..，，.，，.⋯..45.4成套要求.⋯⋯，.，..⋯，.........⋯⋯，.，，，，，.，-........⋯⋯，，二，......-.........⋯⋯....，

5、...56试验方法......-....⋯⋯，.二‘.....⋯⋯价.，，.，.⋯，....⋯⋯，，，，，一，二‘............二，.，，.-...二56:1压升率的测量.....-.-..⋯二..-......................-............一，..--.-......56.2炉温均匀度的测量.，.，.............................，.⋯⋯‘.⋯，，.⋯，⋯⋯，.....56.3加热能力和热炉抽气能力试验‘价...........-.......................

6、.......一一一...............66.4运动参数相对偏差的测量......⋯⋯卜二卜...⋯⋯‘.⋯卜卜二，...-.⋯‘一”卜........66.5速度百分偏差的测量二，.价.--.⋯价，，.“价一一一一一一一价一一一，66.6爬行量的测量二价.，“二价一~~....一一价一~~......一.一.一66.7工业拉晶试验⋯⋯，...二‘............................，...⋯⋯，.......⋯⋯.66.8晶体直径偏差的测量....-..⋯价..⋯⋯_.⋯⋯，⋯⋯‘.，价⋯⋯，一‘.⋯⋯，.，

7、..67检验规则..-.........⋯⋯t‘二，..⋯‘_..⋯，.⋯⋯‘，....⋯⋯，.⋯‘....⋯..67.1单晶炉的出厂检验项目...............一，，-..⋯⋯，‘...一，..⋯⋯，⋯‘.“一，..........67.2单晶炉的型式检验项目.....⋯⋯卜.卜.-...，，.，卜.....⋯⋯卜卜..一，.卜一卜:.‘.⋯‘.......................78标志、包装、运输和贮存.........⋯⋯，..⋯⋯‘一，，一.....................-.--一79订购与供货.-..

8、........................⋯⋯，.‘.....⋯⋯_........-..-...⋯⋯_......一8JB/T10439-2004前言本标准是首次制定本标