内层制程试车作业管理规范.docx

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1、内层制程试车作业管理规范12020年5月29日文档仅供参考內層製程試車作業規範一、目的---------------------------------------------------------------1二、說明---------------------------------------------------------------3三、設備點檢項目----------------------------------------------------4四、測試項目----------------------------

2、------------------------------522020年5月29日文档仅供参考一、目的測試新進設備品質和製程能力,為現場量產做準備二、說明內層試車計畫包含伍個主要設備,清單如下:(1)裁板機(2)前處理線(3)壓膜機(4)曝光機(5)後處理製程試車計畫由相關製程負責PE編製,交付工程部、製造部及品保部會簽,會同相關製程的各部負責人共同配合執行。測試板與小量產規定(1)測試板數量:20-100PNL,尺寸:接近設備最大設計尺寸,板厚:無特殊要求時40-60mil.32020年5月29日文档仅供参考(2)小量產數量3-1

3、0lot(150PNL/lot)三設備點檢項目設備名稱設備點檢項目結果備註機械傳動是否正常,有無跳輪、卡板、傳送偏移現象噴嘴是否有堵塞、歪斜内層前處溫度顯示與實際溫度是否相符理各段之間信號傳輸、配合以及感應、添加、警報是否正常設備有無漏液現象設備各表頭顯示是否符合實際壓膜機械傳動是否正常,有無跳輪、卡板、傳送偏移現象機台各部分是否運轉正常、符合規格要求曝光機械傳動是否正常,有無跳輪、卡板、傳送偏移現象機台各部分是否運轉正常、符合規格要求DES機械傳動是否正常,有無跳輪、卡板、傳送偏移現象噴嘴是否有堵塞、歪斜42020年5月29日文档仅

4、供参考溫度顯示與實際溫度是否相符各段之間信號傳輸、配合以及感應、添加、警報是否正常設備有無漏液現象設備各表頭顯示是否符合實際四測試項目制程站別項目測試標準測試結果備註尺寸精确度與設定值相差2mm内裁板板边無BURR无BURR一次裁切厚度30mm水破實驗>=30s内層前處微蚀測試40±10μ〞烘干測試無水痕殘留理传動測試無卡板、無刮傷板面清洁度无异物設備傳送無卡板、氣泡、膜皺内層內層壓膜幹膜對準度幹膜距板邊2±1mm線板出溫度60±5℃溫度均勻性左中右溫差小於7℃設備傳送無卡板內層曝光曝光能量6.0±0.5格曝光均勻性自動85%↑線CC

5、D對位精准度偏差1mil内真空度22inHg↑DES線設備傳送無卡板,無刮傷顯影PH值10.6↑52020年5月29日