电子探针x射线微区分析

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1、电子探针X射线微区分析电子探针X射线微区分析(EPMA)ElectronProbeX-rayMicroanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面，并根据微区内所发射出X射线的波长（或能量）和强度进行定性和定量分析的方法。电子探针工作原理　　电子探针（ElectronProbeMicroanalysis-EPMA）的主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。　　其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X

2、射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。　　其镜筒部分构造和SEM相同，检测部分使用X射线谱仪，用来检测X射线的特征波长（波谱仪）和特征能量（能谱仪），以此对微区进行化学成分分析。　　X射线谱仪是电子探针的信号检测系统，分为：　　能量分散谱仪（EDS），简称能谱仪，用来测定X射线特征能量。　　波长分散谱仪（WDS），简称波谱仪，用来测定特征X射线波长。　　WDS组成：波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系统组成。　　原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过一定

3、晶面间距的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。通过连续地改变q，就可以在与X射线入射方向呈2q的位置上测到不同波长的特征X射线信号。根据莫塞莱定律可确定被测物质所含有的元素。　　为了提高接收X射线强度，分光晶体通常使用弯曲晶体。编辑本段电子探针分析的特点　　电子探针显微分析有以下特点：1.显微结构分析　　电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发待分析的样品，通过电子与样品的相互作用产生的特征X射线、二次电子、吸收电子、背散射电子及阴极荧光等信息来分析样品的微区内(μm范围内)成

4、份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针是几个μm范围内的微区分析，微区分析是它的一个重要特点之一,它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。2.元素分析范围广　　电子探针所分析的元素范围从硼(B)——铀(Ｕ)，因为电子探针成份分析是利用元素的特征X射线，，而氢和氦原子只有K层电子，不能产生特征X射线，所以无法进行电子探针成分分析，锂(Li)和铍(Be)虽然能产生X射线，但产生的特征X射线波长太长，通常无法进行检测，少数电子探针用大面间距的皂化膜作为衍射晶体已经可以检测Be元素。能

5、谱仪的元素分析范围现在也和波谱相同，分析元素范围从铍(Be)——铀(Ｕ)。3.定量分析准确度高　　电子探针是目前微区元素定量分析最准确的仪器。电子探针的检测极限(能检测到的元素最低浓度)一般为（0.01－0.05）wt%，不同测量条件和不同元素有不同的检测极限，但由于所分析的体积小，所以检测的绝对感量极限值约为10-14g，定量分析的相对误差为(1—3)%，对原子序数大于11，含量在10wt%以上的元素，其相对误差通常小于2%。4.不损坏试样、分析速度快　　电子探针一般不损坏样品，样品分析后，可以

6、完好保存或继续进行其它方面的分析测试，编辑本段电子探针分析方法及应用　　电子探针的定性分析方法　　1.定点分析：　　将电子束固定在要分析的微区上，用波谱仪分析时，改变分光晶体和探测器的位置，即可得到分析点的X射线谱线；用能谱仪分析时，几分钟内即可直接从荧光屏（或计算机）上得到微区内全部元素的谱线。　　镁合金中的析出相CaMgSi的鉴别　　Spectrum1位置析出相富含Ca、Mg、Si元素　　2.线分析：　　将谱仪（波、能）固定在所要测量的某一元素特征X射线信号（波长或能量）的位置　　把电子束沿着

7、指定的方向作直线轨迹扫描，便可得到这一元素沿直线的浓度分布情况。　　改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。　　3.面分析：　　电子束在样品表面作光栅扫描，将谱仪（波、能）固定在所要测量的某一元素特征X射线信号（波长或能量）的位置，此时，在荧光屏上得到该元素的面分布图像。改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。也是用X射线调制图像的方法。　　镁合金中的析出相Mg2Si的鉴别　　Si的元素面分布图，可以清晰地看到Mg2Si所在的位置