电子探针X射线分析仪在宝钢的应用.pdf

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1、70宝钢技术2015年第3期电子探针x射线分析仪在宝钢的应用胡莹(宝山钢铁股份有限公司研究院，上海201900)摘要：电子探针x射线分析仪(EPMA)将高度聚焦的电子束照射在样品上，激发试样中某一微小区域，使其发出特征x射线，测定该X射线的波长和强度，即可对该微区的5—92号元素作定性或定量分析。由于波谱仪能量分辨率高，所以电子探针的分析精度远高于配备能谱的扫描电镜，使电子探针能够将显微组织和元素成分联系起来，解决材料显微成分分析的问题，是研究亚微观结构的有力工具。宝钢在建厂伊始便引进了这种设备，经过30多年的使用，在设备功能

2、的基础上，结合宝钢实际，开发出一系列的特色应用以服务产品研发和现场生产。关键词：电子探针；X射线；波谱中图分类号：TR31文献标志码：B文章编号：1008—0716(2015)03—0070—05doi：10．3969／j．issn．1008～0716．2015．03．014ApplicationofelectronprobemicroanalysisinBaosteelHUYing(ResearchInstitute，BaoshanIron＆SteelCo．，Ltd．，Shanghai201900，China)Abstrac

3、t：Electronprobemicroanalysis(EPMA)putshighlyfocusedelectronbeamOilthesamplethatmakescharacteristicX—rayexcitedfromaspotzogeofsample．ThroughmeasuringwavelengthandintensityoftheX—ray．No．5一No．92elementqualityandquantityanalysiscanbemade．EPMAispowerfulinstrumenttoresear

4、chmicrostrueturebecauseitcangetsub—microstructureandelementmapsimultaneouslytoanalysenonuniformityofmateria1．BaosteelhaveusedEPMAf0rmorethan30years．EPMAplayaveryimportantroleinresearchandproduetion，andsomeinstancesaregiven．Keywords：EPMA；Xray；spectroscopy电子探针X射线显微分析仪

5、(EPMA)简称电宝钢在建厂伊始便引进了这种分析设备，第子探针，用于研究物质表面上的元素(5～92号)一台电子探针于1981年正式装机完成，并投入使组成及其分布，在工业生产和科学研究领域有着用。30多年来，已有5台不同型号的电子探针先广泛的应用。与能量谱线相比，波长谱线的后在宝铡服役，为产品研发和现场生产提供可靠谱峰分辨率高，可达到5～10eV(能量色散谱目数据。由于电子探针是一种通用设备，结合宝钢前最好可以做到130eV左右)，能够很好地分辨实际，开发具有针对性的应用方法一直是实验室出峰位相近的元素J，对微量偏析也可取得更工

6、作的重要内容。清晰、准确的结果，在冶金和材料科学领域，被越电子探针的工作原理是利用电子束轰击样品来越广泛地应用。表面激发特征x射线，将样品和探测晶体同置于罗兰圆上使其满足布拉格公式(2dsin0=A)，特定元素的特征x射线通过晶体并被记录强度，进胡莹工程师1981年生2O06年毕业于中国科学院力学研究所现从事物理检测研究电话26641~L而计算该元素在样品中的含量。所以实际中的应E—mailhu~ing@baostee1．COWl用都是基于这一原理展开的“。74宝钢技术2015年第3期还是质量控制，材料微观结构的表征都是不可或

7、5功能开发和标准样品研制缺的。在各种材料表征方法中，电子探针是其中为了进一步拓展电子探针的应用领域和更准比较重要的一种，在检测精度上明显高于能谱方确提供检测数据，实验室在引入功能部件和研制法，在样品制备和检测周期方面较透射电镜便捷标准样品方面进行了持续的工作。很多，且可以分解每种元素信息。经过30多年的在20世纪90年代初引进能谱仪进行快速分努力，电子探针已经融入宝钢并开发出一系列针析的基础上，1995年引进了中国大陆第一台对宝钢实际的特有的分析方法，成为科研和现场EBSD，顺利投入使用并制定了ISO国际标准。服务一种重要方式

8、。2004年，实验室进行电镜改造尝试，将JXA一733型电子探针的电子枪改造成脉冲模式，使电子束参考文献敲击样品表面获取回声信号以表征样品次表层[1]曾毅，吴伟，高建华．扫描电镜和电子探针的基础和应用信息。[M]．上海：上海科学技术出版社，2009：43—56．[2]利弗森E