PECVD石墨舟清洗作业指导书.doc

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1、PECVD石墨舟清洗及使用维护设备部：肖学文1.舟的清洗1.1新舟在第一次使用前建议使用去离子水+氢氟酸（体积比10%）溶液进行清洗约3-5小时；再用去离子水进行漂洗8-12小时；直到确认舟体没有酸性成分。可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。然后按照要求进行烘干。1.2使用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。建议使用浓度15%-25%的氢氟酸溶液，分三个轮次来清洗，每次4-5小时；并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的冲洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为起源。酸洗后用纯水漂洗10小时左右

2、，并确认舟已经彻底清洗干净，请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点与舟片结合处，以及其它部位是否还有氮化硅的残存。然后按照要求进行烘干。A)由于氢氟酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。B)建议在清洗时将舟拆开后只对石墨部件进行清洗，这样能将各个接触部位清洗得更彻底。目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于氢氟酸对陶瓷组件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应组件的使用寿命。2.舟的烘干2.1建议使用有定时功能和循环排风的烘箱，这样烘烤的水蒸气可直接被抽掉，以避免水蒸气因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。2.

3、2清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表面没有水滴或水痕，再放进烘箱，请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘箱。2.3将烘箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持时间为10-12小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。3.舟的预处理（饱和）进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，其饱和时间需要相应延长。建议不要在空舟状态进行预处理，最好装上假片或废片；虽然操作程序较长，但可缩短预处理时间，并可延长舟的使用寿命。4.石墨舟的维护4.1石墨舟的存放：石墨舟应存放在干燥清洁的环境中。

4、由于石墨本身的孔隙结构而使其具有一定的吸附性，潮湿或污染的环境会使得清洗烘干后的石墨舟容易再次污染或受潮。4.2石墨舟组件陶瓷、石墨部件均属易碎材质，在搬运或使用过程中应尽量避免碰擦；若发现组件有断裂、裂纹、松脱等现象应及时预以更换和重新锁紧。4.3石墨工艺卡点更换：根据使用频率及时间，以及电池片实际阴影面积的要求，应对石墨舟工艺点进行周期性更换。推荐使用SHF提供的专用更换卡点设备进行拆卸及安装。该设备的操作有利于提高装配的速度和一致性以及减少舟片破损的风险。4.4建议对石墨舟进行编号管理，指定和执行定期的清洗、烘干、维护、检查，并指定专人管理；保持石墨舟的管理及使用的稳定性。整

5、体清洗的石墨舟应定期对陶瓷组件进行更换。4.5石墨舟维护时，组件、舟片及工艺卡点建议由石墨舟供应商提供，以免因组件精密度无法匹配原舟而导致在更换过程中产生损失。4.6石墨舟使用过程中任何问题和建议，请及时与我们联系。