说明书-石墨舟

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1、说明书摘要本实用新型涉及一种石墨舟，包括石墨舟片（1）、陶瓷杆（2）、石墨舟工艺钉（3），陶瓷圈（4），石墨舟片（1）的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片（1）之间的间距为15mm，本实用新型结构简单；且合理的石墨舟片的间距，使得硅片的镀膜均匀，提高硅片的品质、提高太阳能转化效率高。1100052006.7摘要附图1100052006.7权利要求书1、一种石墨舟，包括固定在石墨舟底座上的石墨舟片（1），位于石墨舟上部的陶瓷杆（2），固定在石墨舟片上的工艺钉（3），其特征在于：石墨舟片（1）的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片（1）之间的间距为15mm。2、根据权利要求1

2、所述石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片（1）串联在陶瓷杆（2）上。3、根据权利要求1所述石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片（1），每片石墨舟片（1）之间均夹有一个陶瓷圈（4）来控制舟片之间的距离。4、根据权利要求3所述石墨舟，其特征在于：所述陶瓷圈（4）串联在陶瓷杆（2）上。3100032006.7说明书石墨舟技术领域本实用新型涉及一种石墨模具。石墨舟就是石墨模具。石墨模具本身是一种载体，可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成的。所以石墨模具有时称为石墨舟，也称为石墨船。背景技术太阳能硅片的生产加工中有一

3、道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反应，在硅片表面镀上一层膜。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。现有的石墨舟舟片之间间距小，镀成的硅片膜的颜色深浅

4、不一，致使硅片的太阳能转化效率不一，质量受到影响。实用新型内容本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种能够使硅片的镀膜均匀、太阳能转化效率高的石墨舟片。实现本实用新型目的技术方案是：一种石墨舟，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨舟工艺钉，石墨舟片的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片之间的间距为15mm。上述石墨舟，所述石墨舟片串联在陶瓷杆上。上述石墨舟，所述石墨舟片，每片石墨舟片之间均夹有一个陶瓷圈来控制舟片之间的距离。上述石墨舟，所述陶瓷圈串联在陶瓷杆上。3100032006.7本实用新型具有积极的效果：（1）结构简单；（2）合理的石墨舟片的间距，使得硅片的镀膜均匀，提高硅片

5、的品质、提高太阳能转化效率高。附图说明为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的局部放大图。其中：1石墨舟片，2陶瓷杆，3石墨舟工艺钉，4陶瓷圈。具体实施方式实施例（1）见图1，本实用新型具有石墨舟片1、位于石墨舟上部串联石墨舟片1的陶瓷杆2、固定在石墨舟片上的工艺钉3，石墨舟片1的数量为19片，石墨舟片1之间的间距为15mm，每片石墨舟片1之间均夹有一个陶瓷圈4来控制舟片之间的距离，石墨舟片1串联在陶瓷杆2上。陶瓷圈4串联在陶瓷杆2上，石墨舟片1之间。以上所

6、述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。3100032006.7说明书附图2100032006.7说明书附图2100032006.7