真空蒸镀铝用碳_石墨蒸发舟应用技术综述.doc

《真空蒸镀铝用碳_石墨蒸发舟应用技术综述.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、真空蒸镀铝用碳一石墨蒸发舟应用技术综述黄建华（上海电影碳棒厂）摘*威一石基蒸发舟（亦称石墨加热器、石墨轴堀）是真空镀膜技术应用中的关键部件，长期以来未得到足够的重视，不少单位使用代用品，如用5x18x355mm的气创碳棒$多种型号的人造石搖制品边角料加工件。丙此，型号杂乱，质童不穗定，加上操作者对碳一石募的特性块乏了聲.、生产过程中出现多种多样的问題。本文就碳一石墨材料的有芜轩性和直膜工艺对碳一石.蔓蒸发舟的主要技术矣求以及当前不少仗用单｛!在操作上存左旳问题作一综述和探讨。主!«说真空旅弑铝碳石星蒸发舟应用技术我国真空蒸

2、镀铝膜用碳一石墨蒸发舟，都是采用电阻加热法来获得铝蒸发所需的高温。而加热器所使用的材料，除镀镜行业仍用铸丝以及香烟包装镀铝低部分使用氮化硼,二硼化钛外，其它行业如，金银线、烫金材料.商标印刷.金属棉、包装材料和大部分香烟包装纸等用的真空蒸发镀铝膜蒸发舟，是多种不同型号的碳石墨材料加工而成的。又因近几年来真空镀膜技术发展较快，而碳一石墨蒸发舟这个关键部件未得到足够重视，长时期不少单位使用代用品，,如用扁形气刨碳棒、多种型号的人造石墨制品边角料加工件。因此型号杂乱，质量不稳定，加上操作者对碳一石墨的特性缺乏了解，使用过程出现了

3、渗铝、开花、凸泡等各种问题而造成中途停产，使用户很伤脑筋。为此,在这里我们将碳石墨基料的有关特性.真空镀膜工艺对碳一石墨蒸发舟的主要要求、碳一石屡蒸发舟的生产工艺以及当前碳一石墨蒸发舟使用过程中存在的问题和应注意事项进行一下探讨，下面将分题论述.•40•1994・Na2%1.碳一石墨材料的有关特性结合真空镀膜用蒸发舟的应用，对碳一石墨材料的一些有关特性进行简要的介绍。1・良好的耐髙温性和热稳定性迄今为止，所使用的高温材料，恐怕还没有多少能够在熔点、高温机械强度方面超过碳素材料的。碳素材料在常压下，3350土259升华，而在

4、120个大气压下,3750±509熔化，大大超过了真空镀膜所需耍的温度，因此，稳定可靠。2・良好的导电性碳虽然是非金属材料，但却有良好的电传导性，其电阻率：人造石墨制品一般在8pQ・m左右,碳素制品一般在20〜50nQ.m之间，用人造石墨制造的蒸发舟，由于电阻小，在蒸镀20min左右,电流即增大到1000A,达到了设备最大负荷，给继续操作带来了困难，蒸发舟即使不坏，也无法继续使用。碳素材料制造的碳一石墨蒸发舟，当温度升高时，电阻变化较小，电流较稳定。经多次使用，随着温度的升高）、其晶体也会逐渐完善增大，呈现人造石墨材质的特

5、性。两种材料的差别是它们分別基本呈三维、两维洁舛适成的。3.气孔率一般碳一石餾制品，是属于多孔性材料，其气孔率约在10%〜30%之间。但真空蒸镀铝的碳一石墨蒸发舟，要求基质均匀■气孔率低，以免滅少铝液渗入气孔中与碳作用，而破坏碳一石墨蒸发舟的结构（通常用户称之开花、凸泡现象），由于碳材料结构破坏，用蒸发舟断裂，电流不能通过，工作只好被迫停止，所以一定要控制气孔率不要过高。4.热勝胀系数及抗热II性能碳一石墨材料的热膨胀系数较低，具有较好的抗热震性能。因此，碳一石墨蒸发舟在较高的温度下用时，尺寸稳足性较好，急冷急热时，不易碎

6、裂。5.机械性能碳一石墨制品是一种易于加工和具有较高强度的材料，但较脆，其机械强度随温度的升高而增大。在2000〜2500乜之间，它的强度大约比室温下增大一倍，所以适用作蒸发舟在高温下工作，但由于脆性较大，操作时要小心，以防折断，影响生产。6・化学越定性碳一石墨材料和其它材料相比,化学稳定性好，这是它能够被广泛应用的原因之一。但是，碳一石墨材料易被氧化，一般在4009时即有轻微氧化，因此，在真气镀铝的操作中，把蒸发舟夹好试验接触是否良好时，不宜较长时间通电，因为这样暴銘的空气中，蒸发舟表面即开始氧化，操作中应时刻防止氧化，

7、以延长其使用寿命。•41•1994eNa2三、真空蒸镀铝工艺对碳一石墨蒸发舟的主要要求根据真空镀铝工艺的要求，选择较好的碳一石墨材料制造蒸发舟，以求延长蒸发舟的使用寿命，提高生产效率，降低成本，这是我们的需要。一般在选择碳一石墨材料时，应考虑以下几点：1・密度高■低气孔率，特别是开口气孔要少。2.良好的导电性能，特别是应选择在高温情况下，具有稳定的电阻系数。3・材质均匀，特别是要避免多种缺陷，如裂纹、砂眼及变形等竿。4・较高的纯度。碳一石墨蒸发舟是在高温和较高的真空下使用，如因杂质较多，在高温下形成大量的挥发分物质，不但使

8、真空镀膜预处理时间增加，影响生产效率，而且影响有些特殊要求的产品质量。5・较低的热膨胀系数.良好的抗热震性能，以使尺寸稳定、接触良好，在急冷急热下，不至于碎裂。6・良好的机械强度，以减少操作过程中的断裂“7・不易和铝发生作用。碇和钳发生作用，产主开花.凸泡，造成蒸发舟断裂，是用户最伤脑筋的问懸之一°那么