OLED-CELL制程及设备介绍.ppt

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1、OLEDCELL制程及设备介绍2014-08-4目录Contents1OLEDCELL制程功能简介2OLEDCELL工艺流程简介3CELL内各工艺制程及设备介绍Gapsealing偏光片贴附CELL测试CellAgingCell切割1/4切割清洗检查磨边ArrayCELL前Cr的刻蚀ITO的刻蚀制作绝缘层阴极隔离柱OLEDCELL制程功能简介5.5GArray基板4分切割以便投入蒸镀1/4中片切割成Panel前制程&本制程不良检出完成Aging/Gapseal/偏光片贴附后outputtoMODOLEDCELL工艺流

2、程简介ArrayOLEDTP/CoveriutputLTPSInput1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED封装Cellinput清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试CellAging一次VTGapSealingPeelingPolishingclean偏光板贴附二次VTPolReworkAutoClaveCellOutputOLEDCELL工艺流程及设备介绍【1/4切割目的】：利用刀轮，将5.5G单板Gl

3、ass(1300×1500mm)切割成1/4中片(650×750mm)，以便适用于OLED蒸镀封装设备。LTPS/CoverInput1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLEDCELL工艺流程及设备介绍【切割原理】：利用高硬度的聚合金刚石刀轮，在玻璃表面形成沿着刀轮行进方向，垂直于玻璃表面的纵向裂纹，从而使玻璃能沿切割方向断开。以产生MedianCrack为主,其它Crack越小越好。LTPS/CoverInput1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查

4、OLED蒸镀/封装OLEDCELL工艺流程及设备介绍【切割设备】：【切割品质要求】：切割尺寸精度、切割深度、玻璃强度。【切割工艺参数】：刀轮角度、切割压力、切割速度、刀轮下压量等；插孔挡片刀头单体机全自动全自动LTPS/CoverInput1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装砂轮OLEDCELL工艺流程及设备介绍砂轮【磨边目的】：利用高速旋转的砂轮，将切割后Glass倒角，及边缘磨边，将不良（崩缺、裂纹、凸缘等）研磨掉，避免此类不良在后制程中导致破片。LTPS/CoverIn

5、put1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLEDCELL工艺流程及设备介绍【磨边设备】：【磨边工艺参数】：研磨量、研磨角度；【磨边品质要求】：研磨精度搬送单元CCDAlign单元研磨砂轮单元砂轮GlassCover研磨平台单元LTPS/CoverInput1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLEDCELL工艺流程及设备介绍毛刷2流体喷淋纯水洗净AirKnife风干【清洗目的】：利用毛刷、2流体喷淋去离子水等冲洗干净Glass，并风

6、刀风干，避免Particle污染后制程。LTPS/CoverInput1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLEDCELL工艺流程及设备介绍OLED【检查目的】：利用CCDCamera扫视Glass基板边缘，识别边缘缺陷（崩缺、裂纹、凸缘等）并拦截不良Glass。LTPS/CoverInput1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLEDCELL工艺流程及设备介绍【Cell切割目的】：利用刀轮，将贴合后中片Glass切割成Cell。Ce

7、llinput清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试CellAging一次VTGapSealingPeelingPolishingclean偏光板贴附二次VTPolReworkAutoClaveCellOutputOLEDCELL工艺流程及设备介绍【OLEDCell切割设备】：切割-翻面-切割机型俯视图上切割-下切割机型侧视图上下同时切割机型侧视图Cellinput清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试CellAging一次VTGapSealingPeelingPolishingclean偏光板贴附二

8、次VTPolReworkAutoClaveCellOutputOLEDCELL工艺流程及设备介绍【CellAging目的】：通过点亮OLED产品并施加一定电压、电流、温度，持续一定时间，使OLED有机发光材料有效融合，改善发光稳定性及显示寿命。Cellinput清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试CellAging一次VTGapSea