三氯氢硅生产技术改进-论文.pdf

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1、第51卷第5期氯碱工业Vo1．51，No．52015年5月Chlor—·AlkaliIndustryMay，2015三氯氢硅生产技术改进王德祥，陈侃(山东能源新汶矿业集团泰山盐化工分公司，山东泰安271024)[关键词]三氯氢硅；尾气回收；氯化物；低沸物；袋滤器；操作[摘要]为降低生产成本，提高产品质量，对三氯氢硅生产装置进行了技术改进，包括回收尾气、清理金属氯化物、降低产品中低沸物含量、降低生产单耗等。[中图分类号]TQ127．2[文献标志码]B[文章编号]1008—133X(2015)05—0031-03Improvementoftrichlorosilaneproducingt

2、echnologyWANGDexiang，CHENKan(TaishanSaltChemicalIndustqBranchCompanyofShandongEnergyXinwenMiningGroup，Taian271024，China)Keywords：trichlorosilane；tailgasrecovery；chloride；lowboilingcompound；bagfilter；’operationAbstract：Trichlorosilaneproducingdevicesweremodifiedinordertoreduceproductioncostandim

3、proveproductquality．Themodificationsincludedrecoveringtailgas，cleaningmetalchlorides，reducinglow—boilingcompoundcontent，andreducingconsumptionofmaterials．三氯氢硅是制造多晶硅的主要原料，也是制造真地分析各项生产成本组成，特别针对占成本总额硅烷偶联剂和其他有机硅产品的重要中间体。生产80％的主要物料消耗指标进行技改、精细化管理，硅三氯氢硅须消耗大量的氢气和氯气，因此它是氯碱粉、氯化氢、蒸汽等消耗均有较大幅度降低，取得了企业一种很好的平

4、衡氯气的产品J。三氯氢硅生较好的经济效益和社会效益。产项目建设周期短，投资小，技术成熟，在国内快速1三氯氢硅生产工艺发展。由于盲目过速发展，2012年三氯氢硅总产能生产三氯氢硅主要包括氯化氢合成、三氯氢硅已达到约85万t／a，与国内三氯氢硅5O万t／a的需合成、除尘分离、精馏提纯和废气处理等工序。其生求量相比严重过剩。特别是近两年来光伏产业急剧产工艺流程简述如下：氯气与氢气在合成炉生成合萎缩，三氯氢硅市场价格严重下滑，三氯氢硅企业大格的氯化氢气体，经计量后通人三氯氢硅合成炉；硅部分亏损，甚至部分企业已经停产。在如此严峻的粉通过真空泵吸至硅粉干燥器，经计量罐计量后由形势下，企业当务之急

5、是提高自身管理水平，通过改给料阀加入三氯氢硅合成炉，与氯化氢在三氯氢硅进生产技术，降低各项生产消耗，实现企业在困境中合成炉内反应生成三氯氢硅和四氯化硅；生成的氯发展。．山东能源新汶矿业集团泰山盐化工分公司(以硅烷混合气体经沉降、旋风分离、袋式过滤、湿法除下简称“新矿盐化”)三氯氢硅装置自2009年投产尘、冷凝后进入中间产品储罐，储罐中的三氯氢硅、运行以来，坚持走生产技术精细化改革之路，及时认四氯化硅混合液借隔膜压缩机的压力，经金属浮子+[作者简介]王德祥，男，高级工程师，毕业于沈阳化工大学，现任山东能源新汶矿业集团泰山盐化工分公司总工程师，主要研究方向：氯碱生产技术。[收稿日期]20

6、14—07—2931氯碱工业2015生流量计计量后，进入分馏塔分馏，生成合格的三氯氢尾气淋洗的方法，但尾气淋洗法不能回收利用氯化硅和四氯化硅产品；精馏过程未冷凝的尾气进入废氢和三氯氢硅，造成物料消耗多，“三废”处理难度气淋洗塔。大。新矿盐化正着手进行尾气回氯化氢合成炉方案2技术改进的改造，争取产品效益最大化。2．1尾气回收系统2．2金属氯化物的清理三氯氢硅尾气主要有氢气、氯化氢、三氯氢硅由于系统中的金属氯化物易阻塞机前冷凝器，等，具体组成如下：(SiHC13)=2％，(HC1)=8％，清理工作强度大，而且清理过程中铁、铝、钙的金属(H+N：)=90％。这些组分均为可回收的产品或氯化物

7、遇水放出大量的热，工作强度大，影响安全生可循环使用的原料。对尾气的有效治理，既可以提产。为解决此问题，新矿盐化于2011年安装投用了高原料的利用率，降低生产成本，又可以减少废气的湿法除尘装置，将沉降、除尘后的三氯氢硅反应气通排放。人湿法除尘塔的底部，与塔顶喷淋下的合成液逆向以1万t／a装置为例，三氯氢硅生产系统产生接触，合成液吸收三氯氢硅反应气中的金属氯化物。的尾气流量约为400m／h，若将尾气充分回收，每此方法有效除去了三氯氢硅反应气中夹带的硅粉和年可回