三氯氢硅氢还原培训

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1、吴扎拉森讲授还原、氢化培训教材一、V1500单元（多晶硅沉积单元）的工序划分TCS蒸发T1200/1201还原T100/101钟罩清洗T800/801硅芯、硅棒化学腐蚀及洗涤T400废气处理T1000STC蒸发T1100/1101氢化T200/201冷却水单元T901供电单元二、主要设备三氯氢硅（TCS）蒸发器4个气体混合器18个(还原炉)、9个(氢化炉)还原炉18台四氯化硅（STC）蒸发器4个氢化炉9台三、工艺流程描述TCS蒸发、还原1、用屏蔽泵AP200A/B送来的高纯三氯氢硅进入三氯氢硅蒸发器T1200A

2、B001、AB002和T1201AB001、AB002中。2、在蒸发器的夹套中通入10bar蒸汽加热，使三氯氢硅汽化到压力为9bar（温度约120℃）送入混合器AM100与高纯氢气（压力9.5bar,温度约20℃）混合（摩尔比H2/TCS=5:1）后进入与还原炉尾气换热后从还原炉底部进入还原炉中。尾气用130℃的热水进行冷却后送往V9200进行分离回收。3、炉内的反应压力为6bar，反应温度控制在1080℃。化学反应方程式为：SiHCl3＋H2=Si＋3HCl还原过程中还发生一系列副反应，产生大量四氯化硅。反应

3、产率大约为10～12kg/kg多晶硅；反应式如下：HCl＋3SiHCl3SiCl4＋2H2以及杂质还原反应：2BCl3＋3H22B＋6HCl2PCl3＋3H22P＋6HCl4、在还原炉的夹套和底座及窥视孔中均通入130℃的热水来冷却。在电极夹套中通入30℃的去离子水来冷却电极。5、窥视孔内部通入高纯氢气来吹扫窥视孔，以便于清楚观察炉内情况。6、停炉后所有通130℃的热水来冷却的改为通入冷却水来降低炉温。钟罩清洗1、将钟罩放在AB101中。2、用5%的氢氧化钠溶液清洗钟罩。3、去离子水在换热器AW101中与130

4、℃热水（换热后从130℃降到90℃）换热后被加热（从20℃被加热到80℃）后用加压泵AP101/102加压后进入钟罩内通过喷头冲洗钟罩内壁，冲洗30分钟。冲洗钟罩的碱性废水去废水处理V8100。4、清洗结束后钟罩夹套中通入蒸汽烘干钟罩，待用。STC蒸发和氢化（T1100/1101、T200/201）102021-9-8309服务理念：“一切为了方便大家学习：！吴扎拉森讲授1、用屏蔽泵AP400A/B送来的高纯四氯化硅进入四氯化硅蒸发器T1100AB001、AB002和T1101AB001、AB002中。2、在蒸

5、发器的夹套和加热管中通入10bar蒸汽加热，使四氯化硅汽化到压力为9bar（温度约146℃）送入混合气AM100与高纯氢气（压力9.5bar,温度约20℃）混合（摩尔比H2/TCS=3:1）后进入与氢化炉尾气换热后从还原炉底部进入氢化炉中，尾气用130℃的热水进行冷却后送往V9200进行分离回收。3、炉内的反应压力为6bar，反应温度控制在1150℃～1200℃。化学反应方程式为：SiCl4＋H2=SiHCl3＋HCl4、在还原炉的夹套和底座及窥视孔中均通入130℃的热水来冷却。在电极夹套中通入30℃的去离子水

6、来冷却电极。5、窥视孔内部通入高纯氢气来吹扫窥视孔，以便于清楚观察炉内情况。6、停炉后所有通130℃的热水来冷却的改为通入冷却水来降低炉温。主要原材料质量要求：1、TCS含量≥99%B≤0.1ppbP≤0.1ppb2、STC含量≥98%3、H2含量≥99.999%4、硅芯纯度≥99.999%；电阻率≥50Ω·cm(暂定)；Φ5；长2m5、高纯石墨电极原辅材料1、硝酸分析纯2、氢氟酸40%，优级或分析纯3、四氯化碳分析纯4、无水乙醇分析纯5、氨基磺酸化学纯6、高纯水电阻率＞18M·Ω7、碱（NaOH）化学纯和分析

7、纯开心一刻：“眼皮跳大占卜有没有发觉今天的眼皮跳过？是不是有点紧张呢？大家都说：“左跳财，右跳灾”好像有些太笼统，下面是按照星期来占卜你的眼皮跳：星期一：左眼跳，今天有事情要发生！右眼跳，平常事，不要紧。星期二：左眼跳，心情会很愉快。右眼跳，会发生不快的事。星期三：左眼跳，有人喜欢你！右眼跳，有事会让你生气。星期四：左眼跳，有想不到的事情发生。右眼跳，今天对任何事都不能插手。星期五：左眼跳，有人在想念你。右眼跳，将发生一件幸福的事。星期六：左眼跳，这几天会暴露你的秘密。右眼跳，近期会

8、得到礼物。星期日：左眼跳，会发生意想不到的事。右眼跳，有好运气”102021-9-8309服务理念：“一切为了方便大家学习：！吴扎拉森讲授公用工程去离子水密度998.4Kg/m3流量42m3/h质量流量41.933Kg/h压力5Bar(g)温度18～25℃去离子水的质量指标检测项目控制量单位备注电导率＜5us/cmTOC（有机碳总量）＜30ppb细菌＜25Per1000mlLi＜1