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1、东区电池效率提升经验分享东区电池制造2010.3.191电池转换效率大幅提升升0.55％升1.78％升1.02％降1.00％降0.23％升26.7％升8.23％降18.2％升3.69%工序标准化贡献~0.15％高阻贡献~0.17％88nm膜厚贡献~0.18％电性能提升：转换效率从开线时16.30％提高至目前16.80％;试验模型：Case1高方阻工艺DOE－试验模型此模型应用到电池扩散，具体对应关系如下：输入：制绒后的硅片可控因子-：气流，温度，时间，压强噪声因子：时效，片源，机台输出：扩散质量，磷浓度分布曲线输出将直接决定转化效率因子选择与控
2、制：可控因子选择气流：N2,POCL3,O2中选择POCL3作为keyfactor，以控制磷的掺杂总量和均匀性；温度：温度影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为keyfactor；时间：淀积时间，推进时间影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为keyfactor；压强：由于压强的波动相对于其绝对值非常小，对制程影响将较小；噪声因子控制片源：通过等份混片，保证片源一致；时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间；机台：保证路径一样；Case1高方阻工艺DOE－因子选择第一组试验：对以上可控因子进行田口设计，生成L9试验方案,找出最佳方案---E3：第二组试验
3、：根据第一组试验结果，进行第二组试验确定时间，试验方案为全因子设计，找出最佳方案---E6注：时间为淀积时间+推进时间，试验组别主反应温度(℃)POCL3流量(sccm)时间(m)E183075014+12E283095018+16E3830110022+20E485075018+16E585095022+20E6850110014+12E787075022+20E887095014+12E9870110018+16试验组别淀积时间(m)推进时间(m)POCL3流量(sccm)主反应温度(℃)E116141000830E216161000830
4、E316181000830E418141000830E518161000830E618181000830E720141000830E820161000830E920181000830Case1高方阻工艺DOE－L9实验因子选择与控制：可控因子选择：气流：流量比例影响薄膜成分组成；压强：影响膜的均匀性；膜厚：影响减反射效果；烧结温度：影响氢分布和钝化效果；噪声因子控制：片源：通过等份混片，保证片源一致；时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间；机台：保证路径一样；Case2高膜厚工艺DOE-因子选择第一组试验：对以上可控因子进行田口设计，生成
5、L9试验方案,找出最佳方案Recipe7：第二组试验：根据第一组试验结果，进行第二组试验，添加后到烧结因素，找出最佳方案---recipe7Case2高膜厚工艺DOE-L9试验Case3丝网烧结DOE实验-因子选择8因子选择与控制：可控因子选择：温度：烘干温度(DryerT1/T2/T3/T4)；烧结温度(FiringT1/T2/T3/T4/T5/T6),各温区对烧结起到特定的作用,烧结区T4/T5/T6为影响烧结效果的主要因子,气流：温场控制气流,排风,冷却气流(确保温场无波动,调节后反应滞后-小于2℃,设定)冷却水:确保冷却效果,设定时间：
6、烧结炉经过时间(决定产量,设定速度230inch/min)噪声因子控制：片源：通过等份混片，保证片源一致；时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间；机台：保证路径一样；环境:环境温度,冷却水温度,外围排风Case3丝网烧结DOE实验-L9试验9选取主烧结温度T4/T5/T6进行田口设计,生成L9试验方案,得到最佳温度组合Recipe5根据第一组试验结果,重新设计第二组试验方案,得到最佳温度组合Recipe5据第2组实验结果,进行T4/T5/T6的部分因子优化,得到各机台的最佳烧结温度第一组试验：第二组试验：Case4前后清洗DOE-因子选择
7、10因子选择与控制：可控因子选择：HNO3：主要起氧化作用，起浓度直接决定氧化的速度，作为keyfactor；HF：主要起剥离氧化产物的作用，进而形成绒面，作为keyfactor；DI：直接影响HNO3和HF的浓度，作为keyfactor；过程变量控制：温度：保持恒定；滚轮速度：保持恒定；流量：保持恒定；Case4前后清洗DOE-混酸设计对以上可控因子进行混酸设计：固定温度，滚轮速度，流量11Case4前后清洗DOE-试验结果12最优配比为HF-0.26,HNO3-0.38,H2O-0.36(现用配比为HF-0.22,HNO3-0.43,H2O
8、-0.35）考虑到现用配比落在<21区域内，而最优拟合值输出结果为20.565，与目前反射率平均值21差异较小，因此配比不做调整。相关性趋势图－下一步
