硅料厂精馏车间精馏岗位作业指导书.doc

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1、此文档收集于网络，如有侵权，请联系网站删除Q/昆明冶研新材料股份有限公司发布2012-06-11实施2012-06-11发布硅料厂精馏车间精馏岗位作业指导书Q/ZYJL3001—2012代替Q/CH×××××××.×－××××昆明冶研新材料股份有限公司此文档仅供学习与交流此文档收集于网络，如有侵权，请联系网站删除目次目次I前言II硅料厂精馏车间岗位作业指导书31范围32规范性引用文件33术语和定义34质量标准、生产规模、原辅料及能源消耗35工艺原理56主要参数控制107过程控制(含设备操作)117.2.6罐区197.2.6.1精TCS贮罐90-TK117A/B/C的开

2、车197.2.6.2精TCS/DCS贮罐90-TK123的开车207.2.7尾气废液回收系统218事故处理359主要设备规格、原理及操作38附录A47附录B49附录C51附录D56附录E57附录F60此文档仅供学习与交流此文档收集于网络，如有侵权，请联系网站删除前言本作业指导书由昆明冶研新材料股份有限公司硅料厂提出。本作业指导书负责起草部门：精馏车间。本作业指导书主要起草人：李仕勇、赵生艳。本作业指导书由昆明冶研新材料股份有限公司硅料厂生产技术部副经理审核。本作业指导书由昆明冶研新材料股份有限公司副总经理、硅料厂厂长批准。本作业指导书为第一次起草编制，有不完善的内容将

3、在今后陆续制定、修订。本作业指导书由昆明冶研新材料股份有限公司硅料厂精馏车间负责解释。此文档仅供学习与交流此文档收集于网络，如有侵权，请联系网站删除硅料厂精馏车间岗位作业指导书1　范围本作业指导书适用于昆明冶研新材料股份有限公司硅料厂TCS精馏工序的工艺技术管理、操作及运行维护。TCS精馏工序主要包含合成TCS的精馏及尾气回收氯硅烷的提纯。2　规范性引用文件LXE三氯氢硅工厂操作指导手册；硅料厂工艺管理制度。3　术语和定义TCS粗馏：从合成送来的TCS经过10-T108提纯，除去低沸点杂质。TCS精馏：从10-T108出来的TCS，经一级、二级、三级精馏塔提纯，分别除

4、去轻、重组分杂质，得到高纯TCS。还原精馏：还原尾气经尾气回收分离后的氯硅烷，返回罐区90-TK120后，进入还原精馏塔10-T111分离，塔顶得到产品TCS，塔底得到产品STC。氢化精馏：氢化尾气经尾气回收分离后的氯硅烷，返回罐区90-TK121后，进入氢化精馏塔10-T112分离，塔顶得到TCS返回到第三级精馏，塔底得到产品STC。4　质量标准、生产规模、原辅料及能源消耗4.1　原料质量标准外购TCS质量标准项目单位电子级三氯氢硅％W≥99硼ppbw≤200磷ppbw≤50金属ppmw≤5碳ppmw≤1404.2　产品质量标准4.2.1高纯TCS产品质量项目单位太

5、阳能级三氯氢硅％W≥99.5％二氯二氢硅％W≤0.1％此文档仅供学习与交流此文档收集于网络，如有侵权，请联系网站删除四氯化硅％W≤0.2％氯化氢%W≤0.02%磷/砷、锑ppbw＜1.5硼/铝ppbw＜1.5钙ppbw＜5铁ppbw＜104.2.2高纯STC产品质量项目单位指标三氯氢硅%≤0.151.1　生产规模(包含月、年产量)精馏车间生产规模序号物料处理量（kg/h）处理量（吨/月）处理量（吨/年）1合成TCS（FI01301）3037.352186.89221868.922合成精TCS（FI01713）23581697.816977.63合成+氢化TCS（FI0

6、2301）99547166.8871668.84还原氯硅烷分离2874820698.56206985.65氢化氯硅烷分离3968628573.92285739.2备注：单位中每月按30天计，每年按300天（约80%在线时间）计。1.2　原辅料及能源消耗（包含月、年原料消耗）原辅料规格型号消耗量（kg/h）消耗量（吨/月）消耗量（吨/年）备注合成车间粗TCSTCS>86.35%3037.352186.89221868.92粗TCS主要包括合成TCS和尾气C返回的氯硅烷　外购TCSTCS>99.00%------补充合成车间供应不足的TCS用量还原循环氯硅烷--28748

7、20698.56206985.6--氢化循环氯硅烷--3968628573.92285739.2--氮气0.7MPa、常温、氧含量≤1ppmV（最大）------来自制氮站，用于罐顶密封等此文档仅供学习与交流此文档收集于网络，如有侵权，请联系网站删除16.5MPa------来自外购氮气钢瓶，用于10-TK104罐顶密封0.3MPa、常温、氧含量≤1ppmV（最大）------来自制氮站，用于设备管道置换仪表用空气0.5-0.7MPa、常温、露点≤-40℃、粉尘≤1µm--------低温热油Mobile605（美孚导热油），180℃、0.57MPa