沉铜和板电工艺培训讲义.ppt

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1、PTH&板电原理讲义一、沉铜目的及原理（1）目的：使孔壁上通过化学反应而沉积一层0.3um-0.5um的铜，使孔壁具有导电性，通常也称作化学镀铜、孔化（2）原理：络合铜离子（Cu2+-L）得到电子而被还原为金属铜；通常是利用甲醛在强碱性环境中所具有的还原性并在Pd作用下面而使Cu2+被还原Cu2+＋2HCHO＋4OH-Cu＋2HC—O-CuPd上板→膨松→水洗→水洗→除胶→水洗→回收水洗→预中和→水洗→中和→水洗→水洗→除油→水洗→水洗→微蚀→水洗→酸洗→水洗→水洗→预浸→活化→水洗→水洗→加速→水

2、洗→沉铜→水洗→水洗→下板二、沉铜流程（1）膨松缸（需机械摇摆、循环过滤）作用：使孔壁上的胶渣软化，并渗入树脂聚合后之交处，以降低其键结的能量；使易于进行树脂的溶蚀。药水成份：SW-01,开缸量为40%(V/V),生产每千尺板需补加SW-01膨松剂6L；NaOH开缸量为8g/l,生产每千尺板需补加NaOH160g。温度：65-75℃时间：6-8min(标准7min）换槽：处理25-35平米/L时即可更换新缸三、PTH各药水缸成份及其作用三、PTH各药水缸成份及其作用（2）除胶缸（需空气搅拌、机械搅

3、拌、机械摇摆或循环过滤）作用：利用高锰酸钾的强氧化性，使板在此碱性槽中将已被软化的胶渣及其局部的树脂进行氧化反应，分解溶去；反应方程式:4MnO4-+有机树脂+4OH-→4MnO42-+CO2↑+2H2O2MnO42-+[1/2O2]+H2O2MnO4-+2OH-药水成份：NaOH，开缸量为30-50g/L，最佳值为40g/L，生产每千尺板需补加NaOH160g;KMnO4，开缸量为45-65g/L，最佳值为55g/L，生产每千尺板需补加KMnO41.6kg;温度：65-85℃时间：12-18min

4、（标准为15min）电三、PTH各药水缸成份及其作用（3）预中和缸（需机械摇摆）作用：先对高锰钾进行一次预清洗；药水成份：1、硫酸，开缸量为1-3%（V/V），最佳值为2%（V/V），生产每千尺板需补加硫酸2L；2、双氧水，开缸量为1-3%（V/V），最佳值为2%（V/V），生产每千尺板需补加双氧水2.5L；温度：室温；处理时间：1-3min（标准为2min)；换槽：每班更换一次；三、PTH各药水缸成份及其作用（4）中和缸（需机械摇摆和循环过滤）作用：清洗残留的高锰酸钾；药水成份：1、N-03A

5、开缸量为20%(V/V)生产每千尺板需补加N-03A中和剂4L；2、CP级H2SO4开缸时酸当量为1.8-3.6N，最佳值为2.7N生产每千尺板需补加H2SO41.6L；温度：室温；处理时间：3-5min（标准为4min）；换槽：处理8-10平米/L时即可更换新缸；（5）整孔（又名除油，需机械摇摆和循环过滤）作用：清洁和调整电荷的碱性整孔剂,能有效去除板面上的油脂、氧化物及粉尘；药水成份：CD-120，开缸8-12%，最佳值10%，控制0.1N;生产每千尺需补加CD-120整孔剂1L；温度：60-7

6、0℃处理时间：5-8min（标准6min）换槽:生产20-30平米/L或铜含量高于1g/l时就应更重开新缸。三、PTH各药水缸成份及其作用（6）微蚀缸（又名粗化）作用：清洁、粗化铜面，确保基材与铜的结合力；药水成份：1、双氧水开缸量为3-5%，最佳值为4%，生产每千尺板需补加双氧水4L；2、H2SO4开缸量为4-6%(V/V)，最佳值为5%（V/V），生产每千尺板需补加H2SO42L；温度：25-35℃处理时间：1-3min（标准2min）；微蚀速率：1-2um/min换槽：铜离子≥25g/L时重

7、新开缸；三、PTH各药水缸成份及其作用（8）预浸缸作用：为了不让板带任何杂质污物进入的钯缸，也防止带入太多的水量，而导致发生意外的局部水解，以保护钯缸；药水成份：1、PD-130A开缸量为220g/L，生产每千尺需补加PD-130A2.5kg；温度：室温时间：0.5-2min（标准为1min）；换槽：生产20-30平米/L时就应更重开新缸；三、PTH各药水缸成份及其作用（9）活化缸（一、需机械搅拌和循环过滤）作用：在孔壁上布满负电性的钯胶团；药水成份：1、PD-130A开缸量为220g/L，生产

8、千尺由分析需要时补加；2、AT-140A开缸量为1.8%，生产每千尺补加0.5L；三、PTH各药水缸成份及其作用（9）活化缸（二、需机械搅拌和循环过滤）温度：35-44℃处理时间：5-8min(标准6min)反应方程式：PdCl2+SnCl2→PdSnCl4(中间态)PdSnCl4→变成绿色锡离子PdSnCl4+6PdCl2→SnPd7Cl16(催化剂)负反应：Pd2++Sn2+→Pd0+Sn4+(在酸液及氯离子保护下，才能稳定)Sn4++9H2O→H2SnO3·6H