高速高精度宏微双驱动运动平台结构优化设计.pdf

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5、“，．，翁，＼，．：１１８４５分类号：学校代号：１１９ＵＤＣ：：２１１１２０４密级：学号广东工业大学硕士学位论文（工程硕士）局速局精度宏微双驱动运动平台结构优化设计刘升指导教师姓名、职称：张洪副教授学科或领域名称：机械设计及理论学生所属学院名称：机电工程学院２０１５年５月３０日论文答辩日期：ＡＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎＳｕｂｍｉｔｔｅｄｔｏＧｕａｎｇｄｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｆｏｒｔｈｅＤｅｒｅｅｏｆＭａｓｔｅｒｇｙｇ（Ｍａ

6、ｓｔｅｒｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＳｃｉｅｎｃｅ）Ｈ－ｉｇｈｓｐｅｅｄａｎｄｈｉｇｈｒｅｃｉｓｉｏｎｍａｃｒｏｍｉｃｒｏｄｏｕｂｌｅｐｄｒｉｖｅｍｏｔｉｏｎｐｌａｔｆｏｒｍｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｄｅｓｉｇｎＣａｎｄｉｄａｔｅ：ＬｉｕＳｈｅｎｇＳｕｅｒｖｉｓｏｒｆ．ＺＨｏｎｐ：ＰｒｏｈａｎｇｇＭａｙ，２０１５Ｓｃｈｏｏ－ｍｅｃｈａｎｆｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎＧｕａｎｄｏｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｉｇｇｇｇｙＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＧｕａｎｇｚｈｏｕ

7、Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ，Ｐ．ＲＣｈｉｎａ，５１０００６，摘要大行程高速高加速度精密定位技术是微电子制造、超精密加工、精密测。量等领域快速发展的基础在芯片封装行业，随着芯片引脚间距的减小及生产效率要求的提高，对封装设备的定位精度、速度和加速度提出很高的要求。超精密加工行业，由于有些精密零件的尺寸较大，要求加工设备在具备精密定位能力的同时还要有足够的行程。因此，开展大行程、高速、高加速度、精密定位平台的研究具有重大的理论和现实意义。课题基于宏微双驱动技术搭建了大行程一、高速、高定位精度的维运动平台。通过直线电机实现大

8、行程的要求，精密海德汉光栅测量宏动的位