宏微双级驱动精密定位系统建模与控制

《宏微双级驱动精密定位系统建模与控制》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、‘．、；＊．．、．？．．．．？？？１么＾八．ｖ－：今诘。：共如＼．．免．Ｉ——－，—＂．．．．硕±学位论文？０—■＂■可．－＾气寺‘．：－＊＇；Ｖ：Ｖ１．．＇＂＇＇‘，吟试＜’曳谱焉：转我如扣评宏微双级驱动精密定位系錶建模与控制？、－＇：，：’－—：、？：．’■一■＇；啼’一■－方？－）；＇Ｖ１：．．．丫■．心＾Ｂｃ；Ａ黄絮奸若Ｖ达梓；．去巧．－、？

2、＼．＇．＇：‘：＂．－义：豕：：：．Ｖｒ；：／，：：．；＾：了義护．：－…’－＇■／－‘－＾ｙ式心＇户‘妃毒造■：■而巧品吾辞奪譜鮮心；投一■作．＇＇束．一，？．，．．．一一心，＇－—－＂＇。－＇．一甘：：，三古：．一ｒ＂．苗：：学科专业控制工程％：，；、；苗琪一．．’－．心．１：＇：＇‘：韩森：作者姓名＇－一心—：田艳兵副教授Ｖ薦＆ｆ指导教师！卢－甲苗．巧’一：’矿一？．／

3、．．？－．／气马＿．．■．．＇ｒ占，公；＇早识＇＞、一巧■．．＇式理王大寶青学立爲宗遞—艮二二．審六盼體十月；０年书弦一＂－蹲Ｖ—、＇：‘．．：．－？卢．ＶｖｒｖＩ：？：；，、…、？－－－＇－。‘，一，＇－？．姑鄉■二二九ｒ心吗堯与品ｖ一，某ｆｃ：隸国内图书分类号：TP273国际图书分类号：硕士学位论文宏微双级驱动精密定位系统建模与控制硕士研究硕士研究生硕士研究生生生：：：韩森导导导师姓导师姓师姓名师姓名名

4、名：：：田艳兵副教授申请学位级别：：：工程硕士学科学科、学科、、、专专专专业业业业：：：控制工程所在单所在单位所在单位位位：：：自动化工程学院答辩日答辩日期答辩日期期期：：：2016年12月学位授予单位：：：青岛理工大学ClassifiedIndex：TP273U.D.C：DissertationfortheMasterDegreeinEngineeringMODELINGANDCONTROLOFTHEPRECISIONPOSITIONINGSYSTEMOFMACRO/MICROTWO-STAGEDRIVINGC

5、andidate:HanSenSupervisor:TianYanbingAcademicDegreeAppliedfor:MasterofEngineeringSpecialty:ControlEngineeringDateofOralExamination:December2016University:QingdaoUniversityofTechnology青岛理工大学工程硕士学位论文目录摘要..........................................................

6、.........................................................................IABSTRACT.......................................................................................................................I第1章绪论....................................................

7、................................................................11.1课题背景及研究意义............................................................................................11.2大行程定位平台的研究现状及分析....................................................................21.

8、2.1高精密定位技术的研究.................................................................................21.2.2音圈电机微动平台的研究现状.....................................................................31.2.