高精密定位平台驱动波纹管迟滞的建模与验证.pdf

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1、!"#$年%月机床与液压'789!"#$第&%卷第$期'()*+,-.//01*234(50+)6:;<9&%,;9$!"#!#"=%>?>@A9BCCD9#""#E%FF#9!"#$9"$9"#G高精密定位平台驱动波纹管迟滞的建模与验证#!!田艳兵!王涛!王美玲"#9青岛理工大学自动化工程学院!山东青岛!??$!"#!9北京理工大学自动化学院!北京#"""F%$摘要!为了提高精密定位平台的精度和行程&设计了一种新型的气动伺服定位平台(以金属波纹管为独立执行机构&采用有限元法设计了气浮导轨(以气浮导轨支撑&研究无摩擦条

2、件下的较大行程的精密控制(对波纹管的机械特性进行分析&结合实验数据形成的迟滞初载曲线&进行参数辨识&确定基本迟滞算子的阈值和权值&建立了基于+模型的系统迟滞模型&并对模型进行了验证(结合建立的系统迟滞模型&采用变化速率为"9$:@C和$:@C的锯齿波进行实验&结果表明!系统的迟滞模型输出很好地逼近了系统输出#开环情况下&实际逼近误差慢速信号输入逼近小于#"%H&快速信号输入逼近小于!"%H&其性能上能够满足高精密定位平台的精度要求(关键词!高精密定位平台#波纹管#迟滞特性#精度中图分类号!.!G#e9&RR文献标志

3、码!(RR文章编号!#""#E%FF#"!"#$#$E"?%E$P?5.)2)5&5;3:)6&4<,4:0)2&8&-,.&343874)E*,.&-9)663A5&4P&<=+G2)-&5&34735&.&34&4<%.,<)#!!.+(,27DWBDJ&S(,T.7;&S(,T'NB

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