高精密气动波纹管驱动伺服系统建模与仿真

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1、硕士学位论文高精密气动波纹管驱动伺服系统建模与仿真学科专业：控制工程作者姓名：成中伟指导教师：田艳兵副教授青岛理工大学二〇一•五年7T月硕士学位论文高精密气动波纹管驱动伺服系统建模与仿真学位论文答辩日期：就I,上指导教师签字：答辩委员会成员签字：—‘Ajn青岛理工大学学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也‘不包含为获得青岛理工大学或其它教育机构的学

2、位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。研究生签名：御+日期:-青岛理工大学学位论文使用授权声明青岛理工大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆、CDMD和DMD有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。除在保密期内的保密论文外，允许论文被查阅和借阅，可以公布（包括刊登）论文的全部或部分内容。论文的公布（包括刊登）授权青岛理工大学研究生处办理。研

3、究生签名：导师签名日期：国内图书分类号：TP273国际图书分类号：硕士学位论文高精密气动波纹管驱动伺服系统建模与仿真硕士研究生：成中伟导师姓名：田艳兵申请学位级别：工程硕士学科、专业：控制工程所在单位：自动化学院答辩日期：2015年6月学位授予单位：青岛理工大学ClassifiedIndex：TP273U.D.C：DissertationfortheMasterDegreeinEngineeringTHEMODELINGANDSIMULATINGOFSERVOSYSTEMDRIVENBYHIGH

4、PRECISIONPNEUMATICBELLOWSCandidate:ChengZhongweiSupervisor:TianYanbingAcademicDegreeAppliedfor:MasterofEngineeringSpecialty:ControlEngineeringDateofOralExamination:June2015University:QingdaoTechnologicalUniversity青岛理工大学工程硕士学位论文目录摘要...................

5、.......................................................................................................IABSTRACT.................................................................................................................II第一章绪论..................

6、.............................................................................................11.1气动技术概述.....................................................................................................11.2气动伺服系统....................................

7、.................................................................21.3精密伺服定位平台发展......................................................................................31.4课题来源及研究意义........................................................................

8、..................91.5课题主要内容...................................................................................................101.5.1运动执行部件特性研究..............................................................................101.5.2系统建模及控制策略研究..........